振荡装置、调节振荡装置的方法和存储器制造方法及图纸

本发明专利技术提供了振荡装置、调节振荡装置的方法和存储器。振荡装置包括：振荡器，其根据使能信号生成振荡信号；计数器，其对振荡信号的振荡数进行计数，并且能够在由第一信号所指示的振荡数处复位；以及比较器，其将所计数的振荡数与参考数进行比较。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及振荡装置、调节振荡装置的方法和存储器。
技术介绍
存储器设有用于生成自刷新请求信号的振荡器。振荡器由于工艺的变 化而产生振荡周期的变化。因此，每个半导体芯片所需的刷新时间彼此不同。为了解决该问题，在探针测试(probing test)中，针对每个半导体芯 片对用于自刷新的振荡器进行振荡周期测量，并且根据每个周期，针对每 个半导体芯片来改变分频数(frequency division number)，因此刷新请求 信号的发生间隔需要被调节。通过这种方式，减小了每个半导体芯片所需 的刷新时间的变化。日本专利申请特开第平9-171682号、日本专利申请特开第2002-74994 号和日本专利申请特开第平7-220473号描述了包括振荡电路的半导体存储 器。
技术实现思路
根据实施例的一个方面，提供了一种振荡装置，其包括振荡器，该 振荡器根据使能信号生成振荡信号；计数器，该计数器对振荡信号的振荡 数进行计数，并且在由第一信号所指示的振荡数处复位；以及比较器，该 比较器将所计数的振荡数与参考数进行比较。附图说明图1是示出振荡装置的结构示例的框图2是示出另 一振荡装置的结构示例的框图3是说明对图2中的振荡装置的刷新请求信号的周期进行调节的方法的视图4是示出根据第一实施例的存储器的结构示例的框图5是说明存储器的操作的时序图6是说明基于分频器的计数值来设定熔丝电路(fose circuit)的分 频数的方法的曲线图。图7是示出根据第二实施例的存储器的结构示例的框图8是示出根据第三实施例的存储器的结构示例的框图9是示出根据第四实施例的存储器的结构示例的框图IO是示出恒定电压生成电路和振荡器的结构示例的电路图ll是示出恒定电流生成电路和振荡器的结构示例的电路图；以及图12是示出另一恒定电流生成电路和振荡器的结构示例的电路图。具体实施例方式图l是示出振荡装置的结构示例的框图。刷新请求信号生成电路1001生成刷新请求信号S2。首先，将对刷新请求信号S2的周期调节方法进行 说明。在测试模式中，测试电路1003经由选择电路1004将恒定电流值或 恒定电压值指示给恒定电流/恒定电压源生成电路1007。恒定电流准定电 压源生成电路1007将具有所指示的值的恒定电流或恒定电压输出到振荡 器1005。振荡器1005生成具有对应于恒定电流值或恒定电压值的周期的 信号，并且输出振荡信号S1。分频器1006对振荡信号S1进行分频并且将 刷新请求信号S2输出到T触发器1009。触发器1009存储刷新请求信号 S2并且经由输出电路IOIO将其输出到外部。调节测试电路1003的恒定电 流或恒定电压以使得刷新请求信号S2得到期望周期，并且利用电流/电压 监控电路1008来检查在刷新请求信号S2得到期望周期时的恒定电流值或 恒定电压值。恒定电流值或恒定电压值被写入熔丝电路1002。在正常模式 中，熔丝电路1002经由选择电路1004将恒定电流值或恒定电压值指示给 恒定电流/恒定电压源生成电路1007。因此，刷新请求信号生成电路1001 可以生成具有期望周期的刷新请求信号S2。图2是示出另一振荡装置的结构示例的框图，其中从图1中删除了恒定电流/恒定电压源生成电路1007和电流/电压监控电路1008。在此将对图 2中的振荡装置与图1中的振荡装置的不同之处进行说明。在测试模式 中，测试电路1003经由选择电路1004将分频数指示给分频器1006。振荡 器1005输出振荡信号Sl。分频器1006根据所指示的分频数对振荡信号 Sl进行分频，并且将刷新请求信号S2输出到T触发器1009。触发器1009 经由输出电路IOIO将刷新请求信号S2输出到外部。