一种两室结构的标准膜片减振平台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种两室结构的标准膜片减振平台装置，包括上底板、圆固定板、圆底板、密封圈固定件、隔膜、固定平台、密封圈连接件、底部支撑套、底部中间固定片、下底板、空气阻尼室至气室节流装置、进气节流装置；进气节流装置接进气气管，进气节流装置与底部支撑套连通；空气阻尼室至气室节流装置设置在底部支撑套内，空气阻尼室至气室节流装置设置有阻尼腔体和气室腔体，阻尼腔体内设置有阻尼恒定件；底部中间固定片将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；上气室与阻尼腔体连通，空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置与上气室连通。本实用新型专利技术能够有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需稳定时间降低，并且，固有频率更低。率更低。率更低。

A standard diaphragm damping platform device with two chamber structure

【技术实现步骤摘要】
一种两室结构的标准膜片减振平台装置


[0001]本技术涉及减振器领域，尤其涉及的是一种两室结构的标准膜片减振平台装置。

技术介绍

[0002]现有技术，各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等；在设置的时候均要用到减振器，减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用；减振的目的是控制干扰振动，将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如：冲击和振动试验台)，减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有技术中的减振器，一般都采用一室结构，运动平台所需稳定时间长，固有频率高。
[0004]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种能够有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需稳定时间降低，并且，固有频率更低的两室结构的标准膜片减振平台装置。
[0006]本技术的技术方案如下：一种标准膜片减振平台装置，包括上底板1、圆固定板2、圆底板3、密封圈固定件4、隔膜5、固定平台6、密封圈连接件7、底部支撑套8、底部中间固定片9、下底板11、空气阻尼室至气室节流装置13、进气节流装置14、阻尼腔体15和气室腔体；其中，上底板1、圆固定板2、圆底板3配合锁紧，圆底板3、隔膜5、固定平台6配合锁紧，密封圈连接件7、底部支撑套8、底部中间固定片9、下底板11焊接成一体；密封圈固定件4、隔膜5、密封圈连接件7配合锁紧；并且，进气节流装置14接进气气管，进气节流装置14与底部支撑套8连通；空气阻尼室至气室节流装置13设置在底部支撑套8内，空气阻尼室至气室节流装置13设置有阻尼腔体15和气室腔体，阻尼腔体15内设置有阻尼恒定件16；底部中间固定片9将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述上气室与所述阻尼腔体15连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置13与上气室连通。
[0007]应用于上述技术方案，所述的标准膜片减振平台装置中，所述阻尼恒定件16底部还设置一安全高度限位板10，所述安全高度限位板10用于限定阻尼恒定件16的上浮高度。
[0008]应用于上述各个技术方案，所述的标准膜片减振平台装置中，所述阻尼腔体(15)内放置有阻尼油，阻尼恒定件(16)部分浸泡在阻尼腔体(15)的阻尼油内。
[0009]应用于上述各个技术方案，所述的标准膜片减振平台装置中，还包括一搬运锁紧件12，用于锁紧搬运所述标准膜片减振平台装置。
[0010]应用于上述各个技术方案，所述的标准膜片减振平台装置中，所述气室腔体还设置有排气孔。
[0011]本技术的有益效果为：
[0012]本技术通过底部中间固定片将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述上气室与所述阻尼腔体连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置与上气室连通，上气室为空气弹簧主气室，空气阻尼室为辅气室，空气阻尼室加节流装置与上气室连通，可提供空气阻尼，本装置中空气阻尼与油阻尼共同提供阻尼作用；通过两气室的结构，能够有效衰减传递到设备的震动，使运动平台所需稳定时间降低，并且，固有频率更低；本技术可以达到固有频率的垂直和水平为2.5
‑
3HZ；减振率达到80
