片式压电滤波器制造技术

一种片式压电滤波器，包括上盖板（１）、压电芯片（２）和下盖板（３），上盖板、压电芯片和下盖板依次相粘合在一起。上盖板是由第一介质陶瓷平板（１２）与一块有两个通孔的第一介质陶瓷薄片（１１）粘合而成，第一介质陶瓷薄片上的通孔（１３、１４）即为上盖板上的振动空腔。下盖板是由第二介质陶瓷平板（３２）与一块有两个通孔的第二介质陶瓷薄片（３１）粘合而成，第二介质陶瓷薄片上的通孔（３３、３４）即为下盖板上的振动空腔。上述组成上盖板和下盖板的有两个通孔的两块介质陶瓷薄片分别是由一块有两个凹槽的“山”字形介质陶瓷片与一块条形的介质陶瓷块粘合而成。可以利用精密机械设备用开槽、切割的方法制作，能得到高精度的振动空腔，且一致性较好。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

片式压电滤波器
本技术涉及一种电子元件的结构，一种片式压电滤波器。技术背景传统的压电滤波器元件广泛应用于移动通信机中的IF滤波和FM声音多路接收 机等场合。而采用SMD(表面贴装元件)封装后形成的片式压电滤波器因其体积小，符 合消费电子产品的小型化趋势，能更好地适应数字化技术的要求。可应用在遥控车门开 关、轮胎压力监控、无线遥控器，以及FM和HD收音机中。片式压电滤波器元件主要是采用介质盖板与压电陶瓷芯片组装形成。介质盖板 上必须制作出提供压电振子自由振动的空腔。已有的结构中，这种带空腔的介质盖板通 常是抽芯模具直接干压成型的，由于瓷片收缩变形的影响，空腔尺寸及不同位置上的一 致性不能很好地保证。
技术实现思路
本技术旨在提出一种片式压电滤波器的新型结构，振动空腔尺寸的精度较 高，一致性较好。这种片式压电滤波器包括上盖板、压电芯片和下盖板。压电芯片上有两个分割 电极。上盖板、压电芯片和下盖板依次相粘合在一起，上盖板和下盖板上对应压电芯片 上的分割电极的位置各有两个振动空腔。上盖板是由第一介质陶瓷平板与一块有两个 通孔的第一介质陶瓷薄片粘合而成，第一介质陶瓷薄片上的通孔即为上盖板上的振动空 腔。下盖板是由第二介质陶瓷平板与一块有两个通孔的第二介质陶瓷薄片粘合而成，第 二介质陶瓷薄片上的通孔即为下盖板上的振动空腔。上述组成上盖板和下盖板的有两个 通孔的两块介质陶瓷薄片分别是由一块有两个凹槽的“山”字形介质陶瓷片与一块条形 的介质陶瓷块粘合而成的。这种片式压电滤波器由于介质陶瓷薄片由一块有两个凹槽的“山”字形介质陶 瓷片与一块条形的介质陶瓷块粘合而成，介质陶瓷薄片上的通孔可以利用精密机械设备 用开槽、切割的方法形成，能得到高精度的振动空腔，且一致性较好。附图说明图1为片式压电滤波器的外形图；图2为片式压电滤波器的分解图；图3为片式压电滤波器的剖视图；图4为介质陶瓷薄片的结构图；图5为开槽后的介质瓷块；图6为有阵列通孔的介质陶瓷体；图7为有阵列通孔的介质陶瓷薄片与平板介质片粘合成盖板大片的示意图；图8为上盖板大片、压电芯片大片和下盖板大片组合成片式压电滤波器阵列的 示意图。具体实施方式如图1图2和图3所示，这种片式压电滤波器包括上盖板1、压电芯片2和下盖 板3。压电芯片2上有两个分割电极21、22，压电芯片的另一面有与分割电相对应的电 极。上盖板、压电芯片和下盖板依次相粘合在一起，上盖板和下盖板上与压电芯片上的 分割电极相对应的位置各有两个振动空腔。如图3所示，上盖板是由第一介质陶瓷平板 12与有两个通孔的第一介质陶瓷薄片11粘合而成，第一介质陶瓷薄片11上的通孔13、 14即为上盖板上的振动空腔。下盖板是由第二介质陶瓷平板32与一块有两个通孔的第二 介质陶瓷薄片31粘合而成，第二介质陶瓷薄片31上的通孔33、34即为下盖板上的振动 空腔。