图3是说明对图1中的振荡装置的刷新请求信号S2的周期进行调节 的方法的视图。当使能信号ST到高电平时，振荡器1005开始输出振荡信 号Sl。分频器1006通过对振荡信号Sl进行分频(例如，16分频)来输 出刷新请求信号S2。在图3中，在刷新请求信号S2的下面示出振荡信号 Sl的振荡数(脉冲数)的计数值。当振荡周期例如是1 ns并且具有例如 ±25% (由于工艺变化而导致的变化)的精度时，振荡信号Sl使刷新请求 信号S2的周期在12 ^到20 ^ts之间变化。需要利用周期为12 ^ts的电流 和20 ps的刷新特性来确保刷新电流。采用如下的方法来解决该问题，所 述方法针对各个半导体芯片中的每个来改变分频数。得到了周期为12 ^ts的刷新请求信号S2的半导体芯片将分频数从16 变到大约21 ( = 16X16/12)，并且刷新请求信号S2的周期被设定为大约 16 (=21X12/16) ps。此外，得到了周期为20 (is的刷新请求信号S2的 半导体芯片将分频数从16变到大约13 ( = 16X16/20)，并且刷新请求信 号S2的周期被设定为大约16 ( = 13X20/16) ps。上述经改变的分频数被 写入熔丝电路1002。输出电路IOIO输出刷新请求信号S2，从测量开始到保持时间结束的 信号电平被测量以进行通过/失败判定。在改变保持时间的同时将该测量重 复多次，这产生延长的测量时间的问题。图4是示出根据第一实施例的存储器的结构示例的框图，并且图5是 对存储器的操作进行说明的时序图。振荡装置101包括熔丝电路102、测 试电路103、选择电路104、振荡器105、分频器106和比较电路107，并 且生成刷新请求信号S2。振荡装置IOI具有测试模式和正常模式。首先， 将说明在测试模式中对刷新请求信号S2的周期的调节方法。在测试模式中，测试电路103输出分频数。例如，可以从外部来控制由测试电路103 所输出的分频数。在测试模式中，选择电路104选择由测试电路103所输 出的分频数，并且将其输出到分频器106。熔丝电路102、测试电路103 和选择电路104是用于设定分频器106的分频数的设定单元。振荡器105 根据使能信号ST生成振荡信号Sl。具体地，振荡器105生成振荡信号并 且当使能信号ST到高电平时开始输出振荡信号Sl。第一分频器106包括 计数器，并且根据从选择电路104输出的分频数来对振荡信号Sl进行分 频以输出刷新请求信号(第一分频信号)S2，并对振荡信号Sl的振荡数 (脉冲数)进行计数以输出计数值S3。当使能信号ST到高电平时，分频 器106将计数值S3复位到0 (零)，并且当使能信号ST到低电平时，分 频器106停止对计数值S3进行计数以保持计数值S3。应注意，当使能信 号ST到低电平时，振荡器105可以停止输出振荡信号Sl。例如，使能信号ST处于高电平的时间段为20 ^。该高电平时间段可 以被改变。分频器106在使能信号ST处于高电平的时间期间对振荡信号 Sl的计数值S3进行计数。例如，在使能信号ST处于高电平的20 ^的时 间段期间，计数值S3是24。分频器(计数器)106可以根据由测试电路 103所指示的分频数(由第一信号所指示的振荡数)来决定是否复位。在 测试模式中选择不复位，并且在正常模式中选择复位。应注意测试电路 103可以输出大于24的分频数。振荡信号Sl的周期是通过将使能信号ST 的高电平时间段(20网)除以计数值S3而获得的值。然而，因为计数值S3是整数，所以当振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振荡装置，包括：　振荡器，其根据使能信号生成振荡信号；　计数器，其对所述振荡信号的振荡数进行计数，并且在由第一信号所指示的振荡数处复位；以及　比较器，其将所计数的振荡数与参考数进行比较。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：富田浩由，
申请(专利权)人：富士通微电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]