一种新型的真空卷绕溅射单体机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位。该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀。覆均匀。覆均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的真空卷绕溅射单体机


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种新型的真空卷绕溅射单体机。

技术介绍

[0002]现有的卷绕式真空镀膜设备，在工作过程中，盘绕于放卷辊的料卷卷径逐渐减小，盘绕于收卷辊的料卷卷径逐渐增大，若卷绕装置的旋转线速度恒定，则基材表面的张力将随料卷卷径变化而变化，这会造成膜层不均匀，影响镀膜效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种新型的真空卷绕溅射单体机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器，张力传感器安装在张力辊的一侧；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位，移动架的内壁上也安装有多组冷却挡板、平面阴极位，并布置有布气管路。
[0005]优选的，所述真空腔室的顶部安装有放气阀，真空腔室的内侧安装有低温捕集器。
[0006]优选的，所述真空腔室的背部及另一面外侧安装有观察窗，内侧顶部安装有维修照明灯。
[0007]优选的，所述水冷辊连接有进水管和出水管，进水管、出水管与冷却水管连接，从而形成自动冷却水循环。
[0008]优选的，所述真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组，每组真空泵组均包括油扩散泵、罗茨泵、机械泵和机械泵，真空泵组通过可编程控制器控制。
[0009]优选的，所述卷绕支架通过联杆连接有活动底架，活动底架设置在直线导轨上，并通过电机与坦克链牵引机构的配合驱动其沿直线导轨行走。
[0010]优选的，所述直线导轨的一侧安装有立柱式悬吊臂，悬吊臂呈倒置的“L”形结构，悬吊臂上部安装有悬吊勾，悬吊勾的顶端连接有吊绳，吊绳卷绕在收卷辊上，收卷辊连接有旋转电机。
[0011]优选的，所述旋转电机固定在滑动架上，滑动架的顶端连接有直线滑移机构。
[0012]优选的，所述直线滑移机构包括驱动电机、传动齿轮、齿条组，悬吊臂上部的水平部分设有传动槽，传动齿轮安装在传动槽内，齿条组设置在传动槽的底壁上，传动齿轮与齿条组啮合传动连接。
[0013]优选的，所述传动齿轮远离驱动电机的一端通过转轴连接有限位块，传动槽对应
转轴的位置上开设有供其直线滑移的辅助滑槽。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]本技术提供的一种新型的真空卷绕溅射单体机，该设备主要用于柔性材料的两侧镀制溅射工艺，该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀，镀膜效果好。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的局部剖视图；
[0018]图3为本技术的收卷装置的主视图；
[0019]图4为本技术的图3的局部放大结构示意图；
[0020]图5为本技术的真空腔室的具体结构示意图；
[0021]图6为本技术的真空腔室的后视图；
[0022]图7为本技术的悬吊臂的具体结构示意图；
[0023]图8为本技术的直线滑移机构的剖视图。
[0024]图中：1、卷绕支架；2、移动架；3、收放卷辊；4、张力辊；5、导向辊；6、水冷辊；7、收卷电机；8、磁粉制动器；9、行星齿轮减速机；10、同步带轮；11、同步带；12、伺服电机；13、张力传感器；14、平面阴极位；15、冷却挡板；16、布气管路；17、放气阀；18、低温捕集器；19、观察窗；20、维修照明灯；21、冷却水管；22、进水管；23、出水管；24、真空泵组；25、活动底架；26、直线导轨；27、悬吊臂；28、悬吊勾；29、吊绳；30、收卷辊；31、旋转电机；32、驱动电机；33、传动齿轮；34、齿条组；35、传动槽；36、限位块；37、辅助滑槽；38、滑动架；39、联杆；40、坦克链牵引机构。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0028]请参阅图1
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8，本技术提供一种技术方案：一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安
装在卷绕支架1上，卷绕支架1安装在移动架2上；收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊3、张力辊4、导向辊5、水冷辊6。
[0029]在本实施例中：收放卷辊3通过收卷电机7驱动，收卷电机7可实现正反转，镀膜产品根据膜层特性以及使用要求，在收卷时有膜层向内收卷和膜层向外收卷两种收卷方式，可双向转动的收卷电机7增大了本收卷设备的适用范围。
[0030]在本实施例中：收卷电机7的输出轴设置有磁粉制动器8、行星齿轮减速机9；磁粉制动器8是一种以高导磁性磁粉为工作媒介，以激磁电流为控制手段的性能优越的新型自动控制原件，当接通直流电源后产生磁场，工作介质磁粉在磁力线作用下形成磁粉链达到制动扭矩的目的，其特点是快速反映，线性度好，控制力矩恒定，运转平稳，可以快速制动，控制张力；安装磁粉制动器8可以避免收放卷辊3在送料时因惯性而继续旋转，导致柔性材料在收放卷辊3与导向辊5之间出现堆积打结的情况。
[0031]在本实施例中：水冷辊6通过同步带轮10、同步带11的配合与伺服电机12连接，张力辊4连接有张力传感器13，张力传感器13安装在张力辊4的一侧；为了检测柔性材料实际张力大小，将其反馈至张力控制器中，并与控制器中设定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架(1)上，卷绕支架(1)安装在移动架(2)上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊(3)、张力辊(4)、导向辊(5)、水冷辊(6)，收放卷辊(3)通过双向旋转的收卷电机(7)驱动，收卷电机(7)的输出轴设置有磁粉制动器(8)、行星齿轮减速机(9)；所述水冷辊(6)通过同步带轮(10)、同步带(11)的配合与伺服电机(12)连接，张力辊(4)连接有张力传感器(13)；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位(14)，移动架(2)的内壁上也安装有多组冷却挡板(15)、平面阴极位(14)，并布置有布气管路(16)。2.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室的顶部安装有放气阀(17)，真空腔室的内侧安装有低温捕集器(18)。3.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室上还设置有观察窗(19)，真空腔室的内侧顶部安装有维修照明灯(20)。4.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述水冷辊(6)连接有进水管(22)和出水管(23)，进水管(22)、出水管(23)与冷却水管(21)连接。5.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，王栋权，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：