一种金刚石单晶片抛光装置制造方法及图纸

技术编号:34501432 阅读:23 留言:0更新日期:2022-08-10 09:25
本实用新型专利技术涉及金刚石单晶片抛光技术领域,具体涉及一种金刚石单晶片抛光装置。金刚石单晶片抛光装置包括工作台,工作台上转动装配有砂轮,砂轮的转动轴线沿竖直方向延伸,工作台上设有推力机构,推力机构具有推杆,推杆的下端连接有固定座,固定座的下表面用于固定金刚石单晶片,所述固定座可相对推杆转动,在固定座的转动行程中具有使安装在固定座下表面的金刚石单晶片的待抛光面与砂轮上表面贴合或平行的磨削位。这样设计,使得金刚石单晶片在磨削时其最厚的部位和最薄的部位均与砂轮接触,在砂轮转动过程中实现待抛光面的快速抛光,不仅降低了金刚石单晶片的磨削量,减少了金刚石单晶片的浪费,而且缩短了抛光时间,提高了加工效率。提高了加工效率。提高了加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石单晶片抛光装置


[0001]本技术涉及金刚石单晶片抛光
,具体涉及一种金刚石单晶片抛光装置。

技术介绍

[0002]现有技术中,通常使用抛光装置对金刚石单晶片进行抛光。如图1所示,抛光装置包括工作台11,工作台11上转动装配有砂轮,砂轮包括基体16和镀层17,工作台11上设有摆动机构12,摆动机构12上设有推力机构13,推力机构13的推杆18上设有固定座14,固定座14的下表面粘接固定有金刚石单晶片15。其中,摆动机构12用于驱动推力机构13在水平方向上运动,推力机构13用于驱动固定座14在竖直方向上运动;在金刚石单晶片15与镀层17接触时,转动的砂轮通过镀层17对金刚石单晶片15研磨抛光。
[0003]对于待抛光面倾斜的金刚石单晶片,则金刚石单晶片与砂轮镀层不能完全贴合,需要从金刚石单晶片最厚的部位开始磨削,直到磨削至金刚石单晶片最薄的部位时才能达到整个面的抛光效果。上述方式中,金刚石单晶片的磨削量大,造成金刚石单晶片的浪费,而且抛光时间长,导致加工效率较低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种金刚石单晶片抛光装置,以解决现有技术中对待抛光面倾斜的金刚石单晶片磨削时造成的磨削量大、抛光时间长的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术金刚石单晶片抛光装置的技术方案是:
[0006]金刚石单晶片抛光装置,包括工作台,工作台上转动装配有砂轮,砂轮的转动轴线沿竖直方向延伸,工作台上设有推力机构,推力机构具有推杆,推杆的下端连接有固定座,固定座的下表面用于固定金刚石单晶片,所述固定座可相对推杆转动,在固定座的转动行程中具有使安装在固定座下表面的金刚石单晶片的待抛光面与砂轮上表面贴合或平行的磨削位。
[0007]有益效果是:使用时,将金刚石单晶片粘接在固定座的下表面上,由于固定座可相对推杆转动,这样可以使安装在固定座下表面的金刚石单晶片的待抛光面与砂轮上表面贴合或平行,使得金刚石单晶片在磨削时其最厚的部位和最薄的部位均与砂轮接触,在砂轮转动过程中实现待抛光面的快速抛光。这样设计,不仅降低了金刚石单晶片的磨削量,减少了金刚石单晶片的浪费,而且缩短了抛光时间,提高了加工效率。
[0008]作为进一步地改进,所述固定座铰接在推杆的下端,以实现固定座相对推杆转动。
[0009]有益效果是:该结构较为简单,不需要设置锁紧件。
[0010]作为进一步地改进,所述推杆的下端设有球头,固定座球铰在推杆上。
[0011]有益效果是:这样设计,可以实现固定座相对推杆在任意方向上转动,使得金刚石单晶片在固定座下表面的粘贴位置不受限制。
[0012]作为进一步地改进,所述固定座上固定有连杆,连杆通过转轴铰接在推杆上,金刚
石单晶片抛光装置还包括锁紧件,锁紧件在连杆相对推杆转动到位后将连杆锁紧在推杆上以保持连杆和推杆相对固定。
[0013]有益效果是:由于锁紧件保持连杆和推杆相对固定,即保证待抛光面的位置确定,这样设计,不会因固定座任意转动而导致金刚石单晶片产生偏磨。
[0014]作为进一步地改进,所述连杆和推杆的相对端分别设有连杆耳板和推杆耳板,转轴为穿装在连杆耳板和推杆耳板上的螺栓,锁紧件为螺纹连接在螺栓上的锁紧螺母。
[0015]有益效果是:只需通过旋松和旋紧锁紧螺母即可调节并固定连杆,使得连杆的调节较为简单。
[0016]作为进一步地改进,所述连杆和推杆中的其中一个上设有耳板,连杆和推杆中的另一个上设有叉臂,耳板插入叉臂内,转轴为穿装在叉臂和耳板上的销轴,锁紧件为螺纹连接在叉臂上的紧定螺钉。
