一种用于键合机的竖直微动安装平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于键合机的竖直微动安装平台，包括自上而下设置的固定座以及通过弹性连接组件与固定座连接的摆动头，所述弹性连接组件包括连接板、连杆以及若干个用于连接的弹簧片，所述连接板、连杆与固定座和摆动头之间留有间隙且通过所述弹簧片连接。本实用新型专利技术通过微动安装平台在力的作用下实现安装在摆动头上键合组件的微动，一方面能够在键合过程中提供下压力，另一方面在没有下压力的时候，安装平台能够自动恢复原状态，从而满足键合机设备对运动和力的精准控制及反馈，且整体结构简单稳定，方便后期维护。方便后期维护。方便后期维护。

A vertical micro motion installation platform for bonding machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于键合机的竖直微动安装平台


[0001]本技术涉及键合机系统
，具体涉及一种用于键合机的竖直微动安装平台。

技术介绍

[0002]芯片产业的发展对工业的发展有着举足轻重的作用，随着我国芯片产业逐步自主国产化，工艺封装测试所需的一系列设备却仍处于薄弱环节。
[0003]其中集成电路芯片的封装是指利用膜技术及微细加工技术，将芯片及其他要素在框架或基板上布置、粘贴固定及连接，引出接线端子并通过可塑性绝缘介质灌封固定，构成整体立体结构的工艺；键合机作为芯片封装的常用设备，用于实现芯片的自动对位和键合，因此保证键合机的运行稳定性至关重要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于键合机的竖直微动安装平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种用于键合机的竖直微动安装平台，包括自上而下设置的固定座以及通过弹性连接组件与固定座连接的摆动头；所述摆动头与键合机的键合组件固定连接。
[0007]优选地，所述弹性连接组件包括连接板、连杆以及若干个用于连接的弹簧片，所述连接板、连杆与固定座和摆动头之间留有间隙且通过所述弹簧片连接。
[0008]优选地，所述连接板采用长方体板，所述长方体板、连杆、固定座以及摆动头的连接处均通过螺栓组件固定所述弹簧片。
[0009]进一步地，所述摆动头与键合机的三轴运动系统连接固定连接。
[0010]本技术通过微动安装平台在力的作用下实现安装在摆动头上键合组件的微动，一方面能够在键合过程中提供下压力，另一方面在没有下压力的时候，安装平台能够自动恢复原状态，从而满足键合机设备对运动和力的精准控制及反馈，且整体结构简单稳定，方便后期维护。
附图说明
[0011]图1为本技术的整体结构示意图；
[0012]图中：1、固定座；2、摆动头；3、连接板；4、连杆；5、弹簧片。
具体实施方式
[0013]下面结合附图对本技术的一种优选实施方式做详细的说明。
[0014]如图1所示的用于键合机的竖直微动安装平台，包括自上而下设置的固定座 1以及通过弹性连接组件与固定座连接的摆动头2，本优选实施例所述的弹性连接组件包括连
接板3、连杆4以及若干个用于连接的弹簧片5，所述连接板、连杆与固定座和摆动头之间留有间隙且通过所述弹簧片连接,本优选实施例所述的弹簧片需要选取合适的厚度，以结构安装完成后,自然情况下摆动头可以承受一定的重力而整个结构不发生形变为准，即在摆动头受到一定压力后，摆动头会发生形变，当外力消失后，整个结构能够恢复形状；具体的，所述摆动头与键合机的键合组件固定连接，本优选实施例所述的键合组件通常为键合机的三轴运动系统。
[0015]其中，本优选实施例所述的连接板3采用长方体板，所述长方体板的四角、连杆的两端、固定座以及摆动头的连接处均通过螺栓组件固定所述弹簧片5，所述螺栓组件包括内六角圆柱头螺钉以及套设在螺钉上的弹垫、平垫组件，以减少弹簧片的磨损，延长使用寿命。
[0016]在具体的使用中，所述摆动头2与键合机的三轴运动系统固定连接，当键合机进行键合工作时，摆动头与劈刀(Z轴)连接，键合过程中，劈刀垂直向下运动与所需键合的器件接触，产生一定的压力，微动平台发生形变，由于整个结构的设计中连接板与固定头和摆动头、连杆与固定头和摆动头的间隙都很小，形变量一定，从而给键合中的结构运动以精准的控制，同时由于形变位置的限制，给键合机的键合部件也有一个力的反馈。
[0017]以上所述实施方式仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本技术的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本技术的权利要求书确定的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于键合机的竖直微动安装平台，其特征在于，包括自上而下设置的固定座(1)以及通过弹性连接组件与固定座连接的摆动头(2)；所述摆动头与键合机的键合组件固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于键合机的竖直微动安装平台，其特征在于，所述弹性连接组件包括连接板(3)、连杆(4)以及若干个用于连接的弹簧片(5)，所述连接板、连杆与固定座和摆动...

【专利技术属性】
技术研发人员：张青松，
申请(专利权)人：安徽汉先智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：