电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术的电子装置含有第一电感器（１２）和第一电容器（１１）。电容器包括在第一导电层（３）中的第一电容电极（２１）、一个电介质（２６）和在第二导电层（７）中的第二电容电极（２５）。第二导电层（７）还包括第一电感器（１２）和一个通路（１３）。为获得在ＲＦ装置中能在高频率下使用的低公差的共振频率，第二电容电极（２５）具有能将其投影投射在具有其在第一导电层（３）上的投影取决于第一电容电极（２１）的断面。由于侵蚀，第一电容（１１）的电容减少而第一电感器（１２）的电感增加。最好，电介质（２６）具有中间区域（２４）和边缘区域（２２，２３）。在中间区域（２４），电介质由电介质材料层（５）组成。在边缘区域（２２，２３），电介质由电介质材料层（５）和电绝缘层（４）组成。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有一个第一线圈和第一电容器的电子装置，该电容器具有第一和第二电容电极和一个电介质，该装置包括具有第一和第二侧面的基片，第二侧面如下所述—具有第一电容电极的第一导电构图层，—至少部分地由电介质组成的电介质材料层，以及—由实际上是第一线圈的第一构图和至少是第二电容电极的一部分的第二构图组成的第二导电构图层。从M.de Samber&L.Tegelaers，Philips Journal of Research，51(1998)，389-410中可以了解到这样一种装置。这种公知的装置是一种LC滤波器，在基片的第二侧面上包括一种具有Sio2的电绝缘的硅。第一导电层包含铝。第二导电层可以包含铝和金。如果这一层包含铝，该层是通过先喷射再侵蚀的方法得到的。具有金的第二导电构图层是在薄金层上提供一种抗蚀层的方法加工而成的，该抗蚀层是通过影印法构成的，金是由电化学方法获得的。已知装置的缺点在于该LC滤波器在制造过程由于不可控制的步骤从而导致其具有一个误差辐度的共振频率。该误差辐度对于该装置在高频率下的应用来说太大了。本专利技术的第一个目的是提供一种在第一段中所本文档来自技高网...

【技术保护点】
提供第一线圈（１２）和第一电容器（１１）的电子装置（１０，１１０），该第一电容器具有第一（２１）和第二电容电极（２５）以及电介质（２６），该装置包括具有第一（４１）和第二侧面（４２）的基片（１），在基片的第二侧面（４２）具有以下层： －第一导电构图层（３），其中包括第一电容电极（２１）， －电介质材料层（５），至少部分在由电介质（２６）组成，以及 －第二导电构图层（７）包含实际上第一线圈（１２）的第一构图和至少是第二电容电极（２５）的一部分的第二构图，其特征在于： －电介质（２６）具有并行于基片（１）的第二侧面的中间区域（２４）和边缘区域（２２，２３）， －电介质...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：NJ普尔斯福德，JTM范贝克，
申请(专利权)人：皇家菲利浦电子有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]