一种CVD工作台旋转装置及CVD装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种CVD工作台旋转装置及CVD装置，CVD工作台旋转装置包括：旋转工作台，所述旋转工作台包括：主动旋转工作台和从动旋转工作台，所述主动旋转工作台和从动旋转工作台外侧均镶嵌齿套，主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套啮合；所述主动旋转工作台通过主传动轴转动连接在炉体内，所述主动传动轴与驱动机构连接。用来解决制件相对于气场固定不动的情况，放置在旋转工作台上的工装治具架在旋转过程中充当了扇叶的作用搅动了腔室内的原有气场，使其能更好的在腔体内行成一个相对稳定扩散的气场，制件在气场内保持一定的速度旋转与反应气体充分接触，从而使反应气体得以有足够的使用效率。得以有足够的使用效率。得以有足够的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD工作台旋转装置及CVD装置


[0001]本专利技术涉及CVD装置
，特别涉及一种CVD工作台旋转装置及CVD装置。

技术介绍

[0002]国内市场现有的CVD(化学气相沉积)按照炉体结构形式分成护罩升降式、底板升降式、立式上开盖式、卧式前开盖式等种类，在研究这些现有的炉体结构时发现它们都存在着相同的弊端，即CVD气体反应效率低，镀层厚度不均匀，生产成本普遍偏高。
[0003]通过分析生成原理，监视生成状态我们发现制约产品生成质量的原因是产品(制件)在反应气场范围内处于固定位置，而炉体为稳压反应气体总是只有与制件表面接触的气体才能产生反应。这样就造成了气场不均匀导致的镀层厚度不一致。因此，需要一种CVD工作台旋转装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种CVD工作台旋转装置及CVD装置，用以解决
技术介绍
提出的技术问题：产品在反应气场范围内处于固定位置，而炉体为稳压反应气体总是只有与制件表面接触的气体才能产生反应，从而制约产品生成质量。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种CVD工作台旋转装置及CVD装置，CVD工作台旋转装置包括：旋转工作台，所述旋转工作台包括：主动旋转工作台和从动旋转工作台，所述主动旋转工作台和从动旋转工作台外侧均镶嵌齿套，主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套啮合；
[0006]所述主动旋转工作台通过主传动轴转动连接在炉体内，所述主动传动轴与驱动机构连接。
[0007]优选的，所述驱动机构包括：
[0008]链轮传动轴，一端伸入炉体内与所述主传动轴连接，所述链轮传动轴另一端位于炉体外、且连接有从动链轮；
[0009]伺服电机和减速机，设置在炉体外，所述伺服电机连接减速机，所述减速机的输出轴连接有主动链轮，所述主动链轮与从动链轮通过传动链连接。
[0010]优选的，所述从动旋转工作台通过从传动轴转动连接在炉体内。
[0011]优选的，所述主动旋转工作台上放置石墨毡。
[0012]优选的，还包括：
[0013]轴套，连接在所述主传动轴上；
[0014]支撑轴承，所述主传动轴通过支撑轴承与炉体内壁连接；所述主传动轴上，且位于轴套与支撑轴承之间设置密封圈；
[0015]提供水冷的保护隔套，设置在所述轴套外部。
[0016]优选的，所述支撑轴承包括：轴承安装块，所述轴承安装块安装在炉体内壁，所述轴承安装块内安装有轴承本体，所述轴承安装块端面通过密封盖板与炉体内壁之间密封。
[0017]优选的，所述主传动轴在径向和轴向都设置密封圈，所述主传动轴在其前端设置保护炉腔气体的径向和轴向密封圈，所述主传动轴在其后端设置保护轴承的径向密封圈。
[0018]优选的，所述主传动轴还连接工作台连接盘，所述工作台连接盘与所述主动旋转工作台连接。
[0019]优选的，所述主传动轴上设有辅助机构，所述辅助机构包括：
[0020]工作腔，所述工作腔设置在所述主传动轴的内部，所述工作腔的左右两端对称设有连接孔一、连接孔二，且连接孔二和连接孔一上下分布，所述工作腔通过连接孔一、连接孔二与外界连通；
[0021]固定块，所述固定块固定设置在所述工作腔的下端中部，所述固定块的上下两侧分别设有一连接组件，所述连接组件包括两个滑槽一，所述两个滑槽一对称设置在所述固定块的左右两侧，所述滑槽一的上下两侧对称设有滑动轴一，所述滑动轴一与固定杆转动连接，所述固定杆与固定键转动连接，所述固定键和固定块之间固定设有弹簧一；
