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本实用新型公开了一种片盒数片机构及晶圆清洗设备，其中片盒数片机构，包括：料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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