一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置，包括检测壳体和固定壳体，所述检测壳体内活动连接有圆盘，圆盘的顶部固定连接有刻度表杆，且刻度表杆穿过检测壳体，所述圆盘的上表面固定连接有强力弹簧，且强力弹簧与检测壳体相固定，所述检测壳体的外侧开设有两个卡槽，所述固定壳体内固定连接有透气盘，所述固定壳体内活动连接有滑环，滑环的底部固定连接有多个辅助弹簧，辅助弹簧的底端固定连接有固定环。本实用新型专利技术不仅能够利用真空负压的原理来检测真空，避免电子设备出现乱码，提高了装置检测的准确性，而且能够避免出现漏气的现象导致检测出现偏差，提高了装置的密封效果，还能够提高装置的使用效果。还能够提高装置的使用效果。还能够提高装置的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置


[0001]本技术涉及真空压力检测
，尤其涉及一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置。

技术介绍

[0002]真空度检测仪采用磁控放电法进行测量，将真空开关灭弧室的两触头拉开一定的距离，施加电场脉冲高压，将灭弧室置于螺线管圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，随着科技的发展，人们对真空检测装置的使用越来越重视。
[0003]在真空设备运用中，真空泵将装置内部抽至真空，目前市面上真空检测都是通过电子设备进行检测，而电子设备容易出现编码混乱，从而导致设备检测结构出现偏差，因此，提出一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置显得非常必要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置，包括检测壳体和固定壳体，所述检测壳体内活动连接有圆盘，圆盘的顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置，包括检测壳体(1)和固定壳体(2)，其特征在于，所述检测壳体(1)内活动连接有圆盘(10)，圆盘(10)的顶部固定连接有刻度表杆(12)，且刻度表杆(12)穿过检测壳体(1)，所述圆盘(10)的上表面固定连接有强力弹簧(11)，且强力弹簧(11)与检测壳体(1)相固定，所述检测壳体(1)的外侧开设有两个卡槽(13)，所述固定壳体(2)内固定连接有透气盘(19)，所述固定壳体(2)内活动连接有滑环(18)，滑环(18)的底部固定连接有多个辅助弹簧(21)，辅助弹簧(21)的底端固定连接有固定环(20)，且固定环(20)与固定壳体(2)相固定，所述固定壳体(2)的外侧开设有两个滑槽(16)，滑槽(16)内活动连接有楔形架(15)，且楔形架(15)与滑环(18)相接触并与卡槽(13)可卡接，所述固定壳体(2)的外侧固定连接有多个复位弹簧(17)，且相邻的两个复位弹簧(17)与楔形架(15)相固定。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置，其特征在于，所述固定壳体(2)的顶部设有防护盖(3)，且检测壳体(1)与防护盖(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢廷伟，刘维松，彭学实，
申请(专利权)人：赫得纳米科技重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：