半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件技术

本发明专利技术涉及一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法及其组件，包括带有内齿的传动带，所述传动带的外侧设置有自动张紧轮，其与传动带相碰触设置，所述自动张紧轮的同轴上设置有距离传感器，所述距离传感器与终端设备相电联；所述传动带的内圈中设置有移动滑轨，所述移动滑轨上通过滑块设置有触碰杆，所述触碰杆与自动张紧轮在同一轴线设置，所述触碰杆与感应器相连，所述感应器与终端设备相连，在自动张紧轮位移后，触碰杆移动的距离与自动张紧轮移动的距离相等。本发明专利技术能提高工作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件


[0001]本专利技术属于晶圆传送臂领域，尤其涉及一种适用于半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件

技术介绍

[0002]晶圆处理制程是半导体制造工艺中的重要环节，而晶圆处理制程主要包括清洗、氧化、沉积、微影、蚀刻、离子植入等反复步骤，以完成晶圆上电路的加工与制作。在进行上述工艺过程中，有时需要多个工艺腔共同完成晶圆工艺(例如AMAT RTO_DPN设备)，此时就需要晶圆传送装置对晶圆进行传送或缓存；而现有晶圆传送装置一般采用手臂结构进行传送，而手臂结构的传输其内部结构都是由不同的机械件连接构成，而在这些机械件中某一机械件出现问题(如电机、皮带等老化损坏)，一般是在该手臂出现问题，即无法工作，或者无法达到要求的精度后，反应在相应的后端控制装置上，此时需要停工，进行维护，增加了成本和时间。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种适用于半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0005]一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，
[0006]包括以下步骤：
[0007]步骤1：在传动带的外侧设置自动张紧轮，在自动张紧轮的一侧设置距离传感器，通过距离传感器检测自动张紧轮与所述距离传感器之间的距离L；
[0008]当传动带出现松弛时，自动张紧轮改变原始的位置，使松弛的传动带张紧，使自动张紧轮与距离检测器的距离L变大；
[0009]步骤2：预设张紧距离L
max
，当张紧距离L
max
大于或等于距离L时，判定传动带达到寿命；
[0010]当张紧距离L
max
小于距离L时，判定传动未带达到寿命；
[0011]步骤3：在传动带的内侧设置有可移动的触碰杆，触碰杆的一端与传动带的内齿的顶端形成接触状态，接着触碰后的触碰杆的通过感应器将信号传输至终端设备；
[0012]预设极限未触碰个数N
min
，在触碰杆未触碰的个数N小于极限触碰N
min
时，判定传动带的内齿达到寿命；
[0013]当在触碰杆未触碰的个数N大于或等于极限触碰N
min
时，判定传动带的内齿达到寿命。
[0014]优选地，所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，所述自动张紧轮的距离L与未触碰个数N其中一个达到满足的条件时，则判定传动带达到寿命。
[0015]优选地，所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，在步骤3中如
果，自动张紧轮移动的距离L未达到张紧距离L
max
时，触碰杆需要移动与自动张紧轮相同移动的距离。
[0016]优选地，所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，所述传动最大允许长度的范围是自身长度的1.02～10.3倍。
[0017]优选地，所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，所述传动带的内齿未触碰的个数大于或等于自身内齿的个数10％～15％。
[0018]优选地，所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，所述自动张紧轮与触碰杆在同一轴线设置。
[0019]一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控组件，包括带有内齿的传动带，所述传动带的外侧设置有自动张紧轮，其与传动带相碰触设置，所述自动张紧轮的同轴上设置有距离传感器，所述距离传感器与终端设备相电联；所述传动带的内圈中设置有移动滑轨，所述移动滑轨上通过滑块设置有触碰杆，所述触碰杆与自动张紧轮在同一轴线设置，所述触碰杆与感应器相连，所述感应器与终端设备相连，在自动张紧轮位移后，触碰杆移动的距离与自动张紧轮移动的距离相等。
[0020]优选地，所述的一种适用于半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控组件，所述移动滑轨上的滑块通过驱动电机相连。
[0021]优选地，所述的一种适用于半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控组件，所述触碰杆为带有感应器的软性板。
[0022]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0023]本专利技术通过对传动带松紧度和内齿的磨损度来判定传动是否已到寿命，从而确保传动机械臂始终保持良好的工作状态，确保了工作效率，还能达到降低成本的目的。
[0024]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1是本专利技术的结构示意图。
具体实施方式
[0027]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0028]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范
围。
[0029]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0030]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或竖直，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0032]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在传动带的外侧设置自动张紧轮，在自动张紧轮的一侧设置距离传感器，通过距离传感器检测自动张紧轮与所述距离传感器之间的距离L；当传动带出现松弛时，自动张紧轮改变原始的位置，使松弛的传动带张紧，使自动张紧轮与距离检测器的距离L变大；步骤2：预设张紧距离L
max
，当张紧距离L
max
大于或等于距离L时，判定传动带达到寿命；当张紧距离L
max
小于距离L时，判定传动未带达到寿命；步骤3：在传动带的内侧设置有可移动的触碰杆，触碰杆的一端与传动带的内齿的顶端形成接触状态，接着触碰后的触碰杆的通过感应器将信号传输至终端设备；预设极限未触碰个数N
min
，在触碰杆未触碰的个数N小于极限触碰N
min
时，判定传动带的内齿达到寿命；当在触碰杆未触碰的个数N大于或等于极限触碰N
min
时，判定传动带的内齿达到寿命。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，其特征在于：所述自动张紧轮的距离L与未触碰个数N其中一个达到满足的条件时，则判定传动带达到寿命。3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，其特征在于：在步骤3中如果，自...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彭，林坚，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：