一种划片机显微镜结构制造技术

本发明专利技术公开了一种划片机显微镜结构，属于精密机床设备附件技术领域，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；固定件包括镜体夹持件、镜体支架，镜体支架的两端均连接镜体夹持件，镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，连接板与镜体支架的端部连接，第一夹板与第二夹板相连，第一夹板与第二夹板安装于连接板上，第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，第一夹板与第二夹板上均设置与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。本发明专利技术提高了工作效率，减少了横向移动行程，避免了采用大导程丝杠，提高分辨率及定位精度。及定位精度。及定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机显微镜结构


[0001]本专利技术属于精密机床设备附件
，具体地是涉及一种划片机显微镜结构。

技术介绍

[0002]划片机属于精密机床设备，划片机在切割晶圆工件时，需要使用显微镜对切割后的工件进行观察；现有显微镜结构为单显微镜结构，单显微镜结构安装在划片机一侧，切割前显微镜移动到工位上方进行定位，切割完成后显微镜移动到工位上方进行观察。安装于划片机一侧的现有显微镜结构的缺点在于：使用不便，不能很好地满足双工位切换使用，双工位切换时，显微镜移动距离较长，浪费时间，影响切割效率；而且现有显微镜结构通常采用大导程丝杠来实现移动，其影响定位精度及运动轴分辨率。因此，目前需要研制出一种能很好地满足于双工位切换使用的划片机显微镜结构。

