一种基板上粘贴的胶带的揭取机构制造技术

本实用新型专利技术涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，包括揭起机构和行走卷绕机构，所述揭起机构具有可受控开合的夹持部，所述夹持部可对胶带进行夹持，所述揭起机构的所述夹持部可沿所述胶带的剥离方向运动以揭起所述胶带，所述行走卷绕机构具有可旋转的卷绕轴，且所述卷绕轴可沿所述胶带的剥离方向运动以实现胶带的剥离和缠绕收集。本实用新型专利技术的优点是：实现基板上粘贴的胶带的全自动揭取，提高揭取效率和揭取质量，避免损伤基板；具有起头部的基板仍满足镀膜工艺的要求，不影响镀膜工艺的质量；结构简单合理，使用方便，适于推广。适于推广。适于推广。

【技术实现步骤摘要】
一种基板上粘贴的胶带的揭取机构


[0001]本技术涉及薄膜制备
，尤其是一种基板上粘贴的胶带的揭取机构。

技术介绍

[0002]当前，真空镀膜技术的应用日趋广泛，在工业生产和科学研究领域发挥着巨大作用。与此同时，由于自动化在降本增效方面的优势，市场对自动化真空镀膜设备的需求亦日益增加。
[0003]基片自动化搬送系统是自动化真空镀膜设备的重要组成部分，其又有真空自动化搬送机构和大气环境下自动化上下片机构之分。在基片的磁控溅射真空镀膜过程中，基片通常首先被附着在载体基板上，然后进入镀膜室进行真空镀膜。实际应用中，可利用胶带的粘结作用将基片附着在在载体基板上。在上述应用场景下，大气环境下的自动化下片工序主要包括自动揭基片和自动撕胶带两个工序。为了保证基片在镀膜时的稳定性，胶带一般选用较强粘性的双面胶带，该双面胶带粘结在基板和基片之间。目前，如何采用自动化机构将具有较强粘性的胶带从基板上揭取下来并且不损伤基板是自动撕胶带工序亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，通过揭起机构和行走卷绕机构的配合，实现胶带的自动揭取及收集。
[0005]本技术目的实现由以下技术方案完成：
[0006]一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，其特征在于：包括揭起机构和行走卷绕机构，所述揭起机构具有可受控开合的夹持部，所述夹持部可对胶带进行夹持，所述揭起机构的所述夹持部可沿所述胶带的剥离方向运动以揭起所述胶带，所述行走卷绕机构具有可旋转的卷绕轴，且所述卷绕轴可沿所述胶带的剥离方向运动以实现胶带的剥离和缠绕收集。
[0007]所述揭起机构包括夹手、第一驱动装置、第二驱动装置，其中所述第一驱动装置驱动所述夹手伸缩，所述第二驱动装置驱动所述夹手开合。
[0008]所述夹手上设置有至少一组夹指，所述夹指在所述第二驱动装置的驱动下开合以夹持或松开所述胶带。
[0009]所述夹手上设置有若干组所述夹指，若干组所述夹指分别一一对应于基板上的若干胶带。
[0010]所述行走卷绕机构包括所述卷绕轴、旋转驱动装置以及行走驱动装置，其中所述旋转驱动装置连接所述卷绕轴并可驱动其旋转，所述行走驱动装置可使所述行走卷绕机构沿所述胶带的粘贴方向运动。
[0011]所述卷绕轴与所述旋转驱动装置之间构成可拆卸式的连接固定。
[0012]所述揭起机构的夹持部与基板上的揭起槽相匹配，满足于所述夹持部可从所述揭起槽与所述胶带之间的间隙通过的要求。
[0013]本技术的优点是：实现基板上粘贴的胶带的全自动揭取，提高揭取效率和揭取质量，避免损伤基板；具有起头部的基板仍满足镀膜工艺的要求，不影响镀膜工艺的质量；结构简单合理，使用方便，适于推广。
附图说明
[0014]图1为本技术中基板及胶带的结构示意图；
[0015]图2为本技术中揭起机构的使用状态示意图；
[0016]图3为本技术中揭起机构的结构示意图；
[0017]图4为本技术中揭起机构的揭起动作示意图；
[0018]图5为本技术中行走卷绕机构的结构示意图；
[0019]图6为本技术中揭起机构与行走卷绕机构的配合示意图；
[0020]图7为本技术中卷绕轴的安装结构示意图；
[0021]图8为本专利技术中粘贴结构的结构示意图；
[0022]图9为本专利技术中顶块的使用状态示意图。
具体实施方式
[0023]以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0024]如图1
‑