上述组成上盖板和下盖板的有两个通孔的两块介质陶瓷薄片11、31如图4所示分 别是由一块有两个凹槽的“山”字形介质陶瓷片8与一块条形的介质陶瓷块9粘合而成 的。如图1和图2所示，介质陶瓷平板12上通过印刷和烧银的方法形成了输入电极 15、输出电极16和接地电极17。压电芯片2上与振动空腔位置对应处的分割电极21和 22通过中间位置的电极23与压电芯片另一面的电极形成的耦合电容实现两级滤波的级联。这种片式压电滤波器可以用阵列大片粘合后再切割成单个元件的方法来制作， 介质陶瓷薄片上的通孔可以使用精密机械设备用开槽、切割的方法形成，能得到高精度 的振动空腔。具体制作过程如下所述。第一步，如图5所示，利用精密机械设备，按需要的尺寸在介质陶瓷块上开出 2m条槽41，成为开槽瓷块40，图中瓷块上的槽为8条。槽的宽度等于上盖板1或下盖 板3上的振动空腔的长度，槽的深度等于振动空腔的宽度。第二步，将η片开槽瓷块40和一片不开槽的瓷块42用环氧胶水或玻璃浆料粘合 在一起，成为如图6所示的有2mXn个阵列通孔的介质陶瓷体。图中所示的介质陶瓷体 上有8X5个阵列通孔。第三步，如图7所示，将上步所得的介质陶瓷体切割成有2mXn个阵列通孔44 的介质陶瓷薄片43，再将此有阵列通孔的介质陶瓷薄片与已在背面通过印刷和烧银制备 好电极的平板介质大片45粘合，制成盖板大片46。第四步，如图8所示，将二块盖板大片46分别作为上盖板和下盖板，与一块有 mXn组能陷模分割电极的压电陶瓷大片47粘合在一起，成为有mXn只元件的片式压电 滤波器阵列块48。第五步，将片式压电滤波器阵列块48切割成mXn只单个元件，再在单个元件 上制作侧电极18、19，最终制成如图1所示的片式压电滤波器。这种片式压电滤波器的制作过程中用精密机床进行机械加工，保证了上、下盖 板上的振动空腔的尺寸精度，因此在电性能一致性上较用干压成型盖板做成的滤波器有 所提高，又因为是用大片进行开槽加工和切割成形，也适合进行批量生产。这种片式压 电滤波器可根据不同型号的压电滤波器元件的分割电极大小，制作不同尺寸和不同深度的空腔。有利于空腔尺寸、深度与分割电极达到最佳的配合状态，得到良好的滤波特 性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片式压电滤波器，包括上盖板（１）、压电芯片（２）和下盖板（３），压电芯片上有两个分割电极（２１、２２），上盖板、压电芯片和下盖板依次相粘合在一起，上盖板和下盖板上对应压电芯片上的分割电极的位置各有两个振动空腔，其特征是所述的上盖板是由第一介质陶瓷平板（１２）与一块有两个通孔的第一介质陶瓷薄片（１１）粘合而成，第一介质陶瓷薄片上的通孔（１３、１４）即为上盖板上的振动空腔，所述的下盖板是由第二介质陶瓷平板（３２）与一块有两个通孔的第二介质陶瓷薄片（３１）粘合而成，第二介质陶瓷薄片上的通孔（３３、３４）即为下盖板上的振动空腔，上述组成上盖板和下盖板的有两个通孔的两块介质陶瓷薄片（１１、３１）分别是由一块有两个凹槽的“山”字形介质陶瓷片（８）与一块条形的介质陶瓷块（９）粘合而成的。

【技术特征摘要】
1. 一种片式压电滤波器，包括上盖板(1)、压电芯片(2)和下盖板(3)，压电芯片上 有两个分割电极01、22)，上盖板、压电芯片和下盖板依次相粘合在一起，上盖板和下 盖板上对应压电芯片上的分割电极的位置各有两个振动空腔，其特征是所述的上盖板是 由第一介质陶瓷平板(1 与一块有两个通孔的第一介质陶瓷薄片(11)粘合而成，第一介 质陶瓷薄片上的通孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，韩钰彦，许良，
申请(专利权)人：浙江嘉康电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]