【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及压电元件，更具体涉及具有以钙钛矿型复合氧化物为主要成分的压电陶瓷和以Cu为主要成分的电极的压电致动器等压电元件。
技术介绍
利用通过对压电陶瓷施加电压而产生的电致伸縮效应的压电致动器被广 泛用于精密工作设备的定位和喷墨打印机的打印头等。被用作这样的压电致动器的压电元件一般通过在含有压电陶瓷粉末的陶 瓷生片上印刷导电性糊料形成导电层，将该形成了导电层的陶瓷生片以规定的 块数层叠后，使导电层和陶瓷生片同时烧结，由此形成压电陶瓷和内部电极共 烧结而得的压电陶瓷素坯，然后在压电陶瓷素坯的两端面形成外部电极而制 成。另外，这种压电元件中，作为内部电极材料， 一直以来使用在高温的氧化 性气氛中也不易被氧化且具有高熔点的Ag-Pd合金等贵金属材料。然而，如果使用上述贵金属材料作为内部电极材料，则材料成本高，所以 近年来提出了采用成本较低的Cu等贱金属材料作为内部电极材料使用的技术方案。例如，专利文献l中揭示了将PZT(Pb(Ti，Zr)03:锆钛酸铅)类的压电陶瓷和 由Cu、 Ag、 Ag-Pd等形成的电极交替层叠而成的层叠型压电元件。此外，专利文献2中揭示了...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：山本篤史，出口洋一，林宏一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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