【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械臂，尤其涉及双z轴机械臂上料机构。
技术介绍
1、硅，指半导体制作材料是晶体硅，制作的元件叫做晶体管，在制作晶体管的过程中需要对硅进行输送上料。
2、如专利号为cn214136041u的专利一种硅片取放机械臂移动机构所公开的，现有技术中存在，硅片取放一般由人工装夹进行传输，人工传输效率低，无法满足现有的硅片传输要求，为了决绝此类问题，本申请提出了一种新结构的双z轴机械臂上料机构。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的双z轴机械臂上料机构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、双z轴机械臂上料机构，包括固定架，所述固定架的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架固定连接有固定座，固定座的一侧开设有滑槽，滑槽内滑动连接有滑架，所述固定座的顶部固定连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆伸缩部的一端延伸进滑槽内与滑架相固定，所述滑架的一端固定连接有第一固定板，第一固定板的底部开设有限位槽，限位槽内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆，导向杆的一端固定连接有夹板，两个所述滑杆的两侧均固定连接有连接板，连接板的一侧固定连接有与夹板相固定的弹簧，所述第一固定板的两侧均设有推动夹板移动的驱动机构。
4、作为本技术再进一步的方案，所述驱动机构包括两个第二支架，两个所述第二支架分别固定在第一固定板的两侧，两个所述第二支架相邻的一侧均固定连接有液压缸，
5、作为本技术再进一步的方案，所述连接板的一侧固定连接有固定杆，固定杆的一端固定连接有滑板，且滑板穿过夹板。
6、作为本技术再进一步的方案，所述夹板的一侧固定连接有防护垫，且滑板穿过防护垫，所述夹板的外侧设有防腐涂层。
7、作为本技术再进一步的方案，所述滑板的一侧固定连接有两个与固定杆相固定的固定筋，使固定筋对固定杆和滑板之间进行加强。
8、作为本技术再进一步的方案，所述导向杆的另一端固定连接有抵挡块，使抵挡块对滑杆的移动进行限位。
9、作为本技术再进一步的方案，所述电动伸缩杆的圆周外壁固定连接有第一支架，且第一支架与固定座相固定。
10、作为本技术再进一步的方案，所述固定架的底部开设有多个均匀分布的安装孔，所述固定架的底部固定连接有橡胶垫。
11、本技术的有益效果为：
12、1.通过夹板的设置，驱动机构推动滑杆移动，滑杆会带动连接板移动，连接板通过弹簧推动夹板移动，使夹板对硅片篮进行夹取输送，不需要人工装夹输送，节省了时间，提高了硅片传输的效率。
13、2.通过滑板的设置，在夹板对硅片篮进行夹取时，驱动机构会继续推动滑杆移动，此时滑杆会通过连接板挤压弹簧，连接板会通过固定杆推动滑板移动，使滑板挡住硅片篮的左右两侧，防止硅片掉落，提高硅片传输的稳定性。
14、3.通过防护垫的设置，在夹板对硅片篮进行夹持时，防护垫可以对硅片篮进行防护，防止夹板对硅片篮的表面造成损伤，提高了上料机构的使用效果。
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1.双Z轴机械臂上料机构，包括固定架(3)，其特征在于，所述固定架(3)的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架(3)固定连接有固定座(4)，固定座(4)的一侧开设有滑槽(5)，滑槽(5)内滑动连接有滑架(8)，所述固定座(4)的顶部固定连接有电动伸缩杆(7)，且电动伸缩杆(7)伸缩部的一端延伸进滑槽(5)内与滑架(8)相固定，所述滑架(8)的一端固定连接有第一固定板(9)，第一固定板(9)的底部开设有限位槽(16)，限位槽(16)内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆(22)，导向杆(22)的一端固定连接有夹板(13)，两个所述滑杆的两侧均固定连接有连接板(10)，连接板(10)的一侧固定连接有与夹板(13)相固定的弹簧(21)，所述第一固定板(9)的两侧均设有推动夹板(13)移动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述驱动机构包括两个第二支架(18)，两个所述第二支架(18)分别固定在第一固定板(9)的两侧，两个所述第二支架(18)相邻的一侧均固定连接有液压缸(17)，且液压缸(
3.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述连接板(10)的一侧固定连接有固定杆(14)，固定杆(14)的一端固定连接有滑板(12)，且滑板(12)穿过夹板(13)。
4.根据权利要求3所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述夹板(13)的一侧固定连接有防护垫(11)，且滑板(12)穿过防护垫(11)，所述夹板(13)的外侧设有防腐涂层(20)。
5.根据权利要求3所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述滑板(12)的一侧固定连接有两个与固定杆(14)相固定的固定筋(15)，使固定筋(15)对固定杆(14)和滑板(12)之间进行加强。
6.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述导向杆(22)的另一端固定连接有抵挡块(19)，使抵挡块(19)对滑杆的移动进行限位。
7.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述电动伸缩杆(7)的圆周外壁固定连接有第一支架(6)，且第一支架(6)与固定座(4)相固定。
8.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述固定架(3)的底部开设有多个均匀分布的安装孔(2)，所述固定架(3)的底部固定连接有橡胶垫(1)。
...【技术特征摘要】
1.双z轴机械臂上料机构，包括固定架(3)，其特征在于，所述固定架(3)的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架(3)固定连接有固定座(4)，固定座(4)的一侧开设有滑槽(5)，滑槽(5)内滑动连接有滑架(8)，所述固定座(4)的顶部固定连接有电动伸缩杆(7)，且电动伸缩杆(7)伸缩部的一端延伸进滑槽(5)内与滑架(8)相固定，所述滑架(8)的一端固定连接有第一固定板(9)，第一固定板(9)的底部开设有限位槽(16)，限位槽(16)内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆(22)，导向杆(22)的一端固定连接有夹板(13)，两个所述滑杆的两侧均固定连接有连接板(10)，连接板(10)的一侧固定连接有与夹板(13)相固定的弹簧(21)，所述第一固定板(9)的两侧均设有推动夹板(13)移动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的双z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述驱动机构包括两个第二支架(18)，两个所述第二支架(18)分别固定在第一固定板(9)的两侧，两个所述第二支架(18)相邻的一侧均固定连接有液压缸(17)，且液压缸(17)的液压杆穿过第一固定板(9)延伸进限位槽(16)内与滑杆相固定。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱仁德，周裕吉，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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