用于真空镀膜机的抽真空单元制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于真空镀膜机的抽真空单元，包括一级真空泵组、二级真空泵组、螺杆真空泵一级电磁阀门。其中，一级真空泵组包括多个并联设置的第一真空泵。二级真空泵组包括多个串联设置的第二真空泵。电磁阀门设置在二级真空泵组与螺杆真空泵之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。本实用新型专利技术提供的用于真空镀膜机的抽真空单元可改变以往的抽真空方式，在保证抽气量的同时，还保证了最大真空度，而且解决了油污染的弊端，结构简单，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜机的抽真空单元


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种用于真空镀膜机的抽真空单元。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是在真空环境下将金属铝铜等材料通过加热形成蒸汽蒸镀到卷状塑料薄膜表面上。真空镀膜机由镀膜单元和抽真空单元两大部分组成，而抽真空单元主要实现对镀膜单元的镀膜腔进行抽真空的目的。
[0003]现有技术中，对于抽真空系统，通常采用串联的多个液压真空泵进行抽真空，但是对于液压真空泵，在经过长期使用后，经常会出现或大或小的问题，如排气口漏油，造成环境污染，因此对于液压真空泵的出气口还需连接/连通尾气处理系统，以保证对排出气体的处理，该种方式无疑增加了设备成本，实用性较差。另外，多个液压真空泵同时工作，虽然能够保证最大真空度，但是其抽气过程较为缓慢，进而影响生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种用于真空镀膜机的抽真空单元，旨在能够解决现有的抽真空系统实用性差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种用于真空镀膜机的抽真空单元，包括：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于真空镀膜机的抽真空单元，其特征在于，包括：一级真空泵组，包括多个并联设置的第一真空泵；每个所述第一真空泵均具有第一进气口和第一出气口，各所述第一进气口用于与镀膜腔相连通；二级真空泵组，包括多个串联设置的第二真空泵；各所述第二真空泵依次顺序连通，并形成进气端和出气端，所述进气端与各所述第一出气口相连通；螺杆真空泵，具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述出气端相连通；以及电磁阀门，设置在所述二级真空泵组与所述螺杆真空泵之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。2.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽真空单元，其特征在于，所述用于真空镀膜机的抽真空单元还包括锁止组件，所述锁止组件包括：筒体，具有滑腔，并具有分别与所述滑腔连通的第一连通口、第二连通口及第三连通口；所述第一连通口与所述进气端相连通，所述第二连通口用于与外界大气相连通，所述第三连通口与各所述第一出气口相连通；活塞，滑动设置在所述滑腔中，用于在所述滑腔中滑动，以分别连通所述第一连通口和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，张国桥，
申请(专利权)人：河北科能新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：