一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置制造方法及图纸

技术编号:33979033 阅读:59 留言:0更新日期:2022-06-30 05:27
本实用新型专利技术公开了一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置,包括壳体,所述壳体的一侧固定连接有电机,电机输出轴的一端穿过壳体固定连接有连接杆,连接杆的圆周外壁固定连接有凸轮,所述连接杆的一端固定连接有两个刮板,所述壳体内固定连接有过滤板,且刮板与过滤板相接触,所述壳体内固定连接有固定架,固定架的顶部开设有滑孔,滑孔内活动连接有导向杆,且导向杆与凸轮相接触,所述导向杆的底端固定连接有弧形块,所述壳体的一侧开设有安装口。本实用新型专利技术不仅能够方便对杂质及时的进行清理,提高装置的过滤效果,而且能够节省工人的时间混合减少工人的劳动量,还能够提高装置的便捷性。的便捷性。的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置


[0001]本技术涉及镀膜机放气机械
,尤其涉及一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,随着科技的发展,人们对真空镀膜机的越来越重视,同时对真空镀膜机的使用时的便捷也越来越重视。
[0003]在真空镀膜机镀膜过程中,其中的放气装置会对空气进行过滤以防止杂质进入镀膜机影响镀膜效果,常见的放气装置在清理过滤板时,杂质不能及时排出,这就容易造成壳体内积攒过多杂质,导致过滤效率降低,影响放气速度,因此,提出一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置显得非常必要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置,包括壳体,所述壳体的一侧固定连接有电机,电机输出轴的一端穿过壳体固定连接有连接杆,连接杆的圆周外壁固定连接有凸轮,所述连接杆的一端固定连接有两个刮板,所述壳体内固定连接有过滤板,且刮板与过滤板相接触,所述壳体内固定连接有固定架,固定架的顶部开设有滑孔,滑孔内活动连接有导向杆,且导向杆与凸轮相接触,所述导向杆的底端固定连接有弧形块,所述壳体的一侧开设有安装口,安装口内活动连接有两个挡板,且弧形块与挡板可接触,所述挡板的上表面固定连接有拉簧,且拉簧与固定架相固定。
[0007]作为本技术再进一步的方案,所述壳体的两侧分别固定连接有出气管和进气管。
[0008]作为本技术再进一步的方案,所述壳体的底部固定连接有收集盒,且收集盒位于挡板的正下方。
[0009]作为本技术再进一步的方案,所述收集盒的一侧活动连接有清理门,清理门的一侧固定连接有把手。
[0010]作为本技术再进一步的方案,所述清理门的一侧粘结有密封圈,且密封圈与收集盒相接触。
[0011]作为本技术再进一步的方案,所述挡板的一侧粘结有海绵条。
[0012]作为本技术再进一步的方案,所述壳体的外侧固定连接有多个支撑腿,且支撑腿均匀分布。
[0013]本技术的有益效果为:
[0014]1.通过凸轮和导向杆的配合使用,电机带动连接杆转动,连接杆带动凸轮转动,凸轮转动时推动导向杆向下滑动,导向杆带动弧形块向下移动,弧形块推动挡板,使挡板发生转动,从而让杂质掉落到收集盒内方便对杂质及时进行清理,提高了装置的过滤效果。
[0015]2.通过密封圈的设置,密封圈可以密封清理门与收集盒之间的缝隙,可以防止杂质从清理门的缝隙跑出,避免杂质对工作现场造成污染,不利于工人对现场进行打扫,节省了工人的时间和减少了工人的劳动量。
[0016]3.通过拉簧的设置,电机带动连接杆转动,连接杆带动凸轮转动,凸轮转动时推动导向杆向下移动,当凸轮凸起的部分与导向杆脱离后,挡板通过拉簧的作用力进行复位,不用工人手动关闭挡板,提高了装置的便捷性。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置的立体结构示意图;
[0018]图2为本技术提出的一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置的局部剖视结构示意图;
[0019]图3为本技术提出的一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置的A部放大结构示意图。
[0020]图中:1、出气管;2、壳体;3、收集盒;4、密封圈;5、把手;6、清理门;7、进气管;8、支撑腿;9、过滤板;10、凸轮;11、刮板;12、连接杆;13、海绵条;14、弧形块;15、挡板;16、拉簧;17、固定架;18、导向杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0022]参照图1

