一种晶圆清洗液废液循环利用系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗液废液循环利用系统，属于晶圆清洗设备技术领域，包括底座板和废液处理设备，还包括定量循环加注装置、输水管、定量关闭装置和储液箱，所述定量循环加注装置设置在底座板上，所述废液处理设备设置在底座板上且位于定量循环加注装置的一侧，所述储液箱设置在废液处理设备的上方，所述输水管的两端分别与储液箱的底端和废液处理设备的侧端连通，所述定量关闭装置设置在输水管内；本装置实现了清洗液废液的循环利用作业，同时实现了定量对清洗液废液进行处理，避免废液处理量大于需求量，造成资源浪费的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗液废液循环利用系统


[0001]本技术涉及晶圆清洗设备
，尤其涉及一种晶圆清洗液废液循环利用系统。

技术介绍

[0002]晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
[0003]在对晶圆的清洗过程中会使用到晶圆清洗液，为了避免将使用后的晶圆清洗液废液内可以回收再利用的物质浪费掉，会通过专门的废液处理设备的对其进行处理，从而实现对晶圆清洗液废液的循环利用，但是现有的废液处理设备无法做到对定量的废液进行处理，无法针对每一次晶圆清洗设备工作时所需的清洗液的需求来对废液进行处理，可能会出现处理后的清洗液多于所需清洗液的情况，长时间后，多余的清洗液持续累积，没有得到及时的使用，从而造成处理后的清洗液废液杂质增多，导致报废的情况，最终造成了清洗液资源的浪费。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种晶圆清洗液废液循环利用系统，以解决现有技术中缺少一种可以定量对清洗液废液进行处理，避免废液处理量大于需求量，造成资本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗液废液循环利用系统，包括底座板(1)和废液处理设备(2)，其特征在于，还包括定量循环加注装置(3)、输水管(5)、定量关闭装置(6)和储液箱(7)，所述定量循环加注装置(3)设置在底座板(1)上，所述废液处理设备(2)设置在底座板(1)上且位于定量循环加注装置(3)的一侧，所述储液箱(7)设置在废液处理设备(2)的上方，所述输水管(5)的两端分别与储液箱(7)的底端和废液处理设备(2)的侧端连通，所述定量关闭装置(6)设置在输水管(5)内。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗液废液循环利用系统，其特征在于，所述定量循环加注装置(3)包括底座台(31)、驱动组件(32)和加注组件(33)，所述底座台(31)设置在底座板(1)上且位于废液处理设备(2)的侧端，所述驱动组件(32)有两个，两个所述驱动组件(32)对称设置在底座台(31)的顶部，所述加注组件(33)设置在两个驱动组件(32)上，每个所述驱动组件(32)均包括安装架(321)、内齿轮架(322)、第一转动杆(323)、驱动齿轮(324)和第二转动杆(325)，所述安装架(321)设置在底座台(31)的顶部，所述内齿轮架(322)设置在底座台(31)上且位于安装架(321)的侧端，所述第一转动杆(323)的一端与安装架(321)的顶端转动连接，所述驱动齿轮(324)的圆心处与第一转动杆(323)的另一端转动连接，并且所述驱动齿轮(324)与内齿轮架(322)内侧的齿槽端啮合，所述第二转动杆(325)的一端与驱动齿轮(324)远离第一转动杆(323)的一侧圆心处转动连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗液废液循...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆先锋，
申请(专利权)人：无锡颂林达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：