一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法及双轴划片机技术

本发明专利技术提供了一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法及双轴划片机，涉及芯片切割技术领域，方法包括：先自动对双轴划片机的第一Y轴进行补偿，通过获取第一Y轴位置处玻璃尺的刻度图像，基于获取的刻度图像对第一Y轴进行补偿，在对第一Y轴进行补偿完毕后且在第一Y轴标定对准后，利用第一Y轴处补光栅工装的瞄具为第一Y轴和第二Y轴的同时步进校准提供参照基准，根据第一Y轴和第二Y轴联动步进后的瞄具图像，对第二Y轴进行补偿，保证第一Y轴和第二Y轴的同步精度，提升双轴划片机的两个Y轴同时对同一工件的切割质量。一工件的切割质量。一工件的切割质量。

【技术实现步骤摘要】
一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法及双轴划片机


[0001]本专利技术涉及芯片切割
，具体而言，涉及一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法及双轴划片机。

技术介绍

[0002]双轴划片机在硅片切割、晶圆切割以及特殊切割等加工过程中，主要以伺服电机驱动滚珠丝杠的方式带动Y轴进行运动，由于伺服电机传动、滚珠丝杠和设备加工件本身存在一定误差，因此需要使用光栅尺位移传感器对双轴划片机的Y轴进行误差补偿，从而实现精度校准。
[0003]目前对于双轴划片机的Y轴校准方式采用人工方式进行校准，即人工手动运动设备从而测量出全部需要的数据，基于测量的数据计算出Y轴补偿差值，并基于人工操作对Y轴进行补偿校准。
[0004]基于人工方式对双轴划片机的Y轴进行校准，存在校准精度差的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法及双轴划片机，能够提高对双轴划片机Y轴校准的精确度。
[0006]为了实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：第一方面，本申请提供了一种双轴划片机的Y轴的自动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双轴划片机的Y轴的自动补偿方法，其特征在于，所述双轴划片机包括第一Y轴、第二Y轴以及切割工作台，所述切割工作台上设置有玻璃尺，所述第一Y轴上设置有携带有瞄具的补光栅工装，所述双轴划片机的Y轴的自动补偿方法包括：步骤101：在对所述第一Y轴进行补偿时，控制所述第一Y轴从玻璃尺的首端点按照预设步进进行移动，获取每次移动预设步进后，所述第一Y轴处的玻璃尺的刻度图像；步骤102：确定所述刻度图像中刻度的第一中心点与所述刻度图像的第一中心线；步骤103：确定所述第一中心点和所述第一中心线之间的第一距离；步骤104：基于所述第一距离对所述第一Y轴进行补偿，并返回执行所述控制所述第一Y轴从玻璃尺的首端点按照预设步进进行移动至基于所述第一距离对所述第一Y轴进行补偿的步骤，直至所述第一Y轴的移动距离满足补偿行程，完成对所述第一Y轴的补偿；步骤105：在完成对所述第一Y轴的补偿后，对所述第二Y轴进行补偿时，控制所述第一Y轴和第二Y轴按照预设步进进行同步移动，获取每次移动预设步进后的瞄具图像；步骤106：确定所述瞄具图像中瞄具的第二中心线与所述瞄具图像的第三中心线；步骤107：确定所述第二中心线与所述第三中心线之间的第二距离；步骤108：基于所述第二距离对所述第二Y轴进行补偿，并返回执行所述控制所述第一Y轴和第二Y轴按照预设步进进行同步移动至基于所述第二距离对所述第二Y轴进行补偿的步骤，直至所述第二Y轴的移动距离满足补偿行程，完成对第二Y轴的补偿。2.根据权利要求1所述的双轴划片机的Y轴的自动补偿方法，其特征在于，在所述确定所述刻度图像中刻度的第一中心点与所述刻度图像的第一中心线的步骤之前，所述方法还包括：确定所述刻度图像中是否存在刻度线宽度和刻度线颜色；在所述刻度图像中存在刻度线宽度和刻度线颜色时，确定所述刻度图像中存在玻璃尺的刻度线，从而执行所述确定所述刻度图像中刻度的第一中心点与所述刻度图像的第一中心线的步骤。3.根据权利要求1所述的双轴划片机的Y轴的自动补偿方法，其特征在于，所述确定所述第一中心点和所述第一中心线之间的第一距离的步骤，包括：确定所述第一中心点与所述第一中心线之间的第一像素距离；确定像素的像素尺寸；计算所述第一像素距离与所述像素尺寸的乘积，作为所述第一中心点与所述第一中心线之间的第一距离。4.根据权利要求3所述的双轴划片机的Y轴的自动补偿方法，其特征在于，所述基于所述第一距离对所述第一Y轴进行补偿的步骤，包括：将所述第一距离与预设的误差极限值进行比较；在所述第一距离小于所述预设的误差极限值时，计算所述第一距离与所述预设的误差极限值的差值；基于所述第一距离与所述预设的误差极限值的差值，对所述第一Y轴进行补偿。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明明，徐双双，周健宇，石文，
申请(专利权)人：沈阳和研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：