弹性表面波装置制造方法及图纸

通过设置具有压电性的基片、在该基片上构成ＩＤＴ的梳形电极、接近由该ＩＤＴ产生的表面波的传送方向配置的反射器电极、和在上述梳形电极和反射器电极的周围宽度随着地点而不同的短路辅助电极的构成，可以使在制造弹性表面波装置时在压电性基片的热处理工序等发生的电荷在遍及弹性表面波装置的整个电极表面变成均匀分布，即使在分离成单片弹性表面波装置后也能防止在因基板的热电性引起的电荷积累后产生放电而使电极破损或电特性老化。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用在通讯设备上的弹性表面波装置及其制造方法和用该装置的电子部件。
技术介绍
现有技术的弹性表面波的制造过程如下在其表面上涂布抗蚀剂，曝光、显影后，通过蚀刻所希望交指型变换器(IDTInter Digital Transducer)电极、栅反射器(Grating Reflector)电极(以下称反射器电极)，然后形成包围它们周围的切割线和连接它们的细线等所希望的电极图形。切断切割线后，就制成单片的弹性表面波装置。在该方法中通过切割压电基片变成单片的弹性表面装置因IDT电极与反射器电极等在电上分离，而在弹性表面波装置上加热和变形时，由于压电基板具有热电效应而产生电荷，当各电极间的电荷量变得不均匀时，就由于在对置的IDT电极之间和反射电极等之间或者IDT电极与反射器的电极之间放电而损坏电极或使弹性表面波装置的特性老化。作为解决这个问题的手段特开平11-29828号公报中公开了有关这个方法。即，通过在切割线的内侧配置包围IDT电极和反射器电极周围的金属薄膜的短路线使产生的电荷电均匀化，防止因放电引起的破损和电特性老化。另外，所谓切割线是把在具有压电性的基片上形成的多个弹性表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性表面波装置，其特征在于，包括：具有压电性的基片、形成在上述基片上的梳形电极、靠近由上述梳形电极发的表面波传送方向形成的反射器、和随着上述梳形电极和上述反射器电极的周围宽度随着地点不同而不同的框状短路辅助电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：池田和生，村濑恭通，西村和纪，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]