一种高效晶圆清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效晶圆清洗花篮，属于清洗设备技术领域，包括清洗腔体、支撑底座、花篮调节设备、花篮升降设备和清洗花篮架，所述花篮升降设备设置在清洗腔体的内部，所述支撑底座套设在花篮升降设备上，所述花篮调节设备设置在支撑底座上，所述清洗花篮架设有若干个，若干个所述清洗花篮架均匀的布设在花篮升降设备上，所述支撑底座的一侧设有支撑柱，所述支撑柱中心处设有贯穿孔，本装置适用于对不同直径的晶圆存放清洗，且在清洗过程中能够使得晶圆与晶圆存在间隙，从而便于晶圆的清洗，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效晶圆清洗花篮


[0001]本技术涉及清洗设备
，尤其涉及一种高效晶圆清洗花篮。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。晶圆清洗的一般方法是：首先将晶圆放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，清洗槽内装有清洗剂并具有超声波发生装置。
[0003]现有技术中的清洗花篮多为单一尺寸，为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮，大大的增加了工装成本，且现有的清洗花篮一般仅适用于固定尺寸的完整晶圆的清洗，而无法对不同尺寸的晶圆进行清洗处理。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种高效晶圆清洗花篮，以解决现有技术中清洗花篮尺寸单一，只能对某一种尺寸的晶圆进行清洗处理的技术问题。
[0005]本技术实施例采用下述技术方案：包括清洗腔体，还包括支撑底座、花篮调节设备、花篮升降设备和清洗花篮架，所述花篮升降设备设置在清洗腔体的内部，所述支撑底座套设在花篮升降设备上，所述花篮调节设备设置在支撑底座上，所述清洗花篮架设有若干个，若干个所述清洗花篮架均匀的布设在花篮升降设备上，所述支撑底座的一侧设有支撑柱，所述支撑柱中心处设有贯穿孔。
[0006]进一步的，所述花篮升降设备包括花篮升降架、花篮升降螺杆和花篮升降电机，所述花篮升降架呈水平设置且位于清洗腔体内，所述花篮升降电机设置在花篮升降架的上端，所述花篮升降螺杆的一端连接在花篮升降电机的输出端上且另一端连接在花篮升降架上与花篮升降架为转动连接，所述花篮升降架的两侧均设有限位滑槽，所述支撑底座套设在花篮升降螺杆上且与花篮升降螺杆为螺纹连接，所述支撑底座的两侧均设有限位块，两个所述限位块分别位于对应的限位滑槽内且为滑动配合。
[0007]进一步的，所述花篮调节设备包括花篮调节电机、第一齿轮、第二齿轮、花篮调节轨道、花篮调节杆和花篮调节块，所述花篮调节电机设置在支撑底座上，所述第一齿轮设置在花篮调节电机的输出端上，所述第二齿轮的下端设置在支撑柱上且与支撑柱转动连接，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述花篮调节轨道设有若干个，若干个所述花篮调节轨道均匀的布设在支撑柱的外侧，所述花篮调节杆设有若干个，若干个所述花篮调节杆的一端分别连接在第二齿轮的上端，所述花篮调节块设有若干个，若干个所述花篮调节块的一端均位于对应的花篮调节轨道内且为滑动配合，若干个所述花篮调节块的另一端分别连接在对应的花篮调节杆的另一端上，若干个所述清洗花篮架均对应的设置在花篮调节块的上端，所述第二齿轮中心处设有贯穿孔。
[0008]进一步的，若干个所述清洗花篮架上均设有若干个存放槽，若干个所述存放槽为
由上而下依次排列设置。
[0009]进一步的，若干个所述存放槽与产品接触面均采用柔性材质。
[0010]本技术实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
[0011]其一，当花篮升降设备运行带动花篮调节设备移动出清洗腔体内时，此时，通过花篮调节电机运行带动第一齿轮转动，第一齿轮转动带动第二齿轮在支撑柱上转动，第二齿轮转动带动花篮调节杆转动，花篮调节杆转动带动花篮贴调节块在花篮调节轨道内运动，从而使得清洗花篮架向外伸展开到最大化，这时，通过工作人员将所需的晶圆依次放置到清洗花篮架内，从而便于工作人员放置产品，同时，实现了适用于对不同直径的晶圆存放，并且将其晶圆夹持，便于晶圆后续清洗作业。
