卷对卷镀膜系统用的抽真空机组技术方案

本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽真空组、第三粗抽真空组，第一粗抽真空组对第一腔室和第二腔室进行粗抽真空，第二粗抽真空组对第三腔室进行粗抽真空，第三粗抽真空组对第四腔室进行粗抽真空。本实用新型专利技术不仅能够缩短卷对卷镀膜系统抽真空的时间，也能够降低对真空泵以及两侧密封结构的要求和压力，并且还能够使镀膜腔室内维持一个较高较稳的真空度，提高镀膜质量和效率。质量和效率。质量和效率。

【技术实现步骤摘要】
卷对卷镀膜系统用的抽真空机组


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及卷对卷镀膜系统用的抽真空机组。

技术介绍

[0002]真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支，在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。真空镀膜应用，简单地理解就是在真空环境下，利用蒸镀、溅射以及凝结的办法，在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。
[0003]卷对卷镀膜系统是真空镀膜设备的其中一种，卷对卷镀膜系统的首端安装有收卷机构、尾端安装有放卷机构，卷对卷镀膜系统的内部设置有多个串联的腔室，其中包括设置在最中间的镀膜腔室，以及设置在镀膜腔室两侧的多个过渡腔室，这些过渡腔室沿末端至镀膜腔室方向依次包括第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室、第六腔室和第七腔室，相邻腔室之间以及两端腔室与放卷机构、收卷机构的连接处均设有供基材穿过的矩形通孔，并且在矩形通孔处会设置密封结构，将相邻的腔室独立分隔开，在收卷机构和放卷机构的作用下，基材可以通过所有的密封结构连续不断地穿过这些串联的腔室，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述抽真空控制系统包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个所述初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，所述初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽真空组、第三粗抽真空组，所述第一粗抽真空组对第一腔室和第二腔室进行粗抽真空，所述第二粗抽真空组对第三腔室进行粗抽真空，所述第三粗抽真空组对第四腔室进行粗抽真空；所述深度抽真空机构作用于镀膜腔室两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室，所述深度抽真空机构包括一个第四粗抽机组、两个第一精抽机组和两个第二精抽机组，所述第四粗抽机组对两侧的第五腔室、第六腔室和第七腔室进行粗抽真空，两个所述第一精抽机组分别对其中一侧的第五腔室和第六腔室进行精抽真空，两个所述第二精抽机组分别对两侧的第七腔室进行精抽真空。2.根据权利要求1所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第一粗抽真空组包括第一粗抽泵、第一粗抽阀和第二粗抽阀，所述第一粗抽泵的抽气端与第一腔室、第二腔室均连通，所述第一粗抽阀安装在第一腔室与第一粗抽泵之间，所述第二粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。3.根据权利要求2所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第二粗抽真空组包括第二粗抽泵和第三粗抽阀；所述第二粗抽泵的抽气端与第三腔室连通，所述第三粗抽阀安装在第二腔室与第一粗抽泵之间。4.根据权利要求3所述的卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，其特征在于：所述第三粗抽真空组包括第三粗抽泵、第一罗茨泵和第四粗抽阀，所述第三粗抽泵的抽气端与第一罗茨泵的出气端连通，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏文豪，金湛，曹蔚琦，冯欢，骆中涛，
申请(专利权)人：重庆诺奖二维材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：