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本实用新型涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷镀膜系统用的抽真空机组，包括两个初级抽真空机构和一个深度抽真空机构，两个初级抽真空机构分别作用于镀膜腔室其中一侧的第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，初级抽真空机构包括第一粗抽真空组、第二粗抽...
该专利属于重庆诺奖二维材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆诺奖二维材料研究院有限公司授权不得商用。

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