药液混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体晶圆技术领域，具体涉及一种药液混合装置，本装置包括：混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，一种药液混合装置通过设置混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，当多种药液在外部汇集成一路后，从混合导管的一端进入，经过其中一个导流片上的导流孔时呈逆时针旋转，经过另一个导流片上的导流孔时呈顺时针旋转，通过旋转方向的改变使液体混合更加均匀，做到代替电机混合的同时，满足绿色环保的理念。色环保的理念。色环保的理念。

【技术实现步骤摘要】
药液混合装置


[0001]本技术属于半导体晶圆
，具体涉及一种药液混合装置。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆清洗过程中，需要多种药液按配体混合后再去浸泡晶圆，药液混合是否均匀直接影响晶圆清洗效果，而现有的混合装置大多使用电机进行药液的混合，在混合的过程中需要浪费大量的电能，不符合现有的绿色环保理念。
[0003]基于上述问题，亟需设计一种药液混合装置是很有必要的。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种药液混合装置，以解决使药液混合更均匀的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种药液混合装置，包括：混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片。
[0006]所述混合导管为三段式，其中段的导流口设置有导流片用卡合位。
[0007]所述混合导管的前段和后段均设置有外接用螺纹。
[0008]所述导流片的中部设置有导流孔，所述导流孔的数量为3
‑
8个。
[0009]所述导流片的中部设置有导流孔，所述导流孔的数量为3
‑
8个。
[0010]所述混合导管的两端口内侧设置有外接用螺纹。
[0011]本技术的有益效果是，通过设置混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，当多种药液在外部汇集成一路后，从混合导管的一端进入，经过其中一个导流片上的导流孔时呈逆时针旋转，经过另一个导流片上的导流孔时呈顺时针旋转，通过旋转方向的改变使液体混合更加均匀，做到代替电机混合的同时，满足绿色环保的理念。
[0012]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0013]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本技术的药液混合装置的优选实施例的立体图；
[0016]图2是本技术的药液混合装置的优选实施例的正视剖视图；
[0017]图中：
[0018]混合导管1、卡合位101；
[0019]导流片2、导流孔201。
具体实施方式
[0020]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]图1所示，本实施例提供了一种药液混合装置，包括：混合导管1，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片2，通过设置螺纹相反的导流片2，使药液经过时通过旋转方向的改变使液体混合更加均匀。
[0022]作为药液混合装置的一种实施方式，如图1所示，在本实施例中，所述导流片2的中部设置有导流孔201，所述导流孔201的数量为3
‑
8个，通过将导流孔201的数量设置为3
‑
8个，使其针对不同药液实现不同的混合效果。
[0023]所述混合导管1的两端口内侧设置有外接用螺纹，使其可以组装多组混合导管1使其混合更均匀，还可以与其他导管进行接通。
[0024]作为药液混合装置的另一种实施方式，如图2所示，在本实施例中，所述混合导管1为三段式，其中段的导流口设置有导流片2用卡合位101，通过采用三段式结构，使其组装的时候将导流片2固定，使的药液经过时改变药液旋转方向。
[0025]所述混合导管1的前段和后段均设置有外接用螺纹，通过在三段式的前端和后端都设置有外接用螺纹，使其便于和其他管件连接。
[0026]所述导流片2的中部设置有导流孔201，所述导流孔201的数量为3
‑
8个，通过将导流孔201的数量设置为3
‑
8个，使其针对不同药液实现不同的混合效果。
[0027]上述外接用螺纹采用但不限于NPT螺纹结构。
[0028]综上所述，本技术的药液混合装置通过设置混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，当多种药液在外部汇集成一路后，从混合导管的一端进入，经过其中一个导流片上的导流孔时呈逆时针旋转，经过另一个导流片上的导流孔时呈顺时针旋转，通过旋转方向的改变使液体混合更加均匀，做到代替电机混合的同时，满足绿色环保的理念。
[0029]在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第
一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液混合装置，其特征在于，包括：混合导管（1），以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片（2）。2.如权利要求1所述的药液混合装置，其特征在于，所述混合导管（1）为三段式，其中段的导流口设置有导流片（2）用卡合位（101）。3.如权利要求2所述的药液混合装置，其特征在于，所述混合导管（1）的前段和后段均设置有外接用螺纹。4.如权利要求2所述的药液混合装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭朋，董自锐，吴小祥，赵斌，
申请(专利权)人：尹成机电科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：