本实用新型专利技术涉及一种晶圆加工用动力夹爪装置，包括固定底座、机械臂、夹爪和动力单元，动力单元安装在固定底座上，动力单元沿着X轴的正方向依次包括机械臂旋转机构和夹爪旋转机构。本实用新型专利技术一种晶圆加工用动力夹爪装置，通过机械臂、夹爪和动力单元的结构设置，方便对晶圆盒进行进出料处理，自动化程度较高，提高加工效率；通过机械臂旋转机构可以实现机械臂的旋转操作，通过夹爪旋转机构可以实现夹爪的旋转操作，使用方便，操作简单。操作简单。操作简单。
A power clamping device for wafer processing
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用动力夹爪装置
[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种晶圆加工用动力夹爪装置。
技术介绍
[0002]晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒在进出料过程中通常是人工拿取的方式，这样的进出料操作方式使得自动化程度较低，工作效率较低。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆加工用动力夹爪装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆加工用动力夹爪装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种晶圆加工用动力夹爪装置，包括固定底座、机械臂、夹爪和动力单元，动力单元安装在固定底座上，动力单元沿着X轴的正方向依次包括机械臂旋转机构和夹爪旋转机构；
[0007]机械臂包括机械臂外壳，机械臂外壳内从上往下依次设置有第一臂传动链轮和第二臂传动链轮，第一臂传动链轮和第二臂传动链轮之间通过臂传动链条相连接，第二臂传动链轮通过夹爪连接块与夹爪相连接；
[0008]机械臂旋转机构包括第一电机、减速器和芯轴，第一电机通过支撑底块安装在固定底座上，第一电机沿着X轴正方向一侧的驱动端依次通过第一传动带轮、第一同步带与上方的第一同步带轮驱动连接设置，第一同步带轮与内侧沿着X轴方向的芯轴相连接，芯轴沿着X轴方向安装在减速器内，且芯轴沿着X 轴负方向的一侧与机械臂外壳的底部相连接；
[0009]夹爪旋转机构包括第二电机和链轮轴，第二电机通过护罩安装在固定底座上，第二电机沿着Y轴负方向一侧的驱动端依次通过第二传动带轮、第二同步带与上方的第二同步带轮驱动连接设置，第二同步带轮与沿着Y轴正方向一侧的蜗杆座内的蜗杆相连接，蜗杆沿着Y轴方向设置且与上方的蜗轮相连接，蜗轮与沿着X轴方向设置的链轮轴相连接，链轮轴沿着X轴负方向的一侧穿过芯轴后并与第一臂传动链轮相连接。
[0010]作为本技术的进一步改进，第一同步带轮的外侧设置有固定卡盘，减速器的外侧设置有减速器外壳，固定卡盘安装在减速器外壳上，芯轴沿着X轴正方向的一侧通过轴承与固定卡盘相连接，固定卡盘沿着X轴正方向的一侧设置有第一位置板，芯轴穿过固定卡盘后沿着X轴的正方向依次设置有第一感应块、第二感应块和第三感应块，第一感应块、第二感应块和第三感应块上均设置有第一感应片，第一位置板上设置有三个分别与第一感应块、第二感应块和第三感应块上的第一感应片相配合的第一感应器。
[0011]作为本技术的进一步改进，蜗轮沿着X轴正方向的一侧设置有第二位置板，蜗
轮通过轴承与第二位置板相连接，蜗轮穿过第二位置板后沿着X轴的正方向依次设置有第四感应块和第五感应块，第四感应块和第五感应块上均设置有第二感应片，第二位置板上设置有两个分别与第四感应块和第五感应块上的第二感应片相配合的第二感应器。
[0012]作为本技术的进一步改进，两个第二感应器分别通过限位柱安装在第二位置板上。
[0013]作为本技术的进一步改进，机械臂外壳内还设置有对臂传动链条起到涨紧作用的涨紧轮，涨紧轮通过涨紧安装块安装在机械臂外壳内。
[0014]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0015]本技术一种晶圆加工用动力夹爪装置，通过机械臂、夹爪和动力单元的结构设置，方便对晶圆盒进行进出料处理，自动化程度较高，提高加工效率；通过机械臂旋转机构可以实现机械臂的旋转操作，通过夹爪旋转机构可以实现夹爪的旋转操作，使用方便，操作简单。
[0016]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1是本技术一种晶圆加工用动力夹爪装置的结构示意图；
[0019]图2是图1中去除护罩后的结构示意图；
[0020]图3是图2中去除支撑底块和减速器外壳后的结构示意图；
[0021]图4是图1～图3中机械臂的内部结构示意图；
[0022]图5是图3中机械臂旋转机构的结构示意图；
[0023]图6是图5的正视图；
[0024]图7是图3中夹爪旋转机构的结构示意图；
[0025]图8是图7中去除蜗杆座后的结构示意图；
[0026]图9是图8另一侧的结构示意图。
[0027]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0028]1 固定底座
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2 护罩
[0029]3 支撑底块
