一种用于真空腔体的磁力控制机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空腔体的磁力控制机构，该种用于真空腔体的磁力控制机构包括磁力从动机构(1)、密封法兰(2)、腔壁(3)、密封圈(4)、磁力主动机构(5)和两组磁铁(6)，磁力主动机构(5)从腔壁(3)的腔外穿到真空腔内，磁力主动机构(5)头部套有密封法兰(2)，所述密封法兰(2)及密封圈(4)将腔壁(3)上开孔密封，磁力主动机构(5)的头部有固定磁铁，磁力从动机构(1)固定有配合磁铁，两机构在密封法兰(2)两边通过磁力线相互作用实现特定的运动，实现真空密封且运动配合传动。通过上述方式，本实用新型专利技术结构简单，安装拆卸方便，成本低，将腔体外旋转或平移运动转变为腔内转动、偏转或顶升等运动。等运动。等运动。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空腔体的磁力控制机构


[0001]本技术涉及机构设计
，特别是涉及一种用于真空腔体的磁力控制机构。

技术介绍

[0002]随着社会的发展和科学技术的进步，电子产品更新换代的速度越来越快，单一性功能的产品已不能满足人们的需求，在现有社会中，智能手机、平板电脑等电子产品逐步向轻薄化、智能化、高性能化方向发展，而轻薄化、提升透光率、改善用户体验等任务主要由触控面板和显示面板来担当，而制备这些半导体器件的关键薄膜层，均会采用真空镀膜的方式来实现，真空镀膜也可分为物理气相沉积、化学气相沉积等等，这些镀膜工艺的均需要在极低的真空环境中完成，而要完成这样的工艺则需要真空镀膜设备，真空镀膜设备首先就是需要可形成真空环境的真空腔体，真空腔体达成真空环境的首要条件便是真空腔体被封闭成一个密闭空间，大气被隔绝在腔体外，腔内气体被真空泵系统抽至腔外，这就要求真空腔室内的空间较小且内部不要过于复杂；但真空腔体一般还要有各种功能需求，例如基板传动等，这样这种复杂的伺服电机等机构都会放在腔体外，然后需要把运动传送至腔体内，既要能将外部的动力传至腔体内，又能保障腔体的密闭性，通常这种功能是用磁流体来实现，但磁流体成本极高，较简单的且频次极低的机构动作用磁流体来实现便十分不划算；如此便需要有更方便拆卸、成本更低的解决方案。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服以上技术缺陷，提供一种结构简单、安装拆卸方便、成本低的磁力控制机构。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种用于真空腔体的磁力控制机构，该种用于真空腔体的磁力控制机构包括磁力从动机构、密封法兰、腔壁、密封圈、磁力主动机构和两组磁铁，所述磁力主动机构从腔壁的腔外穿到真空腔内，磁力主动机构头部套有密封法兰，所述密封法兰及密封圈将腔壁上开孔密封，所述磁力主动机构的头部有固定磁铁，磁力从动机构固定有配合磁铁，两机构在密封法兰两边通过磁力线相互作用实现特定的运动，实现真空密封且运动配合传动。
[0005]优选的是，所述两组磁铁为配合磁铁，安装成相互吸引的异极性磁铁或安装成相互排斥的同极性磁铁。
[0006]优选的是，所述密封法兰设计为磁力主动机构头部对应形状，磁力主动机构为圆柱或长方体等形状，对应密封法兰为对应的帽子形状凹槽，磁力主动机构头部容纳其中。
[0007]优选的是，所述密封法兰制造材料为非导磁材料。
[0008]优选的是，所述磁力主动机构旋转运动或平移运动时，磁力从动机构对应产生转动、偏转或顶升等运动。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0010]现有技术一般采用磁流体封装技术来实现真空封装与传动，本技术更简单、成本低且机构安装拆卸方便。
附图说明
[0011]图1是本技术一种用于真空腔体的磁力控制机构实现旋转运动传动的结构示意图。
[0012]图2是本技术一种用于真空腔体的磁力控制机构实现平移运动传动的结构示意图。
[0013]如图所示：1、磁力从动机构，2、密封法兰，3、腔壁，4、密封圈，5、磁力主动机构，6、两组磁铁
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术较佳实施例进行详细阐述，以使技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0015]请参阅图1和图2，本技术实施例包括：
[0016]一种用于真空腔体的磁力控制机构，该种用于真空腔体的磁力控制机构包括磁力从动机构1、密封法兰2、腔壁3、密封圈4、磁力主动机构5及两组磁铁6，所述磁力主动机构5从腔壁3的腔外穿到真空腔内，磁力主动机构5头部套有密封法兰2，所述密封法兰2及密封圈4将腔壁3上开孔密封。
[0017]具体实施例一：
[0018]结合附图1，所述磁力主动机构5的头部与磁力从动机构1的端部安装有异极性相吸的磁铁。
[0019]所述磁力主动机构5为圆柱形，对应密封法兰2为帽子形状，帽子形状的凹槽将磁力主动机构5头部包裹住。
[0020]所述磁力从动机构1上设有柱形孔，柱形孔包裹密封法兰2，柱形孔四周的磁力从动机构1上安装磁铁为环形磁铁。
[0021]所述磁力主动机构5做旋转运动时，磁力从动机构1在磁力线的影响作用下会跟随做旋转运动，则将腔体外的旋转运动传动至真空腔内。
[0022]具体实施例二：
[0023]结合附图2，所述磁力主动机构5的头部与磁力从动机构1的端部安装有同极性相斥的磁铁。
[0024]所述磁力主动机构5为圆柱形或长方体，对应密封法兰2为对应的帽子形状凹槽，磁力主动机构5头部容纳其中。
[0025]所述磁力从动机构1采用两互相转动连接的连杆，上方连杆固定于腔壁3，下方连杆靠近磁力主动机构的部分安装有磁铁，磁铁采用条形磁铁。
[0026]所述磁力主动机构5做平移运动时，磁力从动机构1在磁力线的影响作用下，会跟随做平移运动，则将腔体外的平移运动传动至腔内。
[0027]本技术一种用于真空腔体的磁力控制机构，结构简单，安装拆卸方便，成本
低，能够将腔体外旋转或平移运动转变为腔内转动、偏转或顶升等运动，运行平稳。
[0028]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空腔体的磁力控制机构，其特征在于：该种用于真空腔体的磁力控制机构包括磁力从动机构(1)、密封法兰(2)、腔壁(3)、密封圈(4)、磁力主动机构(5)和两组磁铁(6)，所述磁力主动机构(5)从腔壁(3)的腔外穿到真空腔内，磁力主动机构(5)头部套有密封法兰(2)，所述密封法兰(2)及密封圈(4)将腔壁(3)上开孔密封，所述磁力主动机构(5)的头部有固定磁铁，磁力从动机构(1)固定有配合磁铁，两机构在密封法兰(2)两边通过磁力线相互作用实现运动，实现真空密封且运动配合传动，所述磁力主动机构(5)旋转运动或平移运动时，磁力从动机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨星，李长江，周文彬，徐全军，王文静，
申请(专利权)人：苏州晟成光伏设备有限公司，
类型：新型
国别省市：