一种主动减振平台制造技术

本发明专利技术公开了一种主动减振平台，其包括：底板，所述底板上安装有检测传感器、调平装置、悬浮组件，所述检测传感器用于检测外力导致的振动；工作平台，所述工作平台与所述调平装置、所述悬浮组件连接，并设置在所述调平装置、所述悬浮组件上侧；所述悬浮组件通过产生安培力以抵消外力带来的振动；以及其他部件、设备；实现了在提供被动减振功能的同时，通过算法驱动所述悬浮组件工作，来主动抵消外力带来的振动，进而提供最佳的减振效果，同时设备灵活度高、适用场面广。适用场面广。适用场面广。

An active damping platform

【技术实现步骤摘要】
一种主动减振平台


[0001]本专利技术涉及到减振设备
，尤其涉及到一种主动减振平台。

技术介绍

[0002]精密设备(如电子显微镜和透射电子显微镜)对工作环境的振动等级要求越来越高，而传统的被动减振方案已经不能达到高精密设备的使用要求。
[0003]在被动隔振的基础上增加振动检测模块、反馈控制模块、反向力输出模块，可实现高低频全频段隔振，为高精密设备提供稳定的工作环境。常见的主动减振器，采用压电驱动、液压或气压驱动来提供与地面振动、台面振动相反的作用力。但这几种方案存在响应速度慢，运动范围有限等缺点。
[0004]因此，亟需一种能够解决以上一种或多种问题的主动减振平台。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中存在的一种或多种问题，本专利技术提供了一种主动减振平台。本专利技术为解决上述问题采用的技术方案是：一种主动减振平台，其包括：底板，所述底板上安装有检测传感器、调平装置、悬浮组件，所述检测传感器用于检测外力导致的振动；
[0006]工作平台，所述工作平台与所述调平装置、所述悬浮组件连接，并设置在所述调平装置、所述悬浮组件上侧；
[0007]所述悬浮组件通过产生安培力以抵消外力带来的振动；
[0008]所述调平装置包括：检测高度传感器、机械限位装置、传动动力源、被动减振组件，所述传动动力源用于提供动力；
[0009]所述检测高度传感器安装在所述底板上，用于检测所述工作平台的高度；
[0010]所述机械限位装置与所述工作平台和所述底板连接，用于限位所述工作平台的活动；
[0011]所述被动减振组件包括：减振弹簧承载板和被动升降感应器，所述被动升降感应器用于检测所述减振弹簧承载板的上下位置，
[0012]所述减振弹簧承载板上连接有高度调节螺杆，所述减振弹簧承载板上安装有被动减振弹簧，所述被动减振弹簧与所述工作平台相接，所述传动动力源通过啮合传动结构驱动所述高度调节螺杆，所述底板上安装有升降导向柱，所述升降导向柱与所述减振弹簧承载板滑动连接。
[0013]进一步地，所述工作平台的下侧安装有上层板，所述调平装置、所述悬浮组件与所述上层板、所述工作平台连接，所述上层板、所述工作平台与所述被动减振弹簧相接。
[0014]进一步地，所述机械限位装置包括：机械限位件和机械限位底座，所述机械限位底座安装在所述底板上，所述机械限位件安装在所述机械限位底座上，所述机械限位件与所述工作平台相接。
[0015]进一步地，还包括：下限位缓冲柱，所述下限位缓冲柱安装在所述减振弹簧承载板
下侧，所述下限位缓冲柱在所述减振弹簧承载板下移到极限时起到缓冲的作用。
[0016]进一步地，所述高度调节螺杆的下端部安装有传动涡轮承重块和平面推力结构，所述平面推力结构设置在所述传动涡轮承重块的下侧。
[0017]进一步地，所述悬浮组件包括：音圈X/Y固定块，所述音圈X/Y固定块设置有两个，记为音圈X/Y动子固定块和音圈X/Y定子固定块，所述音圈X/Y动子固定块设置在所述音圈X/Y定子固定块的上侧；
[0018]所述音圈X/Y动子固定块的下侧自上而下安装有两块磁铁背板；
[0019]所述磁铁背板上设置有磁铁；
[0020]磁铁背板连接件，所述磁铁背板连接件将上下两块所述磁铁背板连接起来；
[0021]线圈支架，所述线圈支架安装在所述音圈X/Y定子固定块上，所述线圈支架上设置有线圈，所述线圈位于上下两个所述磁铁背板之间。
[0022]进一步地，所述工作平台的下侧安装有上层板；
[0023]在所述悬浮组件用于提供Z轴方向上的减振时，所述音圈X/Y固定块替换成音圈Z固定块，所述音圈X/Y动子固定块替换成音圈Z动子固定块，所述音圈X/Y定子固定块替换成音圈Z定子固定块；
[0024]所述音圈Z动子固定块与所述音圈Z定子固定块相对设置，所述音圈Z动子固定块的下侧自上而下安装有两块所述磁铁背板，所述磁铁背板连接件将上下两块所述磁铁背板连接起来；
[0025]所述线圈支架安装在所述音圈Z定子固定块上。
