一种桌面型减振平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种桌面型减振平台，安全限位支架、气浮减振器、调平阀组件、储气腔体设置在外框组件内，压力调节组件固定在外框组件上，压力调节组件通过调平阀组件与储气腔体连接，储气腔体与气浮减振器连接；减振平台上板与安全限位支架锁附；气浮减振器包括有隔膜上层板、隔膜压盖、膜片式空气弹簧、隔膜夹板、气室模块、进气转接；其中，隔膜上层板、膜片式空气弹簧、隔膜夹板锁紧配合；隔膜压盖锁紧在气室模块上，隔膜压盖和气室模块之间装有膜片式空气弹簧；进气转接与储气腔体连接；减振平台上板放置在隔膜上层板上。本实用新型专利技术通过小型特殊空气弹簧系统，使得产品轻巧便携，安装方便；并且，减振效果好，平台稳定性好。平台稳定性好。平台稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种桌面型减振平台


[0001]本技术涉及减振装置领域，尤其涉及的是一种桌面型减振平台。

技术介绍

[0002]现有技术，各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等；在设置的时候均要用到减振器，减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用；减振的目的是控制干扰振动，将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如：冲击和振动试验台)，减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。
[0003]现有的桌面减振器一般都需要安装，体积较大，安装和携带不方便。
[0004]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种安轻巧便携，安装方便，平台稳定性好的桌面型减振平台。
[0006]本技术的技术方案如下：一种桌面型减振平台，包括减振平台上板1、安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7、底板8；其中，安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、储气腔体7设置在外框组件6内，压力调节组件5固定在外框组件6上，压力调节组件5通过调平阀组件4与储气腔体7连接，储气腔体7与气浮减振器3连接；安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7一起锁附在底板8上；减振平台上板1与安全限位支架2锁附；气浮减振器3包括有隔膜上层板3.1、隔膜压盖3.2、膜片式空气弹簧3.3、隔膜夹板3.4、气室模块3.5、进气转接3.6；其中，隔膜上层板3.1、膜片式空气弹簧3.3、隔膜夹板3.4锁紧配合；隔膜压盖3.2锁紧在气室模块3.5上，隔膜压盖3.2和气室模块3.5之间装有膜片式空气弹簧3.3；进气转接3.6与储气腔体7连接；减振平台上板1放置在隔膜上层板3.1上。
[0007]应用于上述方案，所述的桌面型减振平台中，外框组件6包括有前侧护板6.1、左侧护板6.2、右侧护板6.3、后侧护板6.4、进气源6.5；其中，进气源6.5安装在左侧护板6.2上，并与压力调节组件5连接。
[0008]应用于上述各个方案，所述的桌面型减振平台中，还包括有垫高脚垫，垫高脚垫锁附在底板8的下面。
[0009]本技术的有益效果为：
[0010]本技术通过采用气浮减振器，气浮减振器设置有膜片式空气弹簧，通过气浮减振器的小型特殊空气弹簧系统，使得产品轻巧便携，安装方便；并且，减振效果好，平台稳定性好。
附图说明
[0011]图1为本技术的示意图；
[0012]图2为本技术的组装结构示意图；
[0013]图3为本技术中气浮减振器的结构示意图；
[0014]图4为本技术中外框组件的结构示意图。
具体实施方式
[0015]以下结合附图和具体实施例，对本技术进行详细说明。
[0016]本实施例提供了一种桌面型减振平台，如图1和2所示，桌面型减振平台包括产品的减振平台上板1、安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7、底板8。
[0017]其中，减振平台上板1、安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7、底板8组装成桌面型减振平台成品。安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7各组件都以底板8为主导，全部锁附在底板8上；具体为，安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、储气腔体7设置在外框组件6内，压力调节组件5固定在外框组件6上，压力调节组件5通过调平阀组件4与储气腔体7连接，储气腔体7与气浮减振器3连接；具体是，储气腔体7可以设置有三个独立的储气室，压力调节组件5先分出三根气管，与三个调平阀组件连接，其中，每个调平阀组件接到储气腔体7的一个独立的储气室，再通过该储气室连接气浮减振器，其中，一个独立的储气室可以连接一个或两个气浮减振器；安全限位支架2、气浮减振器3、调平阀组件4、压力调节组件5、外框组件6、储气腔体7一起锁附在底板8上；减振平台上板1与安全限位支架2锁附；安全限位支架2为具有一上下调整距离的结构，可以在减振平台上板1上浮一定高度和下降一定高度时限制其高度位置，其中，设置有多个安全限位支架2和气浮减振器3，具体可以根据实际需求设置数量，此处不做任何限定。
[0018]并且，还包括有垫高脚垫，垫高脚垫锁附在底板8的下面；一般垫高脚垫设置有4个。
[0019]如图3所示，气浮减振器3包括有隔膜上层板3.1、隔膜压盖3.2、膜片式空气弹簧3.3、隔膜夹板3.4、气室模块3.5、进气转接3.6；隔膜上层板3.1、膜片式空气弹簧3.3、隔膜夹板3.4锁紧配合；隔膜压盖3.2锁紧在气室模块3.5上，隔膜压盖3.2和气室模块3.5中间装有膜片式空气弹簧3.3，锁紧并测试不漏气；进气转接3.6安装在气室模块3.5上；减振平台上板1放在气浮减振器3的隔膜上层板3.1上面；气浮减振器3通过进气转接3.6与储气腔体7连接。
[0020]如图4所示，外框组件6包括有前侧护板6.1、左侧护板6.2、右侧护板6.3、后侧护板6.4、进气源6.5；前侧护板6.1、左侧护板6.2、右侧护板6.3、后侧护板6.4锁紧连接并组装在减振平台板1底面，进气源6.5安装在左侧护板6.2上；进气源6.5与压力调节组件5连接。
[0021]本专利技术整体动作流程：当桌面型减振平台摆放好位置，在减振平台上板1上面放好需要被减振的仪器或检测设备。再外接气管连接到进气源6.5，进气源6.5与压力调节组件5连接，通过调节压力调节组件5的压力大小，从而调节储气腔体7的压力，通过储气腔体使气浮减振器的中锁紧配合的隔膜上层板3.1、膜片式空气弹簧3.3、隔膜夹板3.4上浮起一定高
度，从而使放置在隔膜上层板3.1的减振平台上板1浮起一定高度，通过上浮力抵抗产品振动力下压力，产生减振效果；如此，通过气浮减振器的小型特殊空气弹簧系统，使得产品轻巧便携，安装方便；并且，减振效果好，平台稳定性好。
[0022]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种桌面型减振平台，其特征在于，包括减振平台上板(1)、安全限位支架(2)、气浮减振器(3)、调平阀组件(4)、压力调节组件(5)、外框组件(6)、储气腔体(7)、底板(8)；其中，安全限位支架(2)、气浮减振器(3)、调平阀组件(4)、储气腔体(7)设置在外框组件(6)内，压力调节组件(5)固定在外框组件(6)上，压力调节组件(5)通过调平阀组件(4)与储气腔体(7)连接，储气腔体(7)与气浮减振器(3)连接；安全限位支架(2)、气浮减振器(3)、调平阀组件(4)、压力调节组件(5)、外框组件(6)、储气腔体(7)一起锁附在底板(8)上；减振平台上板(1)与安全限位支架(2)锁附；气浮减振器(3)包括有隔膜上层板(3.1)、隔膜压盖(3.2)、膜片式空气弹簧(3.3)、隔膜夹板(3....

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮，周小利，雷丽萍，伍军，朱艺光，
申请(专利权)人：深圳市三思减振技术有限公司，
类型：新型
国别省市：