光阑及检测设备制造技术

本申请公开了一种光阑及检测设备，所述光阑包括第一子光阑与第二子光阑，第一子光阑与第二子光阑连接，第一子光阑包括第一转轴与第一叶片，第二子光阑包括第二转轴与第二叶片，第一转轴与第一叶片转动连接，用于带动所述第一叶片转动，第二转轴与第二叶片转动连接，用于带动所述第二叶片转动，所述第一叶片与相邻的第一叶片交替设置，所述第二叶片与相邻的第二叶片交替设置，当需要选择性收集不同方位和角度的散射光，能够控制所述光阑中的第一子光阑的第一叶片以及第二子光阑的第二叶片进行调整，从而改变光阑的遮光角度及遮光位置，从而不需要在通过更换光阑的方式调整遮光角度与遮光位置，提高了检测设备对待测件的检测效率。率。率。

Diaphragm and testing equipment

【技术实现步骤摘要】
光阑及检测设备


[0001]本申请涉及检测
，尤其涉及一种光阑及检测设备。

技术介绍

[0002]检测设备在对待测件进行检测时，会控制暗场宽通道斜入射时散射光的收集，通常需要使用特定角度的光阑进行滤光，尤其是使用暗场模式进行检测时，待测件上太多的表面散射光会导致检测结果出现错误，从而需要光阑对暗场检测的光线进行滤除。
[0003]光阑是在光学系统中对光束起着限制作用的实体，在实际使用时，通常需要根据实际检测结果对光阑的遮光角度及遮光位置进行调整，从而根据通道散射光分布模拟情况，选择性收集不同方位和角度的散射光，但是现有的光阑无法满足这一使用要求，从而需要通过不断的更换光阑进行解决，降低了检测设备对待测件的检测效率。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种光阑及检测设备。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种光阑，所述光阑包括第一子光阑与第二子光阑，第一子光阑与第二子光阑连接，第一子光阑包括第一转轴与第一叶片，第二子光阑包括第二转轴与第二叶片，第一转轴与第一叶片转动连接，用于带动所述第一叶片转动，第二转轴与第二叶片转动连接，用于带动所述第二叶片转动，所述第一叶片与相邻的第一叶片交替设置，所述第二叶片与相邻的第二叶片交替设置。
[0006]可选的，所述第一子光阑包括多个第一转轴与多个第一叶片，每个所述第一转轴与一个所述第一叶片对应连接；所述第二子光阑包括多个第二转轴与多个第二叶片，每个所述第二转轴与二个所述第二叶片对应连接。
[0007]可选的，所述第一叶片为扇形结构，所述第二叶片为扇形结构。
[0008]可选的，多个所述第一叶片联动设置，多个所述第二叶片联动设置。
[0009]可选的，所述第一子光阑与第二子光阑交替设置，所述第一转轴的轴线与所述第二转轴的轴线共线设置。
[0010]可选的，所述第一子光阑还包括第一框架，所述第一框架上设有多个第一滑轨，所述第一滑轨的数量与所述第一叶片的数量相同，每个所述第一叶片的第一转动部与其对应的所述第一滑轨滑动连接。
[0011]可选的，所述第二子光阑还包括第二框架，所述第二框架上设有多个第二滑轨，所述第二滑轨的数量与所述第二叶片的数量相同，每个所述第二叶片的第二转动部与其对应的所述第二滑轨滑动连接。
[0012]可选的，所述光阑还包括第三转轴，所述第三转轴与所述第一子光阑以及所述第二子光阑连接，所述第三转轴用于带动所述第一子光阑以及所述第二子光阑共同转动。
[0013]可选的，所述第三转轴与所述第一转轴以及所述第二转轴共轴线设置。
[0014]第二方面，本申请实施例提供一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一项实
施方式所述的光阑。
[0015]可以看出，在本申请实施例中，所述光阑包括第一子光阑与第二子光阑，第一子光阑与第二子光阑连接，第一子光阑包括第一转轴与第一叶片，第二子光阑包括第二转轴与第二叶片，第一转轴与第一叶片转动连接，用于带动所述第一叶片转动，第二转轴与第二叶片转动连接，用于带动所述第二叶片转动，所述第一叶片与相邻的第一叶片交替设置，所述第二叶片与相邻的第二叶片交替设置，当需要选择性收集不同方位和角度的散射光，能够控制所述光阑中的第一子光阑的第一叶片以及第二子光阑的第二叶片进行调整，从而改变光阑的遮光角度及遮光位置，从而不需要在通过更换光阑的方式调整遮光角度与遮光位置，提高了检测设备对待测件的检测效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本申请实施例提供的一实施例的光阑的结构示意图；
[0018]图2是本申请实施例提供的一实施例的第一子光阑的结构示意图；
[0019]图3是本申请实施例提供的另一实施例的第一子光阑的结构示意图；
[0020]图4是本申请实施例提供的另一实施例的第一子光阑的结构示意图；
[0021]图5是本申请实施例提供的另一实施例的光阑的结构示意图；
[0022]图6是本申请实施例提供的另一实施例的光阑的仰视图。
[0023]图7是本申请实施例提供的另一实施例的光阑的结构示意图。
[0024]附图标号说明：
[0025][0026]具体实施方式
[0027]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人
员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0028]以下分别进行详细说明。
[0029]本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0030]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0031]请参见图1至图7，图1是本申请实施例提供的一种光阑，所述光阑包括第一子光阑10 以及第二子光阑20，所述第一子光阑10包括第一转轴11与第一叶片12，多个所述第一叶片 12与第一转轴11转动连接，具体的，所述第一叶片12设有第一转动部15，所述第一转动部 15与所述第一转轴11共轴线设置，所述第二子光阑20包括第二转轴21与第二叶片22，多个所述第二叶片22与第二转轴21转动连接，具体的，所述第二叶片22设有第二转动部25，所述第二转动部25与所述第二转轴21共轴线设置。
[0032]具体的，每个所述第一叶片12与相邻的第一叶片12交替设置，每个所述第二叶片22与相邻的第二叶片22交替设置。
[0033]在可选的实施方式中，所述第一子光阑10的多个第一叶片12的形状相同，由于多个第一叶片12交替设置，多个第一叶片12完全展开后呈半圆形结构；所述第二子光阑20的多个第二叶片22的形状相同，由于多个第二叶片22交替设置，多个第二叶片22完全展开后呈半圆形结构。当所述第一子光阑10与所述第二子光阑20均完全展开后，所述光阑呈圆形结构。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阑，其特征在于，所述光阑包括第一子光阑与第二子光阑，第一子光阑与第二子光阑连接，第一子光阑包括第一转轴与第一叶片，第二子光阑包括第二转轴与第二叶片，第一转轴与第一叶片转动连接，用于带动所述第一叶片转动，第二转轴与第二叶片转动连接，用于带动所述第二叶片转动，所述第一叶片与相邻的第一叶片交替设置，所述第二叶片与相邻的第二叶片交替设置。2.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述第一子光阑包括多个第一转轴与多个第一叶片，每个所述第一转轴与一个所述第一叶片对应连接；所述第二子光阑包括多个第二转轴与多个第二叶片，每个所述第二转轴与二个所述第二叶片对应连接。3.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述第一叶片为扇形结构，所述第二叶片为扇形结构。4.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，多个所述第一叶片联动设置，多个所述第二叶片联动设置。5.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述第一子光阑与第二子光阑交替设置，所述第一转轴的轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：何小凤，方一，曾呈，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：