一种机械手测试平台制造技术

本实用新型专利技术属于半导体搬运设备领域，具体涉及一种机械手测试平台，本机械手测试平台包括：柜体，其上设置有多个测试工位；控制模块；其中所述测试工位包括：移动装置，与控制模块电性相连，用于安装待测机械手，并用于驱动抓有重物的机械手在第一放置区与第二放置区之间往复搬运；以及计数模块，与控制模块电性相连，用于对机械手的搬运次数进行计数。本实用新型专利技术的一种机械手测试平台的柜体设置有多个测试工位，各测试工位包括用于安装待测机械手的移动装置，可以用于驱动抓有重物的机械手在第一放置区与第二放置区之间往复搬运，计数模块与控制模块电性相连，可以用于对机械手的搬运次数进行计数，以便于对机械手进行疲劳测试。试。试。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手测试平台


[0001]本技术属于半导体搬运设备领域，具体涉及一种机械手测试平台。

技术介绍

[0002]在全球半导体产业向中国转移的过程中，半导体设备国产化具有重要战略意义。随着国家政策与资金的持续支持，国产化设备需求量逐年提升，机械手作为机台的主要组成部分，对其稳定性的要求越来越高，所以机械手在使用前需进行疲劳测试，从而提高机台稳定性，防止晶圆在搬运过程中发生掉落、破裂。
[0003]因此，为了对机械手在使用前进行疲劳测试，亟需设计一种机械手测试平台。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种机械手抓取稳定性测试装置，以对机械手在使用前进行疲劳测试。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种机械手测试平台，包括：柜体，其上设置有多个测试工位；控制模块；其中所述测试工位包括：移动装置，与控制模块电性相连，用于安装待测机械手，并用于驱动抓有重物的机械手在第一放置区与第二放置区之间往复搬运；以及计数模块，与控制模块电性相连，用于对机械手的搬运次数进行计数。
[0006]进一步的，所述移动装置包括：安装架，用于安装待测机械手；水平驱动机构，与控制模块电性连接，用于驱动安装架水平移动；升降机构，安装在安装架上，与控制模块电性连接，用于驱动待测机械手升降。
[0007]进一步的，所述水平驱动机构包括：横向导轨，设置在柜体的侧面，且所述安装架与横向导轨滑动配合；齿轮轨道，与横向导轨平行布置；水平驱动器，安装在安装架上，与控制模块电性连接，且通过齿轮与齿轮轨道配合。
[0008]进一步的，所述升降机构包括：升降套筒，上端用于安装待测机械手，且其筒壁与安装架滑动连接；丝杆，与升降套筒螺纹配合；升降驱动器，与控制模块电性连接，用于驱动丝杆转动，以带动升降套筒升降。
[0009]进一步的，所述安装架上设置有竖向导轨；所述升降套筒的外壁设置有安装座，且与竖向导轨滑动连接；
[0010]进一步的，所述机械手测试平台还包括与控制模块电性相连的人机交互模块。
[0011]进一步的，所述机械手测试平台还包括报警模块，与控制模块电性相连。
[0012]进一步的，所述柜体下方设置移动滑轮；所述柜体下方设置旋转伸缩撑脚。
[0013]进一步的，所述重物为晶圆载具。
[0014]本技术的有益效果是，本技术的一种机械手测试平台的柜体设置有多个测试工位，各测试工位包括用于安装待测机械手的移动装置，可以用于驱动抓有重物的机械手在第一放置区与第二放置区之间往复搬运，计数模块与控制模块电性相连，可以用于对机械手的搬运次数进行计数，以便于对机械手进行疲劳测试。
[0015]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0016]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1和图2是本技术的机械手测试平台的立体图；
[0019]图3是本技术的测试工位的立体图；
[0020]图4是本技术的移动装置的立体图；
[0021]图5是本技术的测试工位的后视图。
[0022]图中：
[0023]柜体1、测试工位11、机械手12、移动滑轮13、旋转伸缩撑脚14；
