石英振荡装置制造方法及图纸

本发明专利技术的石英振荡装置包括一个具有两个主表面的石英振荡板，每个主表面上形成有激励电极和从激励电极引出的引导电极，以及在基底上形成的电极极板，石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接，在激励电极和引导电极中，至少每个引导电极包括一个Ｃｒ膜层、一个Ａｕ膜层和一个Ｃｒ薄膜层或Ａｇ薄膜层，它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。另外，每个电极极板包括一个钨或钼制成的金属层、一个Ｎｉ膜层和一个Ａｕ膜层，它们以上述顺序叠置在基底上；Ｎｉ膜层中的Ｎｉ至少在涂布硅酮基导电粘合剂的部位扩散入每个电极极板中的Ａｕ膜层的预定区域中。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英振荡装置，其中石英振荡板借助硅酮基导电粘合剂固定安装。作为一种传统的实例，现对照附图说明图13描述一种表面安装振荡器。这种表面安装的石英振荡器包括一个陶瓷封装7，其外部形状基本呈矩形体，并且在顶部有有凹口；一个矩形石英振荡板8，它作为压电式振荡元件装在陶瓷封装7中；以及一个金属盖，它粘合在陶瓷封装7的凹口中。陶瓷封装7由带有一凹口的陶瓷本体70和一个沿陶瓷本体70的周壁701的顶面设置的金属层71构成。金属层71由钨等金属层构成，在金属层上相继叠置着Ni镀层和超薄Au镀层。在陶塑封装7的内底面上在短侧方向上设有两个电极极板72(图中只画出一个)。电极极板72通过连接电极73，分别借助电极线74，75将电导至封装的外底面。矩形石英振荡板8在一个纵向端部借助这两个电极极板72悬伸。石英振荡板形成有一对在前、后表面上的激励电极81，82。这些激励电极81，82被引至电极极板72部分，并通过导电粘合剂300与其电连接。每个激励电极81，82由Cr膜层和Au膜层构成，这两个层依上述次序通过溅射或真空蒸发而叠置起来。另外，金属盖9用银钎焊材料400钎焊和焊接起来，从而形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英振荡装置，包括一个具有两个主表面的石英振荡板，每个主表面形成有一个激励电极和从激励电极引出的引导电极，以及在一基底上形成的电极极板，所述石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接，其特征在于：在激励电极和引导电极中，至少每个引导电极包括一个Ｃｒ膜层、一个Ａｕ膜层和一个Ｃｒ薄膜层或一个Ａｇ薄膜层，它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：饭塚实，石原宏征，小笠原好清，森显弘，平尾进，村上达也，
申请(专利权)人：株式会社大真空，
类型：发明
国别省市：JP[日本]