内嵌电阻的射频开关器件版图结构和射频开关器件制造技术

本申请提供一种内嵌电阻的射频开关器件版图结构和射频开关器件，通过在射频开关器件的版图结构内部嵌入栅极指组，并通过栅极指组形成沟道电阻，利用沟道电阻的方式实现稳定栅极之间的电压。在提高开关器件的耐攻率能力的同时，提高版图的紧凑度，避免版图面积过大。并且，栅极指组中包含至少两个栅极指，可以便捷地通过调整栅极指之间的间距从而达到调整栅极之间电压的Rds的效果，在工艺上易于实现。在工艺上易于实现。在工艺上易于实现。

【技术实现步骤摘要】
内嵌电阻的射频开关器件版图结构和射频开关器件


[0001]本专利技术涉及开关器件
，具体而言，涉及一种内嵌电阻的射频开关器件版图结构和射频开关器件。

技术介绍

[0002]射频开关器件常用作频分或时分应用中的射频开关模块。基础的射频开关模块，包含了发射链路和接收链路。发射链路是指射频前端的功率放大器输出的信号到天线的信号链路。接收链路是指从天线收到的信号传送到射频前端的低噪声放大器的信号链路。开关器件的射频特性将会直接影响开关模块的性能指标。例如，开关器件的插入损耗和隔离度，会直接影响到开关模块的插入损耗和隔离度；开关器件的耐攻率能力，与发射链路与接收链路是否会互相串扰息息相关；开关器件的线性度，和开关模块的线性度和输出到天线的信号失真程度相关。
[0003]在传统的设计中，在电路上通过外部大电阻对多指栅极之间进行连接，稳定栅极之间的电压，避免由于信号波动而导致的栅压波动，从而为了提高开关器件的耐攻率能力。但以外部大电阻的方式进行连接，会导致器件版图面积过大。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的包括，例如，提供了一种内嵌电阻的射频开关器件版图结构和射频开关器件，其能够提高开关器件的耐攻率能力的同时，提高版图的紧凑度，避免版图面积过大。
[0005]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0006]第一方面，本专利技术提供一种内嵌电阻的射频开关器件版图结构，包括：衬底、设置在所述衬底上的外延层以及设置在所述外延层上的第一电极、第二电极和栅极；
[0007]所述第一电极包括第一主电极和多个第一指电极，所述多个第一指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第一主电极相连，所述第一方向和第二方向垂直；
[0008]所述第二电极包括第二主电极和多个第二指电极，所述多个第二指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第二主电极相连；
[0009]所述第一主电极和第二主电极在第二方向上相对设置，第一指电极和第二指电极在第一方向上交替间隔设置于第一主电极和第二主电极之间，且呈叉指状排列；
[0010]所述栅极包括至少一个子栅极，所述子栅极设置在所述第一主电极和第二主电极之间，所述子栅极包括多个横向子栅极和纵向子栅极，横向子栅极和纵向子栅极依次串联连接，所述横向子栅极的方向为第二方向，所述纵向子栅极的方向为第一方向；
[0011]所述至少一个子栅极包括第一子栅极，所述版图结构还包括至少一个栅极指组，所述至少一个栅极指组包含第一栅极指组，所述第一栅极指组包含在第二方向上间隔设置的至少两个栅极指，所述第一栅极指组在第一方向上处于相邻两个横向子栅极之间，在第
二方向上处于第一指电极和与所述相邻两个横向子栅极连接的纵向子栅极之间；
[0012]在第一方向上各所述栅极指的一端与所述相邻两个横向子栅极中的一个连接、另一端与另一个之间存在间隔，在第二方向上每相邻两个栅极指之间存在间隔且连接在不同的横向子栅极上；
[0013]所述第一栅极指组和所述纵向子栅极之间还设置有第一金属块，所述第一金属块与所述第二主电极之间通过跨接线连接，且与跨接下端的所述纵向子栅极之间绝缘隔离；
