一种晶圆片盒落座传感器的检测机构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体领域，具体涉及一种晶圆片盒落座传感器的检测机构，本晶圆片盒落座传感器的检测机构包括：控制模块；与控制模块相连的待测传感器单元；与控制模块相连的驱动模块，适于驱动一感应片触发待测传感器单元；所述待测传感器单元被触发后适于发送触发信号至所述控制模块，并通过与控制模块相连的计数模块对触发次数进行计数，本晶圆片盒落座传感器的检测机构的控制模块适于控制驱动模块驱动感应片重复触发待测传感器单元，且所述待测传感器单元被触发后向控制模块发送触发信号，以使控制模块控制计数模块对待测传感器单元的触发次数进行计数，以自动检测晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数。落座传感器的极限抗疲劳次数。落座传感器的极限抗疲劳次数。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片盒落座传感器的检测机构


[0001]本技术涉及半导体领域，具体涉及一种晶圆片盒落座传感器的检测机构。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆清洗时，需要用到机台上的晶圆片盒落座传感器，其可以检测晶圆盒安放是否到位。在持续的清洗过程中，一个清洗机台重复高负荷的运作，为了有效防止晶圆盒安放不到位而影响清洗效果，安装的传感器需要极其稳定且高效的运作。
[0003]目前，还没有用于自动检测晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数的检测机构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种晶圆片盒落座传感器的检测机构，以便于检测晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆片盒落座传感器的检测机构，包括：控制模块；与控制模块相连的待测传感器单元；与控制模块相连的驱动模块，适于驱动一感应片触发待测传感器单元；所述待测传感器单元被触发后适于发送触发信号至所述控制模块，并通过与控制模块相连的计数模块对触发次数进行计数。
[0006]进一步的，所述待测传感器单元包括：分别与控制模块相连的第一待测传感器和第二待测传感器；所述驱动模块适于驱动感应片往复触发第一待测传感器、第二待测传感器；第一、第二待测传感器被触发后适于分别发送触发信号至所述控制模块。
[0007]进一步的，所述第一待测传感器和第二待测传感器分别设置在测试安装板上；所述驱动模块包括：气缸，设置在所述测试安装板上，其驱动端与所述感应片连接；与控制模块相连的电磁阀，安装在气缸的供气管路上；其中所述控制模块适于通过电磁阀控制所述气缸驱动所述感应片在所述第一待测传感器和第二待测传感器之间往复。
[0008]进一步的，所述电磁阀为一进二出式；所述电磁阀的进气接口连接进气管，两个出气口分别连接气缸的第一气管、第二气管相连；其中所述进气管与所述第一气管连通时，所述气缸的驱动端驱动所述感应片向第二待测传感器移动；所述进气管与所述第二气管连通时，所述气缸的驱动端驱动所述感应片向第一待测传感器移动。
[0009]进一步的，所述测试安装板上凹设有分别与第一待测传感器和第二待测传感器造型适配的安装槽；所述安装槽的内壁设置有弹性组件，适于分别将相应待测传感器卡在相应的安装槽内。
[0010]进一步的，所述弹性组件包括：挡片，位于安装槽内，且平行于一槽边设置；若干弹簧，两端分别与所述槽边和挡片连接。
[0011]进一步的，所述测试安装板上设置有固定板组，用于固定相应待测传感器；所述固定板组包括：分别位于待测传感器两侧的第一、第二挡板；其中第一挡板上设置有若干紧固件，用于将待测传感器抵紧在第二挡板上。
[0012]进一步的，所述第二挡板上设置有至少一个拐角，且与待测传感器的相应侧边形
状适配。
[0013]进一步的，所述第一挡板上设置有螺纹孔；所述紧固件穿过螺纹孔的一端设置有缓冲件。
[0014]本技术的有益效果是，本技术的控制模块适于控制驱动模块驱动感应片重复触发待测传感器单元，且所述待测传感器单元被触发后向控制模块发送触发信号，以使控制模块控制计数模块对待测传感器单元的触发次数进行计数，以自动检测晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数。
