具有改进的温度补偿的压电晶体谐振器及其制造方法技术

压电晶体谐振器，包括：具有第一符号的第一谐振频率温度系数的压电层（１１）；第一和第二电极（７ａ，７ｂ），该压电层（１１）设置在第一和第二电极（７ａ，７ｂ）之间；以及配置在第一电极（７ａ）和压电层（１１）之间的补偿层（１３），其补偿材料具有和第一符号相反的第二符号的第二谐振频率温度系数，其中给该补偿材料提供修改材料以增加补偿层（１３）在第一电极（７ａ）和压电层（１１）之间方向上的导电性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有温度补偿以及改进的机电耦合系数的压电晶体谐振器，及其制造方法。
技术介绍
在电子装置中采用压电晶体谐振器日渐增加。压电晶体谐振器例如适于用在移动电话中以从频谱中滤除频率。除了移动电话，允许无线通信的所有模块通常都是压电晶体谐振器的典型应用。这些模块例如是用在膝上型计算机或PDA中从而和数据网络无线通信。压电晶体谐振器包括至少两个电极，其间配设有压电层。一种压电晶体谐振器的特殊例子是所谓的BAW(体声波)谐振器，其根据施加的交流电压的频率而具有高或低电阻抗。BAW滤波器在此用作开关，当两个电极之间的交流电压频率在谐振频带之内时闭合，而当该交流电压的频率不在谐振频带之内时断开。压电晶体谐振器以及体声波谐振器的谐振频率是依赖于温度的。对于压电晶体谐振器，谐振频率对温度的依赖性是决定性性能特性，因为其决定了压电晶体谐振器工作时谐振频率的变化范围。当运行压电晶体谐振器时，必须在脑中铭记选择所采用的压电晶体谐振器的通过区域(pass region)的极限，从而在整个温度范围内，滤出的频率在该通过区域的极限之内。压电晶体谐振器的谐振频率对温度依赖性的降低允许制造具有改进特本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电晶体谐振器，包括：压电层（１１），具有第一符号的谐振频率温度系数；第一和第二电极（７ａ，７ｂ），该压电层（１１）设置在该第一和第二电极（７ａ，７ｂ）之间；以及设置在第一电极（７ａ）和压电层（１１）之间的补偿层 （１３），其包括具有和第一符号相反的第二符号的第二谐振频率温度系数的补偿材料，其中为该补偿材料提供修改材料以增加补偿层（１３）在第一电极（７ａ）和压电层（１１）之间方向上的导电性。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R埃纳，
申请(专利权)人：安华高科技无线IP新加坡私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]