[0014]所述第一电极为源极、第二电极为漏极，或所述第一电极为漏极、第二电极为源极。
[0015]在可选的实施方式中，所述至少一个子栅极还包括第二子栅极，所述至少一个栅极指组还包括第二栅极指组；
[0016]所述第二子栅极设置在所述第一主电极和第一子栅极之间，所述第二栅极指组在第一方向上处于所述第二子栅极包含的相邻两个横向子栅极之间、在第二方向上处于所述第一指电极和所述第二子栅极包含的纵向子栅极之间；
[0017]所述第二栅极指组和所述第二子栅极的纵向子栅极之间还设置有第二金属块，所述第二子栅极和所述第一子栅极之间还设置有第一连接块，所述第二金属块和第一连接块之间通过跨接线连接，且与跨接下端的第二子栅极的纵向子栅极之间绝缘隔离。
[0018]在可选的实施方式中，所述至少一个子栅极还包括第三子栅极，所述至少一个栅极指组还包括第三栅极指组；
[0019]所述第三子栅极设置在所述第一主电极和第二子栅极之间，所述第三栅极指组在第一方向上处于所述第三子栅极包含的相邻两个横向子栅极之间、在第二方向上处于所述第一指电极和所述第三子栅极包含的纵向子栅极之间；
[0020]所述第三栅极指组和所述第三子栅极的纵向子栅极之间还设置有第三金属块，所述第三子栅极和所述第二子栅极之间还设置有第二连接块，所述第三金属块和第二连接块之间通过跨接线连接，且与跨接下端的第三子栅极的纵向子栅极之间绝缘隔离。
[0021]在可选的实施方式中，各所述栅极指组中，相邻两个栅极指在第二方向上的间隔距离为0.5um至2um，各所述栅极指的宽度为大于0.5um，各所述栅极指在第一方向上与横向子栅极之间的间隔距离为0.5um至1um。
[0022]在可选的实施方式中，所述第一栅极指组中的栅极指、第二栅极指组中的栅极值、第三栅极指组中的栅极指在第一方向上的长度依次递减。
[0023]第二方面，本专利技术提供一种内嵌电阻的射频开关器件，包括：衬底、设置在所述衬底上的外延层以及设置在所述外延层上的第一电极、第二电极和栅极；
[0024]所述第一电极包括第一主电极和多个第一指电极，所述多个第一指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第一主电极相连；
[0025]所述第二电极包括第二主电极和多个第二指电极，所述多个第二指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第二主电极相连；
[0026]所述第一主电极和第二主电极在第二方向上相对设置，第一指电极和第二指电极在第一方向上交替间隔设置于第一主电极和第二主电极之间，且呈叉指状排列；
[0027]所述栅极包括至少一个子栅极，所述子栅极设置在所述第一主电极和第二主电极之间，所述子栅极包括多个横向子栅极和纵向子栅极，横向子栅极和纵向子栅极依次串联
连接，所述横向子栅极的方向为第二方向，所述纵向子栅极的方向为第一方向；
[0028]所述至少一个子栅极包括第一子栅极，所述器件还包括至少一个栅极指组，所述至少一个栅极指组包含第一栅极指组，所述第一栅极指组包含在第二方向上间隔设置的至少两个栅极指，所述第一栅极指组在第一方向上处于相邻两个横向子栅极之间，在第二方向上处于第一指电极和与所述相邻两个横向子栅极连接的纵向子栅极之间；
[0029]在第一方向上各所述栅极指的一端与所述相邻两个横向子栅极中的一个连接、另一端与另一个之间存在间隔，在第二方向上每相邻两个栅极指之间存在间隔且连接在不同的横向子栅极上；
[0030]所述第一栅极指组和所述纵向子栅极之间还设置有第一金属块，所述第一金属块与所述第二主电极之间通过跨接线连接，且与跨接下端的所述纵向子栅极之间绝缘隔离；
