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制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法技术
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下载制造用于压电谐振器的声反射镜和制造压电谐振器的方法的技术资料
文档序号:3405643
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制造具有交迭配置的高和低声阻抗层的声反射镜(106)的方法,其中所述反射镜包括层序列,此层序列具有至少一个高声阻抗层(106a↓[1],106a↓[2])和至少一个低声阻抗层(106b↓[1],106b↓[2]),包括步骤: (a)制...
该专利属于英飞凌科技股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份公司授权不得商用。
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