一种划片机显微镜结构制造技术

本发明专利技术公开了一种划片机显微镜结构，属于精密机床设备附件技术领域，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；固定件包括镜体夹持件、镜体支架，镜体支架的两端均连接镜体夹持件，镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，连接板与镜体支架的端部连接，第一夹板与第二夹板相连，第一夹板与第二夹板安装于连接板上，第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，第一夹板与第二夹板上均设置与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。本发明专利技术提高了工作效率，减少了横向移动行程，避免了采用大导程丝杠，提高分辨率及定位精度。及定位精度。及定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机显微镜结构


[0001]本专利技术属于精密机床设备附件
，具体地是涉及一种划片机显微镜结构。

技术介绍

[0002]划片机属于精密机床设备，划片机在切割晶圆工件时，需要使用显微镜对切割后的工件进行观察；现有显微镜结构为单显微镜结构，单显微镜结构安装在划片机一侧，切割前显微镜移动到工位上方进行定位，切割完成后显微镜移动到工位上方进行观察。安装于划片机一侧的现有显微镜结构的缺点在于：使用不便，不能很好地满足双工位切换使用，双工位切换时，显微镜移动距离较长，浪费时间，影响切割效率；而且现有显微镜结构通常采用大导程丝杠来实现移动，其影响定位精度及运动轴分辨率。因此，目前需要研制出一种能很好地满足于双工位切换使用的划片机显微镜结构。

技术实现思路

[0003]本专利技术就是针对上述问题，弥补现有技术的不足，提供一种划片机显微镜结构。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案。
[0005]本专利技术提供一种划片机显微镜结构，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机显微镜结构，其特征在于：包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，所述电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，所述固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架，所述镜体支架连接于电机丝杠组件、导轨组件上，所述镜体支架的两端均连接有镜体夹持件；所述镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，所述连接板与镜体支架的端部连接，所述第一夹板与第二夹板相连，相连在一起的第一夹板与第二夹板安装于连接板上，所述第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，所述第一夹板与第二夹板上均设置有与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。2.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板包括第一板体与第二板体，第一板体与第二板体一体成型，第一板体上设置有横向滑槽；溜板与划片机上的驱动机构连接，并通过横向滑槽与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动。3.根据权利要求2所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板的第二板体左侧安装电机丝杠组件，溜板的第二板体前侧面下部开设有安装槽，导轨组件连接于安...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁慧珠，张明明，吴洪柏，吴多乐，石文，徐双双，
申请(专利权)人：沈阳和研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：