技术实现思路

[0003]本专利技术就是针对上述问题，弥补现有技术的不足，提供一种划片机显微镜结构。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案。
[0005]本专利技术提供一种划片机显微镜结构，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，所述电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，所述固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架，所述镜体支架连接于电机丝杠组件、导轨组件上，所述镜体支架的两端均连接有镜体夹持件；所述镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，所述连接板与镜体支架的端部连接，所述第一夹板与第二夹板相连，相连在一起的第一夹板与第二夹板安装于连接板上，所述第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，所述第一夹板与第二夹板上均设置有与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。
[0006]作为本专利技术的一种优选方案，所述溜板包括第一板体与第二板体，第一板体与第二板体一体成型，第一板体上设置有横向滑槽；溜板与划片机上的驱动机构连接，并通过横向滑槽与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动。
[0007]作为本专利技术的另一种优选方案，所述溜板的第二板体左侧安装电机丝杠组件，溜板的第二板体前侧面下部开设有安装槽，导轨组件连接于安装槽内。
[0008]作为本专利技术的另一种优选方案，所述溜板的第二板体前侧面下部还设置有限位块，限位块设于靠近电机丝杠组件处。
[0009]作为本专利技术的另一种优选方案，所述导轨组件包括滑轨、滑块，滑轨固定连接于安装槽中，滑块可滑动连接于滑轨上。
[0010]作为本专利技术的另一种优选方案，所述镜体支架包括第一安装板、第二安装板，第一安装板垂直连接于第二安装板后侧，第一安装板与电机丝杠组件固定连接，第二安装板与导轨组件固定连接。
[0011]作为本专利技术的另一种优选方案，所述第一夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体半侧面上，第二夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体另一半侧面上，第一夹板与第二夹板之间通过螺钉连接，螺钉穿过第一夹板再与第二夹板连接，第二夹板与连接板之间通过螺钉连接。
[0012]作为本专利技术的另一种优选方案，所述电机丝杠组件包括电机、丝杠、外固定滑框以及移动块，外固定滑框固定连接于电机的动力输出端前方，丝杠一端连接于电机的动力输出端上，丝杠另一端连接于外固定滑框上，丝杠上连接移动块，移动块两侧与外固定滑框之间可滑动连接。
[0013]本专利技术有益效果：本专利技术所提供的一种划片机显微镜结构，将夹持安装显微镜本体的固定件与溜板、电机丝杠组件、导轨组件相结合，将显微镜本体安装在构成固定件的镜体支架的两端，并由所设置的镜体夹持件对显微镜本体进行夹紧固定；在切割前或切割后观察时，可就近采用合适的显微镜本体进行观察，使横向移动距离变短，缩短了移动时间，提高工作效率，减少横向移动的行程，避免了采用大导程丝杠，提高分辨率及定位精度。
附图说明
[0014]图1是本专利技术一种划片机显微镜结构的平面结构示意图。
[0015]图2是本专利技术一种划片机显微镜结构的镜体夹持件的分解式结构示意图。
[0016]图3是去掉镜体支架两端的镜体夹持件后的本专利技术分解式结构示意图。
[0017]图4是本专利技术一种划片机显微镜结构的镜体支架与连接板之间的安装状态图。
[0018]图5是本专利技术一种划片机显微镜结构结合两个工位的使用状态图。
[0019]图中标记：1为溜板、2为电机丝杠组件、3为镜体支架、4为连接板、5为安装槽、6为显微镜本体、7为第一夹板、8为第二夹板、9为导轨组件、10为限位块、11为横向滑槽、12为夹持弧形槽、13为螺钉；101为第一板体、102为第二板体、201为外固定滑框、202为丝杠、203为移动块、204为电机、301为第一安装板、302为第二安装板、901为滑轨、902为滑块。
具体实施方式
[0020]为了使本专利技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0021]结合图1至图3所示，一种划片机显微镜结构，包括溜板1、电机丝杠组件2、导轨组件9以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体6，所述电机丝杠组件2、导轨组件9均连接于溜板1上，所述固定件分别与电机丝杠组件2、导轨组件9连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架3，所述镜体支架3连接于电机丝杠组件2、导轨组件9上，所述镜体支架3的两端均连接有镜体夹持件，所述镜体夹持件包括连接板4、第一夹板7、第二夹板8，所述连接板4与镜体支架3的端部连接，所述第一夹板7与第二夹板8相连，相连在一起的第一夹板7与第二夹板8安装于连接板4上，所述第一夹板7与第二夹板8之间夹持安装显微镜本体6，所述第一夹板7与第二夹板8上均设置有与显微镜本体6外表面相适配的夹持弧形槽12。
[0022]所述溜板1包括第一板体101与第二板体102，第一板体101与第二板体102一体成
型，第一板体101上设置有横向滑槽11；溜板1上布设有安装孔，溜板1通过布设的安装孔与划片机上的驱动机构固定连接，并通过横向滑槽11与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板1由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动，即可实现带动本专利技术显微镜结构整体在工位上方横向往复移动。
[0023]所述镜体支架3包括第一安装板301、第二安装板302，第一安装板301垂直连接于第二安装板302后侧，第一安装板301与电机丝杠组件2固定连接，第二安装板302与导轨组件9固定连接；所述导轨组件9的作用是：可以起到导向作用，并可加固夹持安装有显微镜本体6的固定件相对于溜板1上、下移动的稳定性，进而提升了本专利技术显微镜结构的整体稳定性。
[0024]所述电机丝杠组件2通过四个螺钉13固定安装在溜板1上，所述电机丝杠组件2包括电机204、丝杠202、外固定滑框201以及移动块203，外固定滑框201固定连接于电机204的动力输出端前方，丝杠202一端连接于电机204的动力输出端上，丝杠20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机显微镜结构，其特征在于：包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，所述电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，所述固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架，所述镜体支架连接于电机丝杠组件、导轨组件上，所述镜体支架的两端均连接有镜体夹持件；所述镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，所述连接板与镜体支架的端部连接，所述第一夹板与第二夹板相连，相连在一起的第一夹板与第二夹板安装于连接板上，所述第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，所述第一夹板与第二夹板上均设置有与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。2.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板包括第一板体与第二板体，第一板体与第二板体一体成型，第一板体上设置有横向滑槽；溜板与划片机上的驱动机构连接，并通过横向滑槽与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动。3.根据权利要求2所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板的第二板体左侧安装电机丝杠组件，溜板的第二板体前侧面下部开设有安装槽，导轨组件连接于安...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁慧珠，张明明，吴洪柏，吴多乐，石文，徐双双，
申请(专利权)人：沈阳和研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：