[0017]有益效果是:只需通过旋松和旋紧紧定螺钉即可调节并固定连杆,使得连杆的调节较为简单。
[0018]作为进一步地改进,所述砂轮包括基体和镀层,镀层设置在基体的上表面上。
[0019]有益效果是:这样设计,可以减少镀层材料,降低砂轮的制作成本。
[0020]作为进一步地改进,所述工作台上还设有可沿水平方向摆动的摆动机构,推力机构连接在摆动机构上。
[0021]有益效果是:这样设计,在金刚石单晶片磨削的过程中,通过摆动机构可以调节推力机构在砂轮径向上的位置,进而调节金刚石单晶片在砂轮径向上的磨削位置,避免金刚石单晶片在砂轮径向上的同一个位置磨削而使砂轮出现凹坑,影响砂轮的使用寿命。
[0022]作为进一步地改进,所述工作台上设有至少两个推力机构,所有的推力机构在砂轮的周向上间隔布置。
[0023]有益效果是:这样设计,能够同时实现至少两个金刚石单晶片的磨削,提高加工效率。
[0024]作为进一步地改进,所述推力机构为气缸。
[0025]有益效果是:由于气缸利用的是气体压力,其不会造成金刚石单晶片污染。
附图说明
[0026]图1为现有技术中金刚石单晶片抛光装置的结构示意图;
[0027]图2为本技术金刚石单晶片抛光装置的实施例1的结构示意图;
[0028]图3为本技术金刚石单晶片抛光装置的实施例2的结构示意图。
[0029]图1中:11、工作台;12、摆动机构;13、推力机构;14、固定座;15、金刚石单晶片;16、基体;17、镀层;18、推杆;
[0030]图2和图3中:21、工作台;22、摆动机构;23、推力机构;24、固定座;25、金刚石单晶片;26、基体;27、镀层;28、推杆;29、球头;30、连杆;31、螺栓。
具体实施方式
[0031]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明了,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本
技术,并不用于限定本技术,即所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0032]因此,以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0033]需要说明的是,可能出现的术语如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何实际的关系或者顺序。而且,术语如“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
等限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。此外,术语“前”、“后”、“上”、“下”、“本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.金刚石单晶片抛光装置,包括工作台(21),工作台(21)上转动装配有砂轮,砂轮的转动轴线沿竖直方向延伸,工作台(21)上设有推力机构(23),推力机构(23)具有推杆(28),推杆(28)的下端连接有固定座(24),固定座(24)的下表面用于固定金刚石单晶片(25),其特征在于,所述固定座(24)可相对推杆(28)转动,在固定座(24)的转动行程中具有使安装在固定座(24)下表面的金刚石单晶片(25)的待抛光面与砂轮上表面贴合或平行的磨削位。2.根据权利要求1所述的金刚石单晶片抛光装置,其特征在于,所述固定座(24)铰接在推杆(28)的下端,以实现固定座(24)相对推杆(28)转动。3.根据权利要求2所述的金刚石单晶片抛光装置,其特征在于,所述推杆(28)的下端设有球头(29),固定座(24)球铰在推杆(28)上。4.根据权利要求1所述的金刚石单晶片抛光装置,其特征在于,所述固定座(24)上固定有连杆(30),连杆(30)通过转轴铰接在推杆(28)上,金刚石单晶片抛光装置还包括锁紧件,锁紧件在连杆(30)相对推杆(28)转动到位后将连杆(30)锁紧在推杆(28)上以保持连杆(30)和推杆(28)相对固定。5....

【专利技术属性】
技术研发人员:郑逢达曾飞翔李宏利方海江崔名扬
申请(专利权)人:河南天璇半导体科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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