[0031]所述第一电极为源极、第二电极为漏极，或所述第一电极为漏极、第二电极为源极。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种内嵌电阻的射频开关器件版图结构，其特征在于，包括：衬底、设置在所述衬底上的外延层以及设置在所述外延层上的第一电极、第二电极和栅极；所述第一电极包括第一主电极和多个第一指电极，所述多个第一指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第一主电极相连，所述第一方向和第二方向垂直；所述第二电极包括第二主电极和多个第二指电极，所述多个第二指电极在第一方向上平行间隔设置，且分别在第二方向上与所述第二主电极相连；所述第一主电极和第二主电极在第二方向上相对设置，第一指电极和第二指电极在第一方向上交替间隔设置于第一主电极和第二主电极之间，且呈叉指状排列；所述栅极包括至少一个子栅极，所述子栅极设置在所述第一主电极和第二主电极之间，所述子栅极包括多个横向子栅极和纵向子栅极，横向子栅极和纵向子栅极依次串联连接，所述横向子栅极的方向为第二方向，所述纵向子栅极的方向为第一方向；所述至少一个子栅极包括第一子栅极，所述版图结构还包括至少一个栅极指组，所述至少一个栅极指组包含第一栅极指组，所述第一栅极指组包含在第二方向上间隔设置的至少两个栅极指，所述第一栅极指组在第一方向上处于相邻两个横向子栅极之间，在第二方向上处于第一指电极和与所述相邻两个横向子栅极连接的纵向子栅极之间；在第一方向上各所述栅极指的一端与所述相邻两个横向子栅极中的一个连接、另一端与另一个之间存在间隔，在第二方向上每相邻两个栅极指之间存在间隔且连接在不同的横向子栅极上；所述第一栅极指组和所述纵向子栅极之间还设置有第一金属块，所述第一金属块与所述第二主电极之间通过跨接线连接，且与跨接下端的所述纵向子栅极之间绝缘隔离；所述第一电极为源极、第二电极为漏极，或所述第一电极为漏极、第二电极为源极。2.根据权利要求1所述的内嵌电阻的射频开关器件版图结构，其特征在于，所述至少一个子栅极还包括第二子栅极，所述至少一个栅极指组还包括第二栅极指组；所述第二子栅极设置在所述第一主电极和第一子栅极之间，所述第二栅极指组在第一方向上处于所述第二子栅极包含的相邻两个横向子栅极之间、在第二方向上处于所述第一指电极和所述第二子栅极包含的纵向子栅极之间；所述第二栅极指组和所述第二子栅极的纵向子栅极之间还设置有第二金属块，所述第二子栅极和所述第一子栅极之间还设置有第一连接块，所述第二金属块和第一连接块之间通过跨接线连接，且与跨接下端的第二子栅极的纵向子栅极之间绝缘隔离。3.根据权利要求2所述的内嵌电阻的射频开关器件版图结构，其特征在于，所述至少一个子栅极还包括第三子栅极，所述至少一个栅极指组还包括第三栅极指组；所述第三子栅极设置在所述第一主电极和第二子栅极之间，所述第三栅极指组在第一方向上处于所述第三子栅极包含的相邻两个横向子栅极之间、在第二方向上处于所述第一指电极和所述第三子栅极包含的纵向子栅极之间；所述第三栅极指组和所述第三子栅极的纵向子栅极之间还设置有第三金属块，所述第三子栅极和所述第二子栅极之间还设置有第二连接块，所述第三金属块和第二连接块之间通过跨接线连接，且与跨接下端的第三子栅极的纵向子栅极之间绝缘隔离。4.根据权利要求1所述的内嵌电阻的射频开关器件版图结构，其特征在于，各所述栅极
指组中，相邻两个栅极指在第二方向上的间隔距离为0.5um至2um，各所述栅极指的宽度为大于0.5um，各所述栅极指在第一方向上与横向子栅极之间的间隔距离为0.5um至1um。5.根据权利要求3所述的内嵌电阻的射频开关器件版图结构，其特征在于，所述第一栅极指组中的栅极指、第二栅极指组中的栅极值、第三栅极指组中的栅极指...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡文必，吴扬，林义书，魏鸿基，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：