片盒数片机构及晶圆清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种片盒数片机构及晶圆清洗设备，其中片盒数片机构，包括：料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传感器和定位传感器同步运动的动力机构；定位传感器逐个扫描定位结构以确定扫描装置与晶圆槽的对应位置，计数传感器逐个扫描晶圆槽是否有晶圆。该片盒数片机构及晶圆清洗设备采用简单的传感器及其驱动结构，解决现有晶圆传感器结构可靠性问题并大幅节省设备成本，是一种数片计数及定位准确且可靠性高、返修少、故障率及成本低，尤其适合晶圆槽式半导体湿法清洗设备的上下料装置的数片作业。下料装置的数片作业。下料装置的数片作业。

【技术实现步骤摘要】
片盒数片机构及晶圆清洗设备


[0001]本技术涉及槽式湿法清洗设备，尤其涉及一种适用于半导体晶圆清洗设备上下料装置的片盒数片机构及晶圆加工设备。

技术介绍

[0002]在现有的半导体晶圆槽式湿法清洗设备中，其上下料装置通常使用数片机构计数定位晶圆槽中的晶圆片，其核心部件一般采用晶圆专用的Mapping Sensor作为数片传感器，这种传感器价格高昂，且利用该传感器检测单片晶圆时，其类似梳子的带尺尾端具有发生磕断的风险，导致带齿尾端断后传感器报废，从而降低设备可靠性并导致增加设备的使用及维护成本。
[0003]因此，如何提高现有半导体晶圆清洗设备的数片机构传感器的可靠性并降低其设备成本，是本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术中存在的缺陷，本技术提出一种适用于半导体晶圆清洗设备上下料装置的片盒数片机构及晶圆加工设备。
[0005]本技术采用的技术方案是，提供一种片盒数片机构，包括：
[0006]料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；
[0007]安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；
[0008]扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传感器和定位传感器同步运动的动力机构；
[0009]定位传感器逐个扫描定位结构以确定扫描装置与晶圆槽的对应位置，计数传感器逐个扫描晶圆槽是否有晶圆。
[0010]进一步地，每个晶圆槽贯通片盒的底部，料台设有用于露出晶圆槽的开口；计数传感器包括：设于片盒上方的第一对射电眼、设于开口下方的第二对射电眼，第一对射电眼和第二对射电眼上下对齐且透过晶圆槽与开口相互配合发送或接受信号。
[0011]进一步地，定位件采用定位尺条，定位结构为间隔设置于定位尺条上的多个定位缺口；
[0012]定位传感器包括：主体、设于主体上的扫描槽，该扫描槽包括相对设置的第一对射槽壁和第二对射槽壁，第一对射壁和第二对射壁通过槽底连为一体形成扫描槽，定位尺条设于第一对射槽壁和第二对射槽壁之间，且第一对射槽壁和第二对射槽壁相互配合发送或接受信号。
[0013]优选地，片盒设于料台的顶端，定位件水平设于料台的下方，多个定位结构在竖直方向上一一正对于多个晶圆槽。
[0014]进一步地，扫描装置还包括：
[0015]竖直设置的连接件，第一对射电眼设于连接件的上端，定位传感器设于连接件的
下端，第二对射电眼设于连接件中部且位于第一对射电眼和定位传感器之间。
[0016]进一步地，定位传感器还包括：用于沿水平方向微调定位尺条以校准其与晶圆槽的对位的微调结构。
[0017]进一步地，动力机构包括，竖直设置于料台下方的安装座，设于安装座上的驱动单元和传动结构，驱动单元用于驱动传动结构的运动件水平运动，连接件安装于运动件上。
[0018]优选地，驱动单元采用气缸单元，传动结构包括气缸单元的活塞杆和设于安装座上的导轨，运动件安装于活塞杆的末端，且运动件通过导槽安装于导轨上。
[0019]进一步地，还包括：
[0020]安装于料台顶部的限位块，该限位块设有限位槽，片盒底部设有与限位槽相匹配的限位筋。
[0021]本技术还提供一种晶圆清洗设备，包括上料装置和下料装置，上料装置和/或下料装置采用了上述的片盒数片机构。
[0022]与现有技术相比，本技术提供的片盒数片机构及晶圆清洗设备具有以下有益效果：本技术采用简单的传感器及其驱动结构，解决了现有晶圆传感器结构可靠性的问题，并可大幅节省设备成本，数片计数及定位准确且可靠性高、返修少、故障率及成本低，尤其适合于晶圆槽式半导体湿法清洗设备晶的上下料装置的数片作业。
附图说明
[0023]下面结合实施例和附图对本技术进行详细说明，其中：
[0024]图1是本技术中片盒数片机构的整体装配结构示意图一；
