压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器制造技术

压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。压电薄膜谐振器包括形成在器件基板上的膜叠层，所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极。上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分，上电极和下电极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电薄膜谐振器，包括：形成在器件基板上的膜叠层，所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极，上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分，上电极和下电 极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷口真司，横山刚，坂下武，堤润，岩城匡郁，西原时弘，上田政则，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]