制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法技术

制造具有交迭配置的高和低声阻抗层的声反射镜（１０６）的方法，其中所述反射镜包括层序列，此层序列具有至少一个高声阻抗层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）和至少一个低声阻抗层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］），包括步骤：　　　　（ａ）制作层序列的第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）；　　　　（ｂ）在第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）之上制作层序列的第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］），以使得第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）部分地覆盖第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）；　　　　（ｃ）在第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）和第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）之上应用一平坦化层（１３２）；　　　　（ｄ）暴露出第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）的一部分（１３４），其中第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）的所暴露部分（１３４）与压电谐振器的有源区域（１２２）相关；以及　　　　（ｅ）通过去除至少保留在第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）的所暴露部分（１３４）之外的部分平坦化层（１３２）来平坦化从步骤（ｄ）中得到的结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电谐振器领域，如BAW(体声波)谐振器，尤其是制造用于压电谐振器的声反射镜的方法，以及制造压电谐振器的方法。典型的，本专利技术涉及一种制造声反射镜的方法，其具有高度的平坦化面并且在层沉积和整个反射镜结构的平坦化面都具有极好的均匀度。
技术介绍
基于BAW谐振器的射频滤波器在很多射频(RF)应用中都具有很大的影响。本质上，BAW谐振器具有两种概念，一方面是所谓的薄膜BAW谐振器(FBAR)，另一方面是所谓的固态安装谐振器(SMR)。薄膜BAW谐振器包括膜，其上的层序列包括配置的下部电极，压电层，和上部电极。声谐振器是通过膜的上侧和下侧的反射展开的。在固态安装谐振器的可选概念中，SMR包括衬底，例如硅衬底，其上的层序列包括配置的下部电极，压电层和上部电极。为将声波保持在此设计中的有源区域中，需要所谓的声反射镜。所述声反射镜置于有源层之间，即，两个电极和压电层以及衬底。声反射镜由分别具有高和低声阻抗层的可选序列构成，如，钨层(高声阻抗)和氧化物材料层(低声阻抗)。如果反射镜包括导电材料层，如钨(这是推荐的)，以避免滤波器中的寄生电容，以配置(构图)和实质上限制相应的反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
制造具有交迭配置的高和低声阻抗层的声反射镜（１０６）的方法，其中所述反射镜包括层序列，此层序列具有至少一个高声阻抗层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）和至少一个低声阻抗层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］），包括步骤：（ａ）制作层序列的第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）；（ｂ）在第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）之上制作层序列的第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］），以使得第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［２］）部分地覆盖第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）；（ｃ）在第一层（１０６ｂ↓［１］，１０６ｂ↓［２］）和第二层（１０６ａ↓［１］，１０６ａ↓［...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：R·塔尔汉默，S·马克斯泰纳，G·法廷格，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份公司，
类型：发明
国别省市：SG