温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体晶圆技术领域，具体涉及一种药液混合装置，本装置包括：混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，一种药液混合装置通过设置混合导管，以用于导流药液，其内部设有螺旋方向相反的导流片，当多种药液在外部汇集成一路后...
该专利属于尹成机电科技（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尹成机电科技（常州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。