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一种带缓存舱的真空镀膜机制造技术
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下载一种带缓存舱的真空镀膜机的技术资料
文档序号:34439363
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本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种带缓存舱的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体,真空镀膜机本体内部设置有主舱和副舱,主舱和副舱之间设置有第一插板阀门和第二插板阀门,主舱内部上下安装有第一承载台和第二承载台,副舱内部上下安装有第三承载...
该专利属于江西光腾微纳材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西光腾微纳材料有限公司授权不得商用。
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