[0024]移动装置2、安装架21、竖向导轨211、升降机构22、升降套筒221、丝杆 222、升降驱动器223、水平驱动机构23、横向导轨231、齿轮轨道232、水平驱动器233；
[0025]人机交互模块3。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]实施例
[0028]如图1和图2所示，本实施例提供了一种机械手测试平台，包括：柜体1，包括多个测试工位11；控制模块；其中所述测试工位11包括：移动装置2，与控制模块电性相连，用于安装待测机械手12，并用于驱动抓有重物的机械手12 在第一放置区与第二放置区之间往复搬运；以及计数模块，与控制模块电性相连，用于对机械手12的搬运次数进行计数。
[0029]在本实施方式中，所述控制模块可以但不限于是PLC，所述计数模块可以是红外计数器、雷达计数器以及压力计数器等；所述机械手测试平台的柜体设置有多个测试工位11，各测试工位11包括用于安装待测机械手12的移动装置2，可以用于驱动抓有重物的机械手12在第一放置区与第二放置区之间往复搬运，计数模块与控制模块电性相连，可以用于对机械手12的搬运次数进行计数，以便于对机械手12进行疲劳测试。
[0030]如图3所示，在本实施例中，所述移动装置2包括：安装架21，用于安装待测机械手12；水平驱动机构23，与控制模块电性连接，用于驱动安装架21 水平移动；升降机构22，安装在安装架21上，与控制模块电性连接，用于驱动待测机械手12升降。
[0031]在本实施方式中，将待测机械手12安装在安装架21上，控制模块控制水平驱动机构23使安装架21进行水平移动，同时控制升降机构22进行升降，以带动机械手12在测试工位11上进行升降和水平移动；所述机械手12也可以与控制模块电性连接，以便控制模块控制机械手12对重物进行抓取。
[0032]如图4所示，在本实施例中，所述水平驱动机构23包括：横向导轨231，设置在柜体1的侧面，且所述安装架21与横向导轨231滑动配合；齿轮轨道232，与横向导轨231平行布置；水平驱动器233，安装在安装架21上，与控制模块电性连接，且通过齿轮与齿轮轨道232配合。
[0033]在本实施方式中，控制模块可以控制所述水平驱动器233通过与齿轮轨道 232配合的齿轮传动，带动安装架21在横向导轨231上水平滑动，以带动机械手12进行水平移动。
[0034]在本实施例中，所述升降机构22包括：升降套筒221，上端用于安装待测机械手12，且其筒壁与安装架21滑动连接；丝杆222，与升降套筒221螺纹配合；升降驱动器223，与控制模块电性连接，用于驱动丝杆222转动，以带动升降套筒221升降。
[0035]在本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手测试平台，其特征在于，包括：柜体(1)，其上设置有多个测试工位(11)；控制模块；其中所述测试工位(11)包括：移动装置(2)，与控制模块电性相连，用于安装待测机械手(12)，并用于驱动抓有重物的机械手(12)在第一放置区与第二放置区之间往复搬运；以及计数模块，与控制模块电性相连，用于对机械手(12)的搬运次数进行计数。2.根据权利要求1所述的机械手测试平台，其特征在于，所述移动装置(2)包括：安装架(21)，用于安装待测机械手(12)；水平驱动机构(23)，与控制模块电性连接，用于驱动安装架(21)水平移动；升降机构(22)，安装在安装架(21)上，与控制模块电性连接，用于驱动待测机械手(12)升降。3.根据权利要求2所述的机械手测试平台，其特征在于，所述水平驱动机构(23)包括：横向导轨(231)，设置在柜体(1)的侧面，且所述安装架(21)与横向导轨(231)滑动配合；齿轮轨道(232)，与横向导轨(231)平行布置；水平驱动器(233)，安装在安装架(21)上，与控制模块电性连接，且通过齿轮与齿轮轨道(...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭朋，董自锐，吴小祥，赵斌，
申请(专利权)人：尹成机电科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：