[0015]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0016]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是晶圆片盒落座传感器的检测机构的系统框图；
[0019]图2是晶圆片盒落座传感器的检测机构的主视图；
[0020]图3是测试安装板的一种可选实施方式的立体图；
[0021]图4是测试安装板的一种可选实施方式的主视图；
[0022]图5是测试安装板的另一种可选实施方式的立体图。
[0023]图中：
[0024]待测传感器单元1、第一待测传感器11、第二待测传感器12、驱动模块2、气缸21、第一气管211、第二气管212、电磁阀22、感应片3、进气管4、测试安装板5、安装槽51、挡片52、弹簧53、第一挡板54、紧固件55、第二挡板56、缓冲件57。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例
[0027]如图1和图2所示，本实施例提供了一种晶圆片盒落座传感器的检测机构，包括：控制模块；与控制模块相连的待测传感器单元1；与控制模块相连的驱动模块2，适于驱动一感应片3触发待测传感器单元1；所述待测传感器单元1被触发后适于发送触发信号至所述控制模块，并通过与控制模块相连的计数模块对触发次数进行计数。
[0028]在本实施方式中，所述控制模块可以是DR
‑
60
‑
24型电源和若干电磁继电器电性连
接组成；所述计数模块可以是JDM11
‑
6H型计数器；所述控制模块适于控制驱动模块2驱动感应片3重复触发待测传感器单元1，且所述待测传感器单元1被触发后向控制模块发送触发信号，以使控制模块控制计数模块对待测传感器单元1的触发次数进行计数，以自动检测晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数。
[0029]具体的，所述待测传感器单元1包括：分别与控制模块相连的第一待测传感器11和第二待测传感器12；所述驱动模块2适于驱动感应片3往复触发第一待测传感器11、第二待测传感器12；第一、第二待测传感器被触发后适于分别发送触发信号至所述控制模块。
[0030]在本实施方式中，所述待测传感器单元1包括相对设置的第一待测传感器11和第二待测传感器12，相较于只设置一个待测传感器，提高了晶圆片盒落座传感器的极限抗疲劳次数的检测效率；相较于按照晶圆清洗时晶圆片盒落座传感器安装状态设置四个待测传感器，也可以一定程度上简化测试机构的线路连接；所述感应片3在驱动模块2的驱动下移动至所述第一待测传感器11或第二待测传感器12的感应区时，触发相应的感应信号，且通过相应的待测传感器将触发信号发送至所述控制模块，所述控制模块可以直接控制计数模块计数；所述计数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片盒落座传感器的检测机构，其特征在于，包括：控制模块；与控制模块相连的待测传感器单元(1)；与控制模块相连的驱动模块(2)，适于驱动一感应片(3)触发待测传感器单元(1)；所述待测传感器单元(1)被触发后适于发送触发信号至所述控制模块，并通过与控制模块相连的计数模块对触发次数进行计数。2.根据权利要求1所述的晶圆片盒落座传感器的检测机构，其特征在于，所述待测传感器单元(1)包括：分别与控制模块相连的第一待测传感器(11)和第二待测传感器(12)；所述驱动模块(2)适于驱动感应片(3)往复触发第一待测传感器(11)、第二待测传感器(12)；第一、第二待测传感器被触发后适于分别发送触发信号至所述控制模块。3.根据权利要求2所述的晶圆片盒落座传感器的检测机构，其特征在于，所述第一待测传感器(11)和第二待测传感器(12)分别设置在测试安装板(5)上；所述驱动模块(2)包括：气缸(21)，设置在所述测试安装板(5)上，其驱动端与所述感应片(3)连接；与控制模块相连的电磁阀(22)，安装在气缸(21)的供气管路上；其中所述控制模块适于通过电磁阀(22)控制所述气缸(21)驱动所述感应片(3)在所述第一待测传感器(11)和第二待测传感器(12)之间往复。4.根据权利要求3所述的晶圆片盒落座传感器的检测机构，其特征在于，所述电磁阀(22)为一进二出式；所述电磁阀(22)的进气接口连接进气管(4)，两个出气口分别连接气缸(21)的第一气管(211)、第二气管(212)相连；其中所述进...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭朋，董自锐，吴小祥，赵斌，
申请(专利权)人：尹成机电科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：