压电元件制造技术

技术编号:3406114 阅读:173 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种压电元件,该压电元件具有极高压电特性,同时,基体和压电部之间的振动传递性优良,直至达到高电压区域弯曲位移相对电压的直线性高,即使在大的弯曲位移下长期使用时也显示出高的耐久性。本发明专利技术的压电元件具备由陶瓷构成的基体2、由其组成以规定的式表示的Pb(Mg、Ni)↓[1/3]Nb↓[2/3]O↓[3]-PbZrO↓[3]-PbTiO↓[3]三组分固溶系组合物作为主成分的压电陶瓷组合物构成的压电部1以及与压电部1电连接的电极3,压电部1直接或者通过电极3固定在基体2上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于压电元件,更详细地说,是关于具有极高的压电特性,作为执行元件使用的场合,外加大电场时的位移的增加比例大,作为传感器使用的场合,施加大的力时的分辨能力高的压电元件。
技术介绍
近年来,压电元件被用于喷墨打印机头、扬声器、话筒等。压电元件通常是在由陶瓷构成的基体上具备由压电陶瓷组合物构成的压电部和与该压电部电连接的电极。对于构成压电部的压电陶瓷组合物,到目前为止已公开了进行种种改进的压电陶瓷组合物。例如,已经公开了Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3三组分固溶系组合物或者用Sr、La等置换该组合物中的Pb的一部分的压电陶瓷组合物(例如参见特公昭44-17103号公报、特公昭45-8145号公报)。按照这些文献,对于是决定压电元件的压电特性的最重要部分的压电体本身,可以期待得到具有优良的压电特性(例如压电d常数)的压电元件。使用这些压电陶瓷组合物的压电元件,通过在陶瓷基体上层叠由压电陶瓷组合物构成的压电材料,然后进行热处理来制造。但是有的时候,因为形成的压电部的致密性低,所以弯曲位移变小。另外,外加电压时在致密性低的部分容易发生绝缘破坏这样的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
压电元件,该压电元件具备:由陶瓷构成的基体、由其组成以下述式(1)表示的第一Pb(Mg、Ni)↓[1/3]Nb↓[2/3]O↓[3]-PbZrO↓[3]-PbTiO↓[3]三组分固溶系组合物作为主成分的第一压电陶瓷组合物构成的压电部、以及与上述压电部电连接的电极;上述压电部直接或者通过上述电极固定在上述基体上,Pb↓[x]{(Mg↓[1-y]Ni↓[y])↓[(1/3)]X↓[a]Nb↓[2/3]}↓[b]Ti↓[c]Zr↓[d]O↓[3]…(1)上述式( 1)中,0.95≤x≤1.05、0.20<y≤0.50、0.90≤a≤1.10,而且,b、c、d是在...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:清水秀树海老个濑隆北川睦柏屋俊克
申请(专利权)人:日本碍子株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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