9所示，图中各标记1
‑
16分别表示为：基板1、揭起槽2、胶带3、揭起机构4、夹手5、气缸6、气爪7、夹指8、行走卷绕机构9、卷绕轴10、卷绕电机11、行走电机12、夹紧螺母13、顶块14、驱动装置15、定位销16。
[0025]实施例：如图1所示，本实施例中基板上粘贴的胶带的揭取机构，用于对基板1上的粘贴的若干胶带3进行揭取，若干胶带3均用于将基片粘结在基板1上，以令基片承载于基板1上在成膜室内进行镀膜。
[0026]如图1所示，在基板1的每根胶带3的粘贴范围内均开设有一揭起槽2，该揭起槽2作为胶带3的起头部用于胶带揭取时的起头部位。揭起槽2为贯通基板1所设置的槽型结构，胶带3的粘贴范围至少覆盖揭起槽2的一部分，即胶带3的粘贴悬空跨越揭起槽2的至少一部分。
[0027]在本实施例中，揭起槽2位于基板1的成膜区域之外，以避免其对镀膜工艺产生不良影响。与此同时，该揭起槽2的槽体尺寸应尽可能小，以避免对单根胶带3的粘结强度产生不良影响，保证胶带3可稳定地将基片粘结在基板上。同时，揭起槽2的至少一部分布置于胶带3的粘贴范围内，在本实施例中，揭起槽2的槽体宽度略大于胶带3的宽度，以保证揭起槽2与胶带3之间留有一定间隙，以供揭起机构可通过该间隙对胶带3进行揭起。
[0028]结合图2和图3所示，本实施例中基板上粘贴的胶带的揭取机构，通过采用揭起机构4和行走卷绕机构9配合实现胶带3的揭取剥离及缠绕回收。
[0029]具体而言，该揭起机构4由夹手5、气缸6以及气爪7构成，其中气缸6作为第一驱动装置驱动夹手5伸出或收缩，气爪7则作为第二驱动装置驱动夹手5夹持或松开。
[0030]在本实施例中，夹手5具有与粘结在基板1上的胶带3的数量相对应的多组夹指8，每组夹指8均可在气爪7的驱动下进行夹持动作或松开动作。每组夹指8均可伸入对应的揭
起槽2与胶带3之间的间隙并对胶带3进行夹持。
[0031]本实施例中的揭起机构4具有如下执行流程：
[0032]气缸6伸出，驱动夹手5的各组夹指8分别进入对应的揭起槽2与胶带3之间的间隙；气爪7驱动各组夹指8闭合以夹持胶带3；在夹指8保持夹持胶带3的状态下，令气缸6缩回，夹手5的各组夹指8便可将各胶带3从各揭起槽2的位置揭起。
[0033]如图6所示，当揭起机构4将胶带3揭起后，通过采用行走卷绕机构9配合实现胶带3的缠绕回收。
[0034]如图5所示，行走卷绕机构9由卷绕轴10、卷绕电机11以及行走电机12构成，其中卷绕电机11可驱动卷绕轴10旋转，行走电机12则可控制行走卷绕机构9的机构位置使其沿胶带方向来回行走到位，并与揭起机构4构成配合动作。
[0035]具体而言，本实施例中的行走卷绕机构9具有如下执行流程：
[0036]结合图4和图6所示，当揭起机构4将胶带3夹持并揭起后，行走卷绕机构9通过其行走电机12行走到已揭起的胶带3的位置，使卷绕轴10与胶带3之间产生有效接触，此时胶带3与卷绕轴10因受力接触产生一定的粘结力，即胶带3粘结于卷绕轴10上。随后，揭起机构4的气爪7释放，夹手5的各组夹指8将胶带3松开，随后由行走卷绕机构9执行胶带3后续的整体剥离和缠绕收集。
[0037本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，其特征在于：包括揭起机构和行走卷绕机构，所述揭起机构具有可受控开合的夹持部，所述夹持部可对胶带进行夹持，所述揭起机构的所述夹持部可沿所述胶带的剥离方向运动以揭起所述胶带，所述行走卷绕机构具有可旋转的卷绕轴，且所述卷绕轴可沿所述胶带的剥离方向运动以实现胶带的剥离和缠绕收集。2.根据权利要求1所述的一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，其特征在于：所述揭起机构包括夹手、第一驱动装置、第二驱动装置，其中所述第一驱动装置驱动所述夹手伸缩，所述第二驱动装置驱动所述夹手开合。3.根据权利要求2所述的一种基板上粘贴的胶带的揭取机构，其特征在于：所述夹手上设置有至少一组夹指，所述夹指在所述第二驱动装置的驱动下开合以夹持或松开所述胶带。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈韶华，余海春，戴晓东，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：