一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构制造技术

技术编号:34123720 阅读:17 留言:0更新日期:2022-07-14 13:41
本实用新型专利技术公开了一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,包括轮体,所述轮体的外表面纵向设有多个第一轮槽,轮体的外表面横向设有第二轮槽,所述轮体的外表面固定连接有多个凸块,凸块分布在第一轮槽的两侧,所述轮体的一端贯穿设有安装孔,安装孔的圆周内壁设有多个出液孔,所述轮体内设有油腔,出液孔与油腔连通,所述轮体的外表面设有进液口,进液口与油腔连通。本实用新型专利技术通过切割时产生的碎屑从第二轮槽排出,从而加快了排屑的速度,减少碎屑在第一轮槽和第二轮槽内的堆积,提高对对大尺寸硅片切割的效率,且能够起到将切线线限位在第一轮槽内,避免切割线从第一轮槽内脱离,从而保证切割线导轮机构的正常工作。而保证切割线导轮机构的正常工作。而保证切割线导轮机构的正常工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构


[0001]本技术涉及线切割
,尤其涉及一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构。

技术介绍

[0002]用于硅晶棒切割的多线切割机,其主要部件切割线,为数百甚至数千公里长而直径与发丝粗细相当的细钢丝,在工作区域这些细钢丝由放线轮、过轮、摆轮及收线轮构成线运动管理机构,切割线导轮机构在切割时会产生的碎屑,而现有的切割线导轮机构排屑效果不好,满足不了需求。
[0003]目前现有的切割线导轮机构,大多存在以下的不足:导轮在使用时,排屑效果不好,影响了线切割的效率,不能满足人们的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,包括轮体,所述轮体的外表面纵向设有多个第一轮槽,轮体的外表面横向设有第二轮槽,所述轮体的外表面固定连接有多个凸块,凸块分布在第一轮槽的两侧。
[0007]作为本技术再进一步的方案,所述轮体的一端贯穿设有安装孔,安装孔的圆周内壁设有多个出液孔。
[0008]作为本技术再进一步的方案,所述轮体内设有油腔,出液孔与油腔连通。
[0009]作为本技术再进一步的方案,所述轮体的外表面设有进液口,进液口与油腔连通。
[0010]作为本技术再进一步的方案,所述进液口内设有密封塞。
[0011]作为本技术再进一步的方案,所述密封塞的一端固定连接有限位块。
[0012]作为本技术再进一步的方案,所述轮体的外表面设有耐腐蚀涂层。
[0013]本技术的有益效果为:
[0014]1.本技术通过切割时产生的碎屑从第二轮槽排出,从而加快了排屑的速度,减少碎屑在第一轮槽和第二轮槽内的堆积,提高对对大尺寸硅片切割的效率。
[0015]2.本技术通过凸块分布在第一轮槽两侧的设置能够起到将切线线限位在第一轮槽内,避免切割线从第一轮槽内脱离,从而保证切割线导轮机构的正常工作。
[0016]3.本技术通过拔下密封塞,从而进液口倒入润滑油,然后,润滑油流入油腔内,最后,从出液孔流入安装孔内,从而对切割线导轮机构进行润滑,减少切割线导轮机构的磨损。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构的立体结构示意图;
[0018]图2为本技术提出的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构的剖视结构示意图;
[0019]图3为本技术提出的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构的侧视结构示意图。
[0020]图中:1、轮体;2、第一轮槽;3、第二轮槽;4、凸块;5、安装孔;6、进液口;7、油腔;8、出液孔;9、密封塞;10、限位块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0022]参照图1

图3,一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,包括轮体1,轮体1的外表面纵向设有多个第一轮槽2,切割线位于第一轮槽2内,轮体1的外表面横向设有第二轮槽3,切割时产生的碎屑从第二轮槽3排出,从而加快了排屑的速度,轮体1的外表面一体成型有多个凸块4,凸块4分布在第一轮槽2的两侧,凸块4起到将切线线限位在第一轮槽2内。
[0023]本技术中,轮体1的一端贯穿设有安装孔5,通过安装孔5将轮体1与外部设备连接,安装孔5的圆周内壁设有多个出液孔8,轮体1内设有油腔7,出液孔8与油腔7连通,轮体1的外表面设有进液口6,进液口6与油腔7连通,进液口6内设有密封塞9,拔下密封塞9,从而进液口6倒入润滑油,然后,润滑油流入油腔7内,最后,从出液孔8流入安装孔5内,从而对切割线导轮机构进行润滑,密封塞9的一端一体成型有限位块10,从而方便密封塞9的打开,轮体1的外表面设有耐腐蚀涂层,从而提升切割线导轮机构的耐腐蚀性能,延长切割线导轮机构的使用寿命。
[0024]工作原理:使用时,首先,通过安装孔5将轮体1与外部设备连接,并使得切割线位于第一轮槽2内,切割线导轮机构工作时,通过切割线对大尺寸的硅片进行切割,切割时产生的碎屑从第二轮槽3排出,从而加快了排屑的速度,凸块4起到将切线线限位在第一轮槽2内,避免切割线从第一轮槽2内脱离,然后,握住限位块10,拔下密封塞9,从而进液口6倒入润滑油,然后,润滑油流入油腔7内,最后,从出液孔8流入安装孔5内,从而对切割线导轮机构进行润滑。
[0025]以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,包括轮体(1),其特征在于,所述轮体(1)的外表面纵向设有多个第一轮槽(2),轮体(1)的外表面横向设有第二轮槽(3),所述轮体(1)的外表面固定连接有多个凸块(4),凸块(4)分布在第一轮槽(2)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,其特征在于,所述轮体(1)的一端贯穿设有安装孔(5),安装孔(5)的圆周内壁设有多个出液孔(8)。3.根据权利要求2所述的一种用于大尺寸硅片的切割线导轮机构,其特征在于,所述轮体(1)内设有油腔(7),出液孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员:章祥静王伟
申请(专利权)人:无锡京运通科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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