图3,一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置,包括壳体2,壳体2的一侧通过螺栓固定有电机,电机输出轴的一端穿过壳体2通过螺栓固定有连接杆12,连接杆12的圆周外壁键连接有凸轮10,连接杆12的一端通过螺栓固定有两个刮板11,壳体2内通过螺栓固定有过滤板9,且刮板11与过滤板9相接触,壳体2内通过螺栓固定有固定架17,固定架17的顶部开设有滑孔,滑孔内滑动连接有导向杆18,且导向杆18与凸轮10相接触,导向杆18的底端通过螺栓固定有弧形块14,壳体2的一侧开设有安装口,安装口内转动连接有两个挡板15,且弧形块14与挡板15可接触,挡板15的上表面焊接有拉簧16,且拉簧16与固定架17相固定,启动电机,电机带动连接杆12转动,连接杆12带动刮板11转动,刮板11对过滤板9上的杂质进行清理,同时连接杆12带动凸轮10转动,凸轮10转动时会推动导向杆18向下移动,导向杆18带动弧形块14移动,弧形块14推动挡板15转动,使挡板15打开,同时挡板15会拉伸拉簧16,从而让杂质掉落到收集盒3内,当凸轮10凸起的部分与导向杆18脱离后,挡板15通
过拉簧16的作用力进行复位同时带动导向杆18进行复位。
[0023]本技术中,壳体2的两侧分别通过螺栓固定有出气管1和进气管7,壳体2的底部通过螺栓固定有收集盒3,且收集盒3位于挡板15的正下方,收集盒3的一侧转动连接有清理门6,清理门6的一侧通过螺栓固定有把手5,清理门6的一侧粘结有密封圈4,且密封圈4与收集盒3相接触,密封圈4可以密封清理门6与收集盒3之间的缝隙,可以防止杂质从清理门6的缝隙跑出,避免杂质对工作现场造成污染,不利于工人对现场进行打扫,挡板15的一侧粘结有海绵条13,壳体2的外侧通过螺栓固定有多个支撑腿8,且支撑腿8均匀分布。
[0024]工作原理:当需要进行真空镀膜时,将出气管1与真空镀膜机相连通,启动真空镀膜机,真空镀膜机通过进气管7将空气吸进壳体2内,空气经过壳体2内过滤板9的过滤进入到真空镀膜机内,当需要对过滤板9进行清理时,启动电机,电机带动连接杆12转动,连接杆12带动刮板11转动,刮板11对过滤板9上的杂质进行清理,同时连接杆12带动凸轮10转动,凸轮10转动时会推动导向杆18向下移动,导向杆18带动弧形块14移动,弧形块14推动挡板15转动,使挡板15打开,同时挡板15会拉伸拉簧16,从而让杂质掉落到收集盒3内,当凸轮10凸起的部分与导向杆18脱离后,挡板15通过拉簧16的作用力进行复位同时带动导向杆18进行复位,使导向杆本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置,包括壳体(2),其特征在于,所述壳体(2)的一侧固定连接有电机,电机输出轴的一端穿过壳体(2)固定连接有连接杆(12),连接杆(12)的圆周外壁固定连接有凸轮(10),所述连接杆(12)的一端固定连接有两个刮板(11),所述壳体(2)内固定连接有过滤板(9),且刮板(11)与过滤板(9)相接触,所述壳体(2)内固定连接有固定架(17),固定架(17)的顶部开设有滑孔,滑孔内活动连接有导向杆(18),且导向杆(18)与凸轮(10)相接触,所述导向杆(18)的底端固定连接有弧形块(14),所述壳体(2)的一侧开设有安装口,安装口内活动连接有两个挡板(15),且弧形块(14)与挡板(15)可接触,所述挡板(15)的上表面固定连接有拉簧(16),且拉簧(16)与固定架(17)相固定。2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀镀膜机用的自动快速放气装置,其特征在于,所述壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈开云费明跃彭学实
申请(专利权)人:赫得纳米科技重庆有限公司
类型:新型
国别省市:

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