[0012]其二，当晶圆依次放置到存放槽内后，晶圆与晶圆之间会存在一定的间隙，这是，便于清洗液流动，能够使得晶圆更加彻底的进行清洗作业，从而提高了清洗效率，存放槽的侧端也会进入清洗液，便于清洗；在晶圆清洗完成后，晶圆上被清洗下来的溶剂会吸附在存放槽内，从而会造成晶圆不易取出，这时，可通过将清洗花篮架展开即可，便于晶圆的取出。
[0013]其三，当准备将晶圆放置到清洗花篮架内时，首先通过花篮升降电机运行带动花篮升降电机输出端上的花篮升降螺杆转动，从而带动支撑底座在花篮升降螺杆上向上移动出清洗腔体内，从而带动花篮调节设备脱离清洗腔体内部，此时，在将所需清洗晶圆放置到清洗花篮架内，从而实现便于晶圆放置到清洗花篮架对其进行清洗，同时，避免了工作人员的手部不会接触清洗腔体内部的清洗液。
附图说明
[0014]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0015]图1为本技术立体结构示意图；
[0016]图2为本技术的花篮升降设备结构示意图；
[0017]图3为本技术的花篮调节设备结构示意图；
[0018]图4为本技术的清洗花篮架结构示意图；
[0019]图5为本技术的花篮升降设备和花篮调节设备结构示意图。
[0020]附图标记
[0021]清洗腔体1、支撑底座2、限位块21、支撑柱22、清洗花篮架3、存放槽31、花篮升降设备4、花篮升降架41、限位滑槽42、花篮升降螺杆43、花篮升降电机44、花篮调节设备5、花篮调节电机51、第一齿轮52、第二齿轮53、花篮调节轨道54、花篮调节杆55、花篮调节块56。
具体实施方式
[0022]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]以下结合附图，详细说明本技术各实施例提供的技术方案。
[0024]本技术实施例提供一种高效晶圆清洗花篮，包括清洗腔体1，还包括支撑底座2、花篮调节设备5、花篮升降设备4和清洗花篮架3，所述花篮升降设备4设置在清洗腔体1的内部，所述支撑底座2套设在花篮升降设备4上，所述花篮调节设备5设置在支撑底座2上，所述清洗花篮架3设有若干个，若干个所述清洗花篮架3均匀的布设在花篮升降设备4上，所述支撑底座2的一侧设有支撑柱22，所述支撑柱22中心处设有贯穿孔，本装置适用于对不同直径的晶圆存放清洗，且在清洗过程中能够使得晶圆与晶圆存在间隙，从而便于晶圆的清洗，提高了工作效率。
[0025]优选的，所述花篮升降设备4包括花篮升降架41、花篮升降螺杆43和花篮升降电机44，所述花篮升降架41呈水平设置且位于清洗腔体1内，所述花篮升降电机44设置在花篮升降架41的上端，所述花篮升降螺杆43的一端连接在花篮升降电机44的输出端上且另一端连接在花篮升降架41上与花篮升降架41为转动连接，所述花篮升降架41的两侧均设有限位滑槽42，所述支撑底座2套设在花篮升降螺杆43上且与花篮升降螺杆43为螺纹连接，所述支撑底座2的两侧均设有限位块21，两个所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效晶圆清洗花篮，包括清洗腔体（1），其特征在于，还包括支撑底座（2）、清洗花篮架（3）、花篮升降设备（4）和花篮调节设备（5），所述花篮升降设备（4）设置在清洗腔体（1）的内部，所述支撑底座（2）套设在花篮升降设备（4）上，所述花篮调节设备（5）设置在支撑底座（2）上，所述清洗花篮架（3）设有若干个，若干个所述清洗花篮架（3）均匀的布设在花篮升降设备（4）上，所述支撑底座（2）的一侧设有支撑柱（22），所述支撑柱（22）中心处设有贯穿孔。2.根据权利要求1所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，所述花篮升降设备（4）包括花篮升降架（41）、花篮升降螺杆（43）和花篮升降电机（44），所述花篮升降架（41）呈水平设置且位于清洗腔体（1）内，所述花篮升降电机（44）设置在花篮升降架（41）的上端，所述花篮升降螺杆（43）的一端连接在花篮升降电机（44）的输出端上且另一端连接在花篮升降架（41）上与花篮升降架（41）为转动连接，所述花篮升降架（41）的两侧均设有限位滑槽（42），所述支撑底座（2）套设在花篮升降螺杆（43）上且与花篮升降螺杆（43）为螺纹连接，所述支撑底座（2）的两侧均设有限位块（21），两个所述限位块（21）分别位于对应的限位滑槽（42）内且为滑动配合。3.根据权利要求1所述的一种高效晶圆清洗花篮，其特征在于，所述花...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆先锋，
申请(专利权)人：无锡颂林达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：