[0022]下侧的连接组件中的所述固定键穿过所述连接孔一与所述支撑轴承的键槽配合，上侧的连接组件中的所述固定键穿过所述连接孔二与所述轴套的键槽配合；
[0023]所述连接组件还包括两个连接杆，所述两个连接杆分别将同一水平面的所述滑动轴一固定连接，所述连接杆相互靠近的一端固定连接有配合块一，所述配合块一与配合块二滑动连接，且配合块二和固定块之间固定设有弹簧二，所述配合块二远离弹簧的一端与控制杆固定连接，所述控制杆贯穿所述工作腔的前端与外界连通；
[0024]安装板一，所述安装板一与所述传动链的外部固定连接，所述安装板一通过螺栓与安装板二可拆卸连接，所述安装板二与连接块一固定连接，所述连接块一通过连接轴与转动杆转动连接，所述转动杆上设有滑槽二，所述滑槽二中滑动设有滑动轴二，所述滑动轴二与连接块二转动连接，所述连接块二与转动块转动连接，所述转动块与所述链轮传动轴的下端转动连接；
[0025]升降轴，所述升降轴的一端与所述转动杆远离连接块一的一端转动连接，所述升降轴远离所述转动杆的一端贯穿过转动块、链轮传动轴、主传动轴的下端和固定块进入工作腔中，且升降轴与升降板转动连接，所述升降板滑动设置在所述工作腔内部，且升降板与升降块固定连接，所述升降块贯穿所述工作腔的上端与所述主动旋转工作台固定连接。
[0026]优选的，所述主动旋转工作台、从动旋转工作台外侧镶嵌的齿套完全相同；
[0027]所述CVD工作台旋转装置还包括：
[0028]称重传感器一：在所述从动旋转工作台的上端设置一称重层，所述称重层内部设置称重传感器一，所述称重传感器一用于检测从动旋转工作台上端连接件的总重量；
[0029]称重传感器二：在所述主动旋转工作台的上端设置一称重层，所述称重层内部设置称重传感器二，所述称重传感器二用于检测主动旋转工作台上端的连接件的总重量；
[0030]距离传感器一：所述距离传感器设置在所述从动旋转工作台的上端中心处，用于检测从动旋转工作台上端的连接件和从动旋转工作台上端中心处的间距；
[0031]距离传感器二：所述距离传感器设置在所述主动旋转工作台的上端中心处，用于检测主动旋转工作台上端的连接件和主动旋转工作台上端中心处的间距；
[0032]转速传感器：所述转速传感器设置在所述主传动轴，用于检测主传动轴的转速；
[0033]报警器：所述报警器设置在炉体外部；
[0034]控制器：所述控制器与所述称重传感器一、称重传感器二、距离传感器一、距离传感器二、转速传感器和报警器电连接；
[0035]所述控制器基于所述称重传感器一、称重传感器二、距离传感器一、距离传感器二和转速传感器控制所述报警器工作，包括以下步骤：
[0036]步骤1：控制器根据转速传感器检测出的主传动轴的转速和公式(1)计算出主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套之间的理论时变啮合刚度；
[0037][0038]其中，E为主动旋转工作台(2)的齿套和从动旋转工作台(12)的齿套之间的理论时变啮合刚度，π为角度，取180
°
，P为齿套的弹性模量，B为齿套上锯齿的宽度，δ为齿套的泊松比，J为齿套的变刚度幅值系数，cos为余弦，m为齿套的齿数，N为转速传感器的检测值，t为主动旋转工作台和从动旋转工作台的工作时间，μ为主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套的啮合相位角；
[0039]步骤2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，包括：旋转工作台，所述旋转工作台包括：主动旋转工作台(2)和从动旋转工作台(12)，所述主动旋转工作台(2)和从动旋转工作台(12)外侧均镶嵌齿套，主动旋转工作台(2)的齿套和从动旋转工作台(12)的齿套啮合；所述主动旋转工作台(2)通过主传动轴(4)转动连接在炉体内，所述主动传动轴(4)与驱动机构连接。2.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述驱动机构包括：链轮传动轴(8)，一端伸入炉体内与所述主传动轴(4)连接，所述链轮传动轴(8)另一端位于炉体外、且连接有从动链轮(9)；伺服电机(11)和减速机，设置在炉体外，所述伺服电机(11)连接减速机，所述减速机的输出轴连接有主动链轮，所述主动链轮与从动链轮(9)通过传动链连接。3.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述从动旋转工作台(12)通过从传动轴转动连接在炉体内；所述主动旋转工作台(2)上放置石墨毡(1)。4.