‑
90％。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体示意图；
[0014]图2位本技术的剖面结构示意图。
具体实施方式
[0015]以下结合附图和具体实施例，对本技术进行详细说明。
[0016]本实施例提供了一种两室结构的标准膜片减振平台装置，如图1和2所示，其中，标准膜片减振平台装置包括产品上底板1、圆固定板2、圆底板3、密封圈固定件4、隔膜5、固定平台6、密封圈连接件7、底部支撑套8、底部中间固定片9、安全高度限位板10、下底板11、搬运锁紧件12、空气阻尼室至气室节流装置13、进气节流装置14、阻尼腔体15和气室腔体。
[0017]其中，上底板1、圆固定板2、圆底板3配合锁紧，圆底板3、隔膜5、固定平台6配合锁紧，密封圈连接件7、底部支撑套8、底部中间固定片9、安全高度限位板10、下底板11焊接成一体且密封性好。密封圈固定件4、隔膜5、密封圈连接件7配合锁紧。进气节流装置14接进气气管，再分流空气阻尼室至气室节流装置13；并且，进气节流装置14与底部支撑套8连通；空气阻尼室至气室节流装置13设置在底部支撑套8内，阻尼腔体15内设置有阻尼恒定件16；底部中间固定片9将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述上气室与所述阻尼腔体15连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置13与上气室连通；并且，所述气室腔体还设置有排气孔，其中，可以在上气室和空气阻尼室分别设置一排气孔。
[0018]本技术的整体动作流程：当一套减振仪器(4个或4个以上)有承受负载时，进气管接入调平装置的进气，再由调平装置的出气管接到进气节流装置14进行实时充气，气压进入到底部支撑套8内，所述上气室与所述阻尼腔体15连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置13与上气室连通，上气室为空气弹簧主气室，空气阻尼室为辅气室，空气阻尼室加节流装置与上气室连通，可提供空气阻尼，本装置中空气阻尼与油阻尼共同提供阻尼作用，气压从底部支撑套8内进入空气阻尼室，然后通过空气阻尼室至气室节流装置13进入到上气室，从而进入到阻尼腔体15内，并将阻尼腔体15内的阻尼恒定件16往上顶起，阻尼恒定件16往上顶起后，顶起上底板1、圆固定板2、圆底板3、密封圈固定件4、隔膜5和固定平台6，安全高度限位板10通过卡定在阻尼腔体15的上部来限制顶起固定平台6的高度，不让上底板1、圆固定板2、圆底板3、密封圈固定件4、隔膜5、固定平台6等组件无限制的往上升高，防止破坏隔膜5；阻尼腔体15内盛一部分阻尼油，阻尼恒定件16部分浸泡在盛有阻尼油的腔体内，从而上下气浮时产生一定阻力，缩短稳定时间；达到减振的技术效果。
[0019]搬运锁紧件12用于在标准膜片减振平台装置不使用时，锁紧上底板1和密封圈连
接件7，方便产品的搬运和移动。
[0020]本技术通过底部中间固定片将气室腔体分隔为上气室和空气阻尼室；所述上气室与所述阻尼腔体连通，所述空气阻尼室通过空气阻尼室至气室节流装置与上气室连通，上气室为空气弹簧主气室，空气阻尼室为辅气室，空气阻尼室加节流装置与上气室连通，可提供空气阻尼，本装置中空气阻尼与油阻尼共同提供阻尼作用，通过两气室的结构，能够有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需稳定时间降低，并且，固有频率更低；本技术可以达到固有频率的垂直和水平为2.5
‑
3HZ；减振率达到80
‑
90％。
[0021]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所做的任何修改、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种两室结构的标准膜片减振平台装置，其特征在于，包括上底板(1)、圆固定板(2)、圆底板(3)、密封圈固定件(4)、隔膜(5)、固定平台(6)、密封圈连接件(7)、底部支撑套(8)、底部中间固定片(9)、下底板(11)、空气阻尼室至气室节流装置(13)、进气节流装置(14)、阻尼腔体(15)和气室腔体；其中，上底板(1)、圆固定板(2)、圆底板(3)配合锁紧，圆底板(3)、隔膜(5)、固定平台(6)配合锁紧，密封圈连接件(7)、底部支撑套(8)、底部中间固定片(9)、下底板(11)焊接成一体；密封圈固定件(4)、隔膜(5)、密封圈连接件(7)配合锁紧；并且，进气节流装置(14)接进气气管，进气节流装置(14)与底部支撑套(8)连通；空气阻尼室至气室节流装置(13)设置在底部支撑套(8)内，阻尼腔体(15)内设置有阻尼恒...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮，周小利，雷丽萍，伍军，朱艺光，
申请(专利权)人：深圳市三思减振技术有限公司，
类型：新型
国别省市：