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本实用新型提供了一种用于真空镀膜机的抽真空单元，包括一级真空泵组、二级真空泵组、螺杆真空泵一级电磁阀门。其中，一级真空泵组包括多个并联设置的第一真空泵。二级真空泵组包括多个串联设置的第二真空泵。电磁阀门设置在二级真空泵组与螺杆真空泵之间，用...
该专利属于河北科能新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北科能新材料有限公司授权不得商用。

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