[0026]进一步地，所述悬浮组件竖直安装使用时，所述音圈X/Y动子固定块与所述工作平台和/或所述上层板相接，所述音圈X/Y定子固定块固定在所述底板上；
[0027]所述悬浮组件横向安装使用时，所述音圈Z动子固定块与所述工作平台和/或所述上层板相接，所述音圈Z定子固定块与所述底板固定连接。
[0028]进一步地，所述检测传感器、所述调平装置和所述悬浮组件设置有多个，所述悬浮组件可横向或竖直安装使用。
[0029]进一步地，所述底板上安装有外框组件。
[0030]本专利技术取得的有益价值是：本专利技术通过将所述底板、所述工作平台、所述悬浮组件、所述检测传感器、所述调平装置以及其部件、装置通过巧妙的结构连接在一起，实现了通过所述调平装置让工作平台浮起移动高度，产生减振效果；在所述检测传感器检测的外力带来的振动时，通过算法让所述悬浮组件产生对应的消除力以抵消外力带来的振动，进而达到最佳的减振效果，同时所述调平装置、所述悬浮组件可通过灵活设置其工作方向、位置、数量以配合不同的工作平台，提高适用场景。以上极大地提高了本专利技术的实用价值。
附图说明
[0031]图1为本专利技术的爆炸图；
[0032]图2为本专利技术的调平装置示意图；
[0033]图3为本专利技术的悬浮组件的示意图I；
[0034]图4为本专利技术的悬浮组件的示意图II；
[0035]图5为本专利技术的外框组件示意图。
[0036]【附图标记】
[0037]工作平台
···1[0038]上层板
···2[0039]检测传感器
···3[0040]调平装置
···4[0041]检测高度传感器
···
41
[0042]传感器连接件
···
42
[0043]传感器固定座
···
43
[0044]机械限位件
···
44
[0045]机械限位底座
···
45
[0046]传动动力源
···
46
[0047]动力源固定座
···
47
[0048]被动减振弹簧
···
48
[0049]高度调节螺杆
···
49
[0050]升降导向柱
···
410
[0051]导向轴承
···
411
[0052]减振弹簧承载板
···
412
[0053]下限位缓冲柱
···
413
[0054]啮合传动结构
···
414
[0055]传动涡轮承重块
···
415
[0056]平面推力结构
···<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主动减振平台，其特征在于，包括：底板，所述底板上安装有检测传感器、调平装置、悬浮组件，所述检测传感器用于检测外力导致的振动；工作平台，所述工作平台与所述调平装置、所述悬浮组件连接，并设置在所述调平装置、所述悬浮组件上侧；所述悬浮组件通过产生安培力以抵消外力带来的振动；所述调平装置包括：检测高度传感器、机械限位装置、传动动力源、被动减振组件，所述传动动力源用于提供动力；所述检测高度传感器安装在所述底板上，用于检测所述工作平台的高度；所述机械限位装置与所述工作平台和所述底板连接，用于限位所述工作平台的活动；所述被动减振组件包括：减振弹簧承载板和被动升降感应器，所述被动升降感应器用于检测所述减振弹簧承载板的上下位置，所述减振弹簧承载板上连接有高度调节螺杆，所述减振弹簧承载板上安装有被动减振弹簧，所述被动减振弹簧与所述工作平台相接，所述传动动力源通过啮合传动结构驱动所述高度调节螺杆，所述底板上安装有升降导向柱，所述升降导向柱与所述减振弹簧承载板滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种主动减振平台，其特征在于，所述工作平台的下侧安装有上层板，所述调平装置、所述悬浮组件与所述工作平台连接，所述工作平台与所述被动减振弹簧相接。3.根据权利要求2所述的一种主动减振平台，其特征在于，所述机械限位装置包括：机械限位件和机械限位底座，所述机械限位底座安装在所述底板上，所述机械限位件安装在所述机械限位底座上，所述机械限位件与所述上层板相接。4.根据权利要求1所述的一种主动减振平台，其特征在于，还包括：下限位缓冲柱，所述下限位缓冲柱安装在所述减振弹簧承载板下侧，所述下限位缓冲柱在所述减振弹簧承载板下移到极限时起到缓冲的作用。5.根据权利要求1所述的一种主动减振平台，其特征在于，所述高度调节螺杆的下端部安装有传动涡轮承重块和平面推力结构，所述平面推力结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮，周小利，雷丽萍，伍军，
申请(专利权)人：深圳市三思减振技术有限公司，
类型：发明
国别省市：