一种带缓存舱的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种带缓存舱的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，真空镀膜机本体内部设置有主舱和副舱，主舱和副舱之间设置有第一插板阀门和第二插板阀门，主舱内部上下安装有第一承载台和第二承载台，副舱内部上下安装有第三承载台和第四承载台，真空镀膜机本体内部设置有放置板，放置板顶部表面开设有放置槽。本实用新型专利技术通过设置主舱、副舱、第一承载台、第二承载台、第三承载台、第四承载台、放置板、步进电机、直齿条、齿轮、第一插板阀门和第三插板阀门的配合使用，便于提高真空镀膜机本体的工作效率，此方式操作简单，可以交替的对物件镀膜，无需等待，大大提高其工作效率。大大提高其工作效率。大大提高其工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种带缓存舱的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，尤其涉及一种带缓存舱的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]目前市面上大部分的真空镀膜机都是单舱结构，就是一般情况下将待镀膜的物件放置于放置板上，然后打开舱门，将放置板固定在舱体内，最后关闭舱门，进行抽真空和镀膜作业，镀膜完成后，打开舱门取出镀膜好的物件，在此镀膜过程中，开关舱门，舱内的气压会由真空状态变为普通气压状态，开关舱门前后需要从新进行抽真空作业，大大降低其工作效率。

技术实现思路

[0004]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种带缓存舱的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，真空镀膜机本体内部设置有主舱和副舱，主舱和副舱之间设置有第一插板阀门和第二插板阀门，主舱内部上下安装有第一承载台和第二承载台，副舱内部上下安装有第三承载台和第四本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带缓存舱的真空镀膜机，其特征在于，包括真空镀膜机本体(1)，真空镀膜机本体(1)内部设置有主舱(15)和副舱(16)，主舱(15)和副舱(16)之间设置有第一插板阀门(3)和第二插板阀门(5)，主舱(15)内部上下安装有第一承载台(10)和第二承载台(11)，副舱(16)内部上下安装有第三承载台(12)和第四承载台(13)，真空镀膜机本体(1)内部设置有放置板(17)，放置板(17)顶部表面开设有放置槽(22)，放置板(17)底端表面设置有直齿条(23)，主舱(15)内部安装有第一支撑板(9)，副舱(16)内部安装有第二支撑板(14)，第一支撑板(9)、第二支撑板(14)、主舱(15)内部底端和副舱(16)内部底端安装有步进电机(19)，步进电机(19)输出端通过联轴器安装有齿轮(21)，放置板(17)顶部设置有拉手(18)。2.根据权利要求1的一种带缓存舱的真空镀膜机，其特征在于，第一承载台(10)、第二承载台(11)、第三承载台(12)和第四承载台(13)顶部表面设置有滑块(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕清水，
申请(专利权)人：江西光腾微纳材料有限公司，
类型：新型
国别省市：