气浮载台及其光学检测系统技术方案

本发明专利技术提出一种气浮载台及其光学检测系统，用以放置一待测工件。该气浮载台包含一支撑平台以及一设置于该支撑平台上的中空结构载具。该中空结构载具具有一承载面与一支撑面，使该待测工件被承载于该承载面上。其中该中空结构载具通过一内侧壁以界定一承载面开口与一支撑面开口。其中该待测工件、该中空结构载具与该支撑平台构成一封闭式腔体。其中该内侧壁上形成多个排气孔，借以通过一正压提供装置，于该封闭式腔体内输出空气，以构成一中央气浮区。央气浮区。央气浮区。

Air floating platform and its optical detection system

【技术实现步骤摘要】
气浮载台及其光学检测系统


[0001]本专利技术提供一种载台架构，特别是指一种可以浮起待测工件的气浮载台及其光学检测系统。

技术介绍

[0002]随着全自动化工业的进展，自动光学辨识系统(Automatic Optical Inspection,AOI)是工业制程中常见的代表性手法，主要的做法是利用摄像装置拍摄待测物的表面状态，再以计算机图像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵，由于采用了非接触式检查，因此在产线过程中可以用以检查半成品。基于自动光学辨识系统检测的优势，其已经被普遍应用在电子业的电路板组装生产线的外观检查并取代以往的人工目检作业(Visual Inspection)。
[0003]一般光学检测平台进行正面检测及反面检测，主要是通过光学检测装置拍摄工件的双面影像，例如，先由第一组光学检测装置拍摄动在线工件的第一面影像，经由翻面装置将工件进行翻面后，再由动在线的第二组光学检测装置拍摄动在线工件的第二面影像。另一种方式则是于工件移动的路径上由光学检测装置拍摄工件的第一面影像，并于翻面装置将工件进行翻面后，由原动线复返再由该光学检测装置拍摄工件的第二面影像，借此获得待测工件的双面影像。不管由前面的第一种方式或第二种方式，都必须要在动在线设计至少两组或两组以上的站台(例如第一组光学检测装置、第二组光学检测装置、翻面装置)才能实现双面检测的功能，不仅会增加检测设备制造的成本，也会占去过多的空间。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的，在于提供一种气浮载台，用以放置一待测工件。该气浮载台包含一支撑平台以及一设置于该支撑平台上的中空结构载具。该中空结构载具具有一承载面与一支撑面，使该待测工件被承载于该承载面上。其中该中空结构载具通过一内侧壁以界定一承载面开口与一支撑面开口。其中该待测工件、该中空结构载具与该支撑平台构成一封闭式腔体。其中该内侧壁上形成多个排气孔，借以通过一正压提供装置，于该封闭式腔体内输出空气，以构成一中央气浮区。
[0005]如上所述的气浮载台，其中，可选的是，该承载面上形成多个吸附孔，以构成一外围吸附区，借以通过一负压提供装置，使该待测工件被吸附于该承载面上。
[0006]如上所述的气浮载台，其中，可选的是，该支撑平台包括一透明材质平板。
[0007]如上所述的气浮载台，其中，可选的是，该内侧壁设置一导斜面。
[0008]如上所述的气浮载台，其中，可选的是，该支撑平台包括一箱体，具有一容纳空间。
[0009]本专利技术的另一目的，在于提供一种光学检测系统，用以对一待测工件进行检测。该系统包含一支撑平台、一设置于该支撑平台上的中空结构载具、一第一影像捕获设备以及一影像检测装置。该中空结构载具具有一承载面与一支撑面，使该待测工件被承载于该承载面上，其中该中空结构载具通过一内侧壁以界定一承载面开口与一支撑面开口。该第一
影像捕获设备设置于该支撑面的一侧，用以拍摄该待测工件的第一面影像。该影像检测装置耦合至该第一影像捕获设备，以检测该待测工件的该第一面影像。其中该待测工件、该中空结构载具与该支撑平台构成一封闭式腔体。其中该内侧壁上形成多个排气孔，借以通过一正压提供装置，于该封闭式腔体内输出空气，以构成一中央气浮区。
[0010]如上所述的光学检测系统，其中，可选的是，该承载面上形成多个吸附孔，以构成一外围吸附区，借以通过一负压提供装置，使该待测工件被吸附于该承载面上。
[0011]如上所述的光学检测系统，其中，可选的是，该支撑平台包括一透明材质平板，借以该第一影像捕获设备通过该透明材质平板，拍摄该待测工件的该第一面影像。
[0012]如上所述的光学检测系统，其中，可选的是，该支撑平台包括一箱体，具有一容纳空间，借以置放该第一影像捕获设备。
[0013]如上所述的光学检测系统，其中，可选的是，该第一影像捕获设备包括:
