具有重力场传感器的晶片搬运机械手制造技术

公开了用于自动地确定及校正晶片搬运机械手末端执行器的水平度的技术和系统。所述系统可使用可针对该晶片搬运机械手进行校正的倾斜传感器或重力场传感器。来自该倾斜传感器的输出可被用于确定或估计该晶片搬运机械手的末端执行器的倾斜，并且用于执行修正定位以减少或去除该倾斜，以自动地教导具有已减少的倾斜的特定位置，以执行对该机械手的健康检查，将反馈提供至使用者，等等。等等。等等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有重力场传感器的晶片搬运机械手
通过引用并入
[0001]PCT申请表作为本申请的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的PCT申请表中所标识的本申请要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。

技术介绍

[0002]半导体处理工具通常具有晶片搬运机械手，该晶片搬运机械手用于从前开式晶片传送盒(FOUP)或晶片站拾取晶片、将晶片在该处理工具内传送、以及将晶片放置于FOUP或晶片站之中。典型的晶片搬运机械手包含控制器、中央基座或主体、以及机械手臂连杆，这些机械手臂连杆以串联方式可转动地连接，并且以近端连杆可转动地连接至该基座并且远端连杆是用于承载晶片的刀形末端执行器。该机械手臂连杆由包含马达、传动带、以及滑轮的驱动系统所驱动，该驱动系统能够将该机器手臂连杆转动、延伸、以及收缩。编码器可用于将位置反馈信息提供至该控制器，该控制器可接着使用该信息以确定该晶片搬运机械手的位置，并且控制该马达的移动以将该晶片搬运机械手放置于其他配置中。

技术实现思路

[0003]本说明书中描述的主题的一个或多个实施方案的细节在附图和以下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种设备，其包含：第一机械手臂，其具有：基座，一或多个第一机械手臂连杆，倾斜传感器，以及机构，其中：所述一或多个第一机械手臂连杆中的一或多者是末端执行器，所述一或多个第一机械手臂连杆中的一或多者具有能转动地连接至所述基座的末端，所述一或多个末端执行器中的至少一者被配置成支撑半导体晶片，所述倾斜传感器是被配置成检测相对于地球重力场的方位的重力场传感器，所述倾斜传感器是相对于选自由以下项目组成的群组中的项目而固定地安装：所述一或多个第一机械手臂连杆中的一者和所述基座，所述机构支撑所述第一机械手臂，以及所述机构被配置成响应于一或多个输入而将所述第一机械手臂围绕水平俯仰轴而枢转。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述机构包含万向接头，所述万向接头被配置成支撑所述第一机械手臂的所述基座。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述机构是第二机械手臂，所述第二机械手臂具有：一或多个第二机械手臂连杆，以及一或多个第二机械手臂转动接头，其中：所述一或多个第二机械手臂转动接头中的至少一者具有水平转动轴，每一第二机械手臂连杆通过所述一或多个第二机械手臂转动接头中的一者而与其他第二机械手臂连杆中的至少一者能转动地连接，并且所述第二机械手臂被配置成支撑所述第一机械手臂的所述基座。4.根据权利要求1至3中的任何一项所述的设备，其中所述倾斜传感器是加速计。5.根据权利要求1至3中的任何一项所述的设备，其中所述倾斜传感器是倾斜仪。6.根据权利要求1至3中的任何一项所述的设备，其中所述倾斜传感器相对于所述基座固定地安装。7.根据权利要求1至3中的任何一项所述的设备，其中所述倾斜传感器相对于所述一或多个第一机械手臂连杆的仪表化的第一机械手臂连杆而固定地安装。8.根据权利要求7所述的设备，其中：具有两个或更多个第一机械手臂连杆，并且所述仪表化的第一机械手臂连杆是直接或间接地支撑其他的所述一或多个第一机械手臂连杆中的每一者的所述第一机械手臂连杆。9.根据权利要求7所述的设备，其中所述仪表化的第一机械手臂连杆是所述一或多个末端执行器中的一者。10.根据权利要求7所述的设备，其中：具有三个或更多个第一机械手臂连杆，
所述三个或更多个第一机械手臂连杆包含近端第一机械手臂连杆、远端第一机械手臂连杆、以及所述仪表化的第一机械手臂连杆，并且所述仪表化的第一机械手臂连杆是通过在第一末端处的近端第一机械手臂转动接头而与所述近端第一机械手臂连杆能转动地连接，并且通过在与所述第一末端相反的第二末端处的远端第一机械手臂转动接头而与所述远端第一机械手臂连杆能转动地连接。11.根据权利要求7所述的设备，其还包含：控制器，其包含一或多个处理器以及一或多个存储器装置，其中：所述一或多个处理器和所述一或多个存储器装置能操作地连接，所述一或多个处理器与所述倾斜传感器能通信地连接，并且所述一或多个存储器装置储存计算机可执行指令，所述计算机可执行指令在通过所述一或多个处理器执行时，使所述一或多个处理器：在所述仪表化的第一机械手臂连杆是在相对于所述基座的第一角位置处的同时接收由所述倾斜传感器产生的第一传感器数据，致使所述仪表化的第一机械手臂连杆相对于所述基座转动至第二角位置，在所述仪表化的第一机械手臂连杆是在所述第二角位置处的同时接收由所述倾斜传感器产生的第二传感器数据，以及基于所述第一传感器数据和所述第二传感器数据，确定针对所述倾斜传感器的校正数据。12.根据权利要求11所述的设备，其中所述第二角位置是离所述第一角位置180
°
处。13.根据权利要求11所述的设备，其中所述一或多个存储器装置还储存额外的指令，所述额外的指令当被执行时，使所述一或多个处理器：致使所述一或多个末端执行器中的至少一个末端执行器移动至关联于晶片站的位置；在所述至少一个末端执行器是在相关于所述晶片站的所述位置处的同时接收由所述倾斜传感器产生的传感器数据；基于所述至少一个末端执行器在关联于所述晶片站的所述位置的同时由所述倾斜传感器产生的所述传感器数据，确定所述倾斜传感器的俯仰角；将所述倾斜传感器的所述俯仰角与俯仰角阈值范围进行比较；在所述倾斜传感器的所述俯仰角在所述俯仰角阈值范围外的情况下，致使所述机构围绕水平枢轴枢转，使得所述倾斜传感器的所述俯仰角是在所述俯仰角阈值范围内；并且在所述一或多个存储器装置中的至少一个存储器装置中，储存关联于所述晶片站的所述机构以及所述第一机械手臂的教导位置，其中所述教导位置指示：当所述至少一个末端执行器在关联于所述晶片站的所述位置处并且所述倾斜传感器的所述俯仰角在所述俯仰角阈值范围内时，所述机构和所述第一机械手臂的定位。14.根据权利要求13所述的设备，其中所述一或多个存储器装置还储存额外的指令，所述额外的指令当被执行时，使所述一或多个处理器在确定所述俯仰角时，考虑针对所述倾斜传感器的校正数据。15.根据权利要求13所述的设备，其中所述一或多个存储器装置还储存额外的指令，所述额外的指令当被执行时，致使所述一或多个处...

【专利技术属性】
技术研发人员：理查德，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：