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4 减速器外壳
[0030]5 机械臂
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6 夹爪连接块
[0031]7 夹爪
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8 动力单元
[0032]9 固定卡盘
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10 机械臂旋转机构
[0033]11 夹爪旋转机构
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12 机械臂外壳
[0034]13 第一臂传动链轮
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14 涨紧安装块
[0035]15 涨紧轮
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16 臂传动链条
[0036]17 第二臂传动链轮
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18 第一电机
[0037]19 第一传动带轮
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20 第一同步带
[0038]21 减速器
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22 第一同步带轮
[0039]23 轴承
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24 第一位置板
[0040]25 第一感应块
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26 第二感应块
[0041]27 第三感应块
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28 芯轴
[0042]29 第一感应片
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30 第一感应器
[0043]31 第二电机
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32 第二同步带轮
[0044]33 链轮轴
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34 蜗轮
[0045]35 第二位置板
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36 蜗杆座
[0046]37 第二同步带
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3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用动力夹爪装置，其特征在于，包括固定底座(1)、机械臂(5)、夹爪(7)和动力单元(8)，所述动力单元(8)安装在固定底座(1)上，所述动力单元(8)沿着X轴的正方向依次包括机械臂旋转机构(10)和夹爪旋转机构(11)；所述机械臂(5)包括机械臂外壳(12)，所述机械臂外壳(12)内从上往下依次设置有第一臂传动链轮(13)和第二臂传动链轮(17)，所述第一臂传动链轮(13)和第二臂传动链轮(17)之间通过臂传动链条(16)相连接，所述第二臂传动链轮(17)通过夹爪连接块(6)与夹爪(7)相连接；所述机械臂旋转机构(10)包括第一电机(18)、减速器(21)和芯轴(28)，所述第一电机(18)通过支撑底块(3)安装在固定底座(1)上，所述第一电机(18)沿着X轴正方向一侧的驱动端依次通过第一传动带轮(19)、第一同步带(20)与上方的第一同步带轮(22)驱动连接设置，所述第一同步带轮(22)与内侧沿着X轴方向的芯轴(28)相连接，所述芯轴(28)沿着X轴方向安装在减速器(21)内，且所述芯轴(28)沿着X轴负方向的一侧与机械臂外壳(12)的底部相连接；所述夹爪旋转机构(11)包括第二电机(31)和链轮轴(33)，所述第二电机(31)通过护罩(2)安装在固定底座(1)上，所述第二电机(31)沿着Y轴负方向一侧的驱动端依次通过第二传动带轮、第二同步带(37)与上方的第二同步带轮(32)驱动连接设置，所述第二同步带轮(32)与沿着Y轴正方向一侧的蜗杆座(36)内的蜗杆(38)相连接，所述蜗杆(38)沿着Y轴方向设置且与上方的蜗轮(34)相连接，所述蜗轮(34)与沿着X轴方向设置的链轮轴(33)相连接，所述链轮轴(33)沿着X轴负方向的一侧穿过芯轴(28)后并与第一臂传动链轮(13)相连接。2.如权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈曙光，林坚，王彭，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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