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，还包括：轴套(3)，连接在所述主传动轴(4)上；支撑轴承(5)，所述主传动轴(4)通过支撑轴承(5)与炉体内壁连接；所述主传动轴(4)上，且位于轴套(3)与支撑轴承(5)之间设置密封圈；提供水冷的保护隔套，设置在所述轴套(3)外部。5.根据权利要求4所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述支撑轴承(5)包括：轴承安装块(10)，所述轴承安装块(10)安装在炉体内壁，所述轴承安装块(10)内安装有轴承本体，所述轴承安装块(10)端面通过密封盖板与炉体内壁之间密封。6.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述主传动轴(4)在径向和轴向都设置密封圈，所述主传动轴(4)在其前端设置保护炉腔气体的径向和轴向密封圈，所述主传动轴(4)在其后端设置保护轴承的径向密封圈。7.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述主传动轴(4)还连接工作台连接盘(7)，所述工作台连接盘(7)与所述主动旋转工作台(2)连接。8.根据权利要求4所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述主传动轴(4)上设有辅助机构，所述辅助机构包括：工作腔(401)，所述工作腔(401)设置在所述主传动轴(4)的内部，所述工作腔(401)的左右两端对称设有连接孔一(402)、连接孔二(403)，且连接孔二(403)和连接孔一(402)上下分布，所述工作腔(401)通过连接孔一(402)、连接孔二(403)与外界连通；固定块(23)，所述固定块(23)固定设置在所述工作腔(401)的下端中部，所述固定块(23)的上下两侧分别设有一连接组件，所述连接组件包括两个滑槽一(2301)，所述两个滑槽一(2301)对称设置在所述固定块(23)的左右两侧，所述滑槽一(2301)的上下两侧对称设有滑动轴一(27)，所述滑动轴一(27)与固定杆(24)转动连接，所述固定杆(24)与固定键(25)转动连接，所述固定键(25)和固定块(23)之间固定设有弹簧一(26)；下侧的连接组件中的所述固定键(25)穿过所述连接孔一(402)与所述支撑轴承(5)的键槽配合，上侧的连接组件中的所述固定键(25)穿过所述连接孔二(403)与所述轴套(3)的键槽配合；
所述连接组件还包括两个连接杆(28)，所述两个连接杆(28)分别将同一水平面的所述滑动轴一(27)固定连接，所述连接杆(28)相互靠近的一端固定连接有配合块一(29)，所述配合块一(29)与配合块二(30)滑动连接，且配合块二(30)和固定块(23)之间固定设有弹簧二(31)，所述配合块二(30)远离弹簧(31)的一端与控制杆(32)固定连接，所述控制杆(32)贯穿所述工作腔(401)的前端与外界连通；安装板一(22)，所述安装板一(22)与所述传动链的外部固定连接，所述安装板一(22)通过螺栓与安装板二(21)可拆卸连接，所述安装板二(21)与连接块一(20)固定连接，所述连接块一(20)通过连接轴与转动杆(16)转动连接，所述转动杆(16)上设有滑槽二(1601)，所述滑槽二(1601)中滑动设有滑动轴二(18)，所述滑动轴二(18)与连接块二(17)转动连接，所述连接块二(17)与转动块(19)转动连接，所述转动块(19)与链轮传动轴(8)的下端转动连接；升降轴(15)，所述升降轴(15)的一端与所述转动杆(16)远离连接块一(20)的一端转动连接，所述升降轴(15)远离所述转动杆(16)的一端贯穿过转动块(19)、链轮传动轴(8)、主传动轴(4)的下端和固定块(23)进入工作腔(401)中，且升降轴(15)与升降板(14)转动连接，所述升降板(14)滑动设置在所述工作腔(401)内部，且升降板(14)与升降块(13)固定连接，所述升降块(13)贯穿所述工作腔(401)的上端与所述主动旋转工作台(2)固定连接。9.根据权利要求1所述的一种CVD工作台旋转装置，其特征在于，所述主动旋转工作台(2)、从动旋转工作台(12)外侧镶嵌的齿套完全相同；所述CVD工作台旋转装置还包括：称重传感器一：在所述从动旋转工作台(12)的上端设置一称重层，所述称重层内部设置称重传感器一，所述称重传感器一用于检测从动旋转工作台(12)上端连接件的总重量；称重传...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙利，朱佰喜，薛抗美，蒋彪，杨伟峰，
申请(专利权)人：广州志橙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：