下载石英振荡装置的技术资料

文档序号:3407132

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本发明的石英振荡装置包括一个具有两个主表面的石英振荡板,每个主表面上形成有激励电极和从激励电极引出的引导电极,以及在基底上形成的电极极板,石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接,在激励电极和引导电极中,至少每个引导电极包括一个Cr膜...
该专利属于株式会社大真空所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大真空授权不得商用。

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