一种晶圆清洗面板高效折弯设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗面板高效折弯设备，属于晶圆清洗面板加工技术领域，包括安装台、循环机构和加热机构，所述安装台呈水平设置，所述安装台的顶部设有加热槽，所述加热机构位于安装台内的加热槽内，所述循环机构位于安装台上，所述循环机构与加热机构相连通。本实用新型专利技术使得晶圆清洗面板变软，晶圆清洗面板变软后通过人工弯曲晶圆清洗面板对其进行折弯作业，将晶圆清洗面板折弯成对应的弯度，实现对晶圆清洗面板的折弯工作，提高了工作效率。作效率。作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗面板高效折弯设备


[0001]本技术涉及晶圆清洗面板加工
，尤其涉及一种晶圆清洗面板高效折弯设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。晶圆板在进行生产的过程中，需要对其进行折弯作业，以便晶圆板的后续使用，现有的生产中，没有对晶圆板进行折弯的设备，所以需要提供一种晶圆清洗面板高效折弯设备，以供使用。

技术实现思路

[0003]本技术实施例提供一种晶圆清洗面板高效折弯设备，以解决现有技术中的问题。
[0004]本技术实施例采用下述技术方案：一种晶圆清洗面板高效折弯设备，包括安装台、循环机构和加热机构，所述安装台呈水平设置，所述安装台的顶部设有加热槽，所述加热机构位于安装台内的加热槽内，所述循环机构位于安装台上，所述循环机构与加热机构相连通。
[0005]进一步的，所述循环机构包括循环抽水泵、进水管和循环箱，所述循环箱位于安装台上，所述循环抽水泵位于安装台上且位于循环箱的旁侧，所述进水管的两端分别与循环箱和循环抽水泵相连通。
[0006]进一步的，所述加热机构包括热水管和冷却管，所述热水管的一端循环抽水泵的出水端相连通，所述热水管水平位于安装台内的加热槽内，所述冷却管水平设置在安装台内，所述冷却管与热水管相连通，所述冷却管的另一端与循环箱相连通，所述热水管内设有加热丝。
[0007]进一步的，所述安装台的两端分别设有安装架。
[0008]进一步的，所述热水管上设有水阀。
[0009]本技术实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
[0010]本技术在进行使用时，加热机构工作进行加热，在循环机构的配合下将热水不断的输送，将热水输送至加热槽内的热水管内，折弯时将晶圆清洗面板需要折弯得到地方放置在热水管的位置，对晶圆清洗面板进行加热，使得晶圆清洗面板变软，晶圆清洗面板变软后通过人工弯曲晶圆清洗面板对其进行折弯作业，将晶圆清洗面板折弯成对应的弯
度，实现对晶圆清洗面板的折弯工作，提高了工作效率。
附图说明
[0011]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0012]图1为本技术的立体结构示意图；
[0013]图2为本技术的侧视图；
[0014]图3为本技术的俯视图；
[0015]附图标记：
[0016]安装台1，加热槽11，循环机构2，循环抽水泵21，进水管22，循环箱23，加热机构3，热水管31，冷却管32，安装架4，水阀5。
具体实施方式
[0017]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]下面结合图1至图3所示，本技术实施例提供了一种晶圆清洗面板高效折弯设备，包括安装台1、循环机构2和加热机构3，所述安装台1呈水平设置，所述安装台1的顶部设有加热槽11，所述加热机构3位于安装台1内的加热槽11内，所述循环机构2位于安装台1上，所述循环机构2与加热机构3相连通。在进行使用时，加热机构3工作进行加热，在循环机构2的配合下将热水不断的输送，将热水输送至加热槽11内的热水管31内，折弯时将晶圆清洗面板需要折弯得到地方放置在热水管31的位置，对晶圆清洗面板进行加热，使得晶圆清洗面板变软，晶圆清洗面板变软后通过人工弯曲晶圆清洗面板对其进行折弯作业，将晶圆清洗面板折弯成对应的弯度，实现对晶圆清洗面板的折弯工作。
[0019]具体地，所述循环机构2包括循环抽水泵21、进水管22和循环箱23，所述循环箱23位于安装台1上，所述循环抽水泵21位于安装台1上且位于循环箱23的旁侧，所述进水管22的两端分别与循环箱23和循环抽水泵21相连通；所述加热机构3包括热水管31和冷却管32，所述热水管31的一端循环抽水泵21的出水端相连通，所述热水管31水平位于安装台1内的加热槽11内，所述冷却管32水平设置在安装台1内，所述冷却管32与热水管31相连通，所述冷却管32的另一端与循环箱23相连通，所述热水管31内设有加热丝。在进行使用时，循环抽水泵21工作通过进水管22将循环箱23内的水向外抽取热水管31内，热水管31内的加热丝对水进行加热作业，在对水进行不断地加热后，对晶圆清洗面板的弯曲处进行加热作业，使得晶圆清洗面板变软，在晶圆清洗面板变软后，有利于后续的折弯，在加热后热水通过冷却管32将水回流至循环箱23内，以便下一次的加热使用，对晶圆清洗面板进行折弯作业。
[0020]具体地，所述安装台1的两端分别设有安装架4。安装架4可以对冷却管32和热水管31进行支撑。
[0021]具体地，所述热水管31上设有水阀5。打开水阀5可以将循环箱23内的水向热水管31内进行输送，从而实现对水的加热。
[0022]以上所述仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的权利要求范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗面板高效折弯设备，其特征在于，包括安装台(1)、循环机构(2)和加热机构(3)，所述安装台(1)呈水平设置，所述安装台(1)的顶部设有加热槽(11)，所述加热机构(3)位于安装台(1)内的加热槽(11)内，所述循环机构(2)位于安装台(1)上，所述循环机构(2)与加热机构(3)相连通。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗面板高效折弯设备，其特征在于：所述循环机构(2)包括循环抽水泵(21)、进水管(22)和循环箱(23)，所述循环箱(23)位于安装台(1)上，所述循环抽水泵(21)位于安装台(1)上且位于循环箱(23)的旁侧，所述进水管(22)的两端分别与循环箱(23)和循环抽水泵(21)相连通。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆先锋，
申请(专利权)人：无锡颂林达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：