[0025]图2是本技术中片盒数片机构的正视装配结构示意图；
[0026]图3是本技术中片盒数片机构的俯视装配结构示意图；
[0027]图4是本技术中片盒数片机构的整体装配结构示意图二；
[0028]图5是本技术中片盒数片机构的整体装配结构示意图三；
[0029]图6是本技术中片盒数片机构的局部爆炸结构示意图；
[0030]图7是图6中片盒数片机构的局部装配结构示意图。
[0031]其中，图中主要标记：
[0032]1、料台；11、开口；12、让位槽；2、片盒；21、晶圆槽；22、限位筋；3、定位件；31、定位结构；4、计数传感器；41、第一对射电眼；42、第二对射电眼；5、定位传感器；51、主体；52、扫描槽；521、第一对射槽壁；522、第二对射槽壁；6、动力机构；61、安装座；62、驱动单元；63、传动结构；631、导轨；7、连接件；71、信号放大器；8、运动件；81、导槽；9、限位块；91、限位槽。
具体实施方式
[0033]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0034]由此，本说明书中所指出的一个特征将用于说明本技术的一个实施方式的其中一个特征，而不是暗示本技术的每个实施方式必须具有所说明的特征。此外，应当注意的是本说明书描述了许多特征。尽管某些特征可以组合在一起以示出可能的系统设计，
但是这些特征也可用于其他的未明确说明的组合。由此，除非另有说明，所说明的组合并非旨在限制。
[0035]下面结合附图1
‑
7以及实施例对本技术的原理进行详细说明。
[0036]请一并参阅图1
‑
7，本技术提供的片盒数片机构，包括：料台1，该料台1优选为一水平设置的矩形板，也可以采用圆形板或其它形状的平板代替；安装在料台1上的片盒2，该片盒2优选为顶部开口11的矩形盒体，该盒体内连续间隔设有多个晶圆槽21；安装在料台1上的定位件3，该定位件3设有与多个晶圆槽21一一对应的定位结构31；本实施例中，还包括：安装于料台1顶部的限位块9，该限位块9设有限位槽91，片盒2底部设有与限位槽91相匹配的限位筋22；优选为在料台1顶部设有四个限位块9，分别对应矩形片盒2底部的四角。在本实施例中，定位件3采用定位尺条，该定位尺条的主体51为一水平延伸的竖板，定位结构31为沿定位齿条的轴向，即沿水平方向连续间隔设置于定位尺条上的多个定位缺口，且每个定位缺口位于相邻的定位齿之间。
[0037]请一并参阅图1、4
‑
7，本技术提供的片盒数片机构还包括：扫描装置，在本实施例中，该扫描装置包括：计数传感器4、定位传感器5、驱动计数传感器4和定位传感器5同步运动的动力机构6；动力机构6同步驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.片盒数片机构，其特征在于，包括：料台（1），安装在所述料台（1）上的片盒（2），该片盒（2）间隔设有多个晶圆槽（21）；安装在所述料台（1）上的定位件（3），该定位件（3）设有与多个所述晶圆槽（21）一一对应的定位结构（31）；扫描装置，包括：计数传感器（4）、定位传感器（5）、驱动所述计数传感器（4）和定位传感器（5）同步运动的动力机构（6）；所述定位传感器（5）逐个扫描所述定位结构（31）以确定所述扫描装置与所述晶圆槽（21）的对应位置，所述计数传感器（4）逐个扫描所述晶圆槽（21）是否有晶圆。2.如权利要求1所述的片盒数片机构，其特征在于，每个晶圆槽（21）贯通所述片盒（2）的底部，所述料台（1）设有用于露出所述晶圆槽（21）的开口（11）；所述计数传感器（4）包括：设于所述片盒（2）上方的第一对射电眼（41）、设于所述开口（11）下方的第二对射电眼（42），所述第一对射电眼（41）和所述第二对射电眼（42）上下对齐且透过所述晶圆槽（21）与所述开口（11）相互配合发送或接受信号。3.如权利要求1所述的片盒数片机构，其特征在于，所述定位件（3）采用定位尺条，所述定位结构（31）为间隔设置于所述定位尺条上的多个定位缺口；所述定位传感器（5）包括：主体（51）、设于所述主体（51）上的扫描槽（52），该扫描槽（52）包括相对设置的第一对射槽壁（521）和第二对射槽壁（522），所述第一对射壁和所述第二对射壁通过槽底连为一体形成所述扫描槽（52），所述定位尺条设于所述第一对射槽壁（521）和第二对射槽壁（522）之间，且所述第一对射槽壁（521）和第二对射槽壁（522）相互配合发送或接受信号。4.如权利要求1所述的片盒数片机构，其特征在于，所述片盒（2）设于所述料台（1）的顶端，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚泽熙，李雄朋，庄海云，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：