[0014]一辅助光源，提供光源至该待测工件的第一面上；以及
[0015]一影像感测装置，用以获得该待测工件的该第一面影像。
[0016]如上所述的光学检测系统，其中，可选的是，还包含，一第二影像捕获设备，设置于该承载面的一侧，用以获得该待测工件的第二面影像。
[0017]是以，本专利技术可以自载台背面进行检测，增加设备配置及动线的灵活度。另一方面，本专利技术可以于拍摄待测工件的同时整平待测工件的表面，利用正压使待测工件得以被平均撑起，增加检测结果的正确性。
附图说明
[0018]图1是本专利技术中光学检测系统单面检测实施例的方框意图。
[0019]图2是本专利技术中光学检测系统双面检测实施例的方框意图。
[0020]图3是本专利技术第一实施例的结构示意图。
[0021]图4是本专利技术第一实施例的侧面示意图。
[0022]图5是本专利技术第一实施例中气浮载台的剖面示意图。
[0023]图6是本专利技术第一实施例中气浮载台的俯视图。
[0024]图7是本专利技术第二实施例的结构示意图。
[0025]图8是本专利技术第二实施例的侧面示意图。
[0026]图9是本专利技术第二实施例中气浮载台的剖面示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]100光学检测系统
[0029]W待测工件
[0030]10支撑平台
[0031]20中空结构载具
[0032]21承载面
[0033]211吸附孔
[0034]214负压提供装置
[0035]22支撑面
[0036]23内侧壁
[0037]231承载面开口
[0038]232支撑面开口
[0039]233排气孔
[0040]234正压提供装置
[0041]24环形外壁面
[0042]30第一影像捕获设备
[0043]31辅助光源
[0044]32影像感测装置
[0045]50影像检测装置
[0046]CB封闭式腔体
[0047]A1箭头
[0048]200光学检测系统
[0049]40第二影像捕获设备
[0050]41辅助光源
[0051]42影像感测装置
[0052]A2箭头
[0053]A3箭头
[0054]300光学检测系统
[0055]SA气浮载台
[0056]10A透明材质平板
[0057]20A中空结构载具
[0058]21A承载面
[0059]211A吸附孔
[0060]212A通道
[0061]213A通孔
[0062]22A支撑面
[0063]23A内侧壁
[0064]231A排气孔
[0065]232A通道
[0066]233A通孔
[0067]24A环形外壁面
[0068]25A圆形通孔
[0069]251A承载面开口
[0070]252A支撑面开口...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮载台，用以放置一待测工件，其特征在于，包含：一支撑平台；以及一中空结构载具，设置于该支撑平台上，且具有一承载面与一支撑面，使该待测工件被承载于该承载面上，其中该中空结构载具通过一内侧壁以界定一承载面开口与一支撑面开口；其中该待测工件、该中空结构载具与该支撑平台构成一封闭式腔体；其中该内侧壁上形成多个排气孔，借以通过一正压提供装置，于该封闭式腔体内输出空气，以构成一中央气浮区。2.如权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，该承载面上形成多个吸附孔，以构成一外围吸附区，借以通过一负压提供装置，使该待测工件被吸附于该承载面上。3.如权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，该支撑平台包括一透明材质平板。4.如权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，该内侧壁设置一导斜面。5.如权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，该支撑平台包括一箱体，具有一容纳空间。6.一种光学检测系统，用以对一待测工件进行检测，其特征在于，该系统包含：一支撑平台；一中空结构载具，设置于该支撑平台上，且具有一承载面与一支撑面，使该待测工件被承载于该承载面上，其中该中空结构通过一内侧壁以界定一承载面开口与一支撑面开口；一第一影像捕获设备，设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹嘉骏，赖宪平，
申请(专利权)人：由田新技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：