搬运机构、镀膜装置、面板基板的制作方法和显示面板制造方法及图纸

本申请提供一种搬运机构、镀膜装置、面板基板的制作方法和显示面板，其中，搬运机构包括：搬运件，所述搬运件具有隔热面；隔热件，所述隔热件设于所述隔热面；连接件，所述连接件具有第一连接面和第二连接面，所述第一连接面连接所述隔热件，所述第二连接面用于连接待镀膜件。本申请实施例提供的搬运机构减少基板的热量的扩散，使得基板在镀膜过程中各处温度保持均匀，从而有效避免出现镀膜材料的气体分子或原子聚集的现象，从而保证最终所制得的面板基板各处厚度的均匀一致性，保证了面板基板的质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
搬运机构、镀膜装置、面板基板的制作方法和显示面板


[0001]本申请属于镀膜显示
，尤其涉及一种搬运机构、镀膜装置、面板基板的制作方法和显示面板。

技术介绍

[0002]目前，真空镀膜工艺在OLED显示面板和LCD显示面板等的制作过程中被广泛应用，其中显示面板的面板基板就需要用到真空镀膜工艺。真空镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于镀膜装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层。基板在镀膜过程中，通常需要进行移动，现有技术中，通常通过镀膜装置的搬运机构对基板进行搬送。然而，由于现有的搬运机构结构过于简单，使得基板在镀膜过程中产生的热量容易传递到搬送机构上，使得基板靠近搬送机构的位置的温度比其他位置的温度较低，使得镀膜材料的气体分子或原子容易在基板温度较低的位置聚集，从而使得最终得到的面板基板厚底不均，影响面板基板的质量。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种搬运机构，以解决现有的搬运机构使得面板基板厚度不均而导致面板基板质量较差的问题。
[0004]第一方面，本申请实施例提供一种搬运机构，用于镀膜装置，所述搬运机构包括：
[0005]搬运件，所述搬运件具有隔热面；
[0006]隔热件，所述隔热件设于所述隔热面；
[0007]连接件，所述连接件具有第一连接面和第二连接面，所述第一连接面连接所述隔热件，所述第二连接面用于连接待镀膜件。
[0008]可选地，所述隔热面上开设有安装槽，所述隔热件安装于所述安装槽。
>[0009]可选地，所述安装槽包括第一槽体和第二槽体，所述第一槽体沿所述隔热面的长度方向延伸，所述第二槽体沿所述隔热面的宽度方形延伸。
[0010]可选地，所述安装槽的宽度自所述安装槽的槽口朝所述安装槽的槽底减缩，所述隔热件的形状与所述安装槽的形状适配。
[0011]可选地，所述隔热件与所述安装槽可拆卸。
[0012]可选地，所述隔热件为陶瓷隔热件。
[0013]可选地，所述隔热面涂覆有隔热涂层，所述隔热涂层形成所述隔热件。
[0014]可选地，所述隔热涂层包括纳米隔热涂料。
[0015]可选地，所述连接件的第一连接面和第二连接面相对设置。
[0016]可选地，所述第一连接面在所述隔热面的投影落入所述隔热件在所述隔热面的投影，所述第一连接面与所述隔热件贴合设置。
[0017]第二方面，本申请实施例还提供一种镀膜装置，所述镀膜装置具有真空腔，所述真空腔内设置有靶材和上述的搬运机构，所述靶材对应所述搬运机构的连接件的第二连接面
设置。
[0018]第三方面，本申请实施例还提供一种面板基板的制作方法，包括如下步骤：
[0019]提供一镀膜装置，所述镀膜装置具有真空腔，所述真空腔内设置有上述的搬运机构；
[0020]提供一基板，所述基板具有第一板面和第二板面；
[0021]将所述第一板面连接于所述连接件的第二连接面；
[0022]在所述第二板面上沉积镀膜材料。
[0023]第四方面，本申请实施例还提供一种显示面板，所述显示面板包括由上述的制作方法制作的面板基板。
[0024]本申请实施例提供的搬运机构，通过设置隔热件，使得待镀膜件比如基板在镀膜过程中，基板的热量难以通过隔热件传递到搬运件上，以减少基板的热量的扩散，保证基板各处温度均匀，从而有效避免出现镀膜材料的气体分子或原子聚集的现象，从而保证最终所制得的面板基板各处厚度的一致性，保证了面板基板的质量。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
[0027]图1为本申请实施例提供的搬运机构的结构示意图。
[0028]图2为本申请实施例提供的搬运机构的爆炸结构示意图。
[0029]图3为本申请实施例提供的搬运机构的搬运件的平面示意图。
[0030]图4为本申请实施例提供的面板基板的制作方法的流程示意图。
具体实施方式
[0031]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]本申请实施例提供一种搬运机构，用于镀膜装置，以解决现有的搬运机构使得面板基板厚度不均的问题。以下将结合附图对进行说明。
[0033]示例性的，请参阅图1和图2，图1为本申请实施例提供的搬运机构的结构示意图。图2为本申请实施例提供的搬运机构的爆炸结构示意图。搬运机构用于镀膜装置，搬运机构包括搬运件100、隔热件200和连接件300。搬运件100具有隔热面110，隔热件200设于隔热面110，连接件300具有第一连接面310和第二连接面320，第一连接面310连接隔热件200，第二连接面320用于连接待镀膜件。其中，连接件300可以按现有的连接方式分别与隔热件200和待镀膜件连接，比如采用粘接的方式分别与隔热件200和待镀膜件连接。隔热件200采用导热性能较差的材料制成，比如陶瓷，纳米材料等。通过设置隔热件200，使得待镀膜件比如基
板在镀膜过程中，基板的热量难以通过隔热件200传递到搬运件100上，以减少基板的热量的扩散，保证基板各处温度均匀，从而有效避免出现镀膜材料的气体分子或原子聚集的现象，从而保证最终所制得的面板基板400各处厚度的一致性，保证了面板基板400的质量。
[0034]关于隔热件200的设置方式有多种，下面进行举例说明。
[0035]在一些示例中，隔热面110上开设有安装槽120，隔热件200安装于安装槽120。通过设置安装槽120，有利于增大隔热件200与搬运件100的接触面积，从而有利于隔热件200稳固的安装于搬运件100，使得隔热件200稳定可靠的工作，提高搬运机构工作的稳定性和可靠性。本示例中，隔热件200的材料可以采用陶瓷，陶瓷耐高温，适用于真空镀膜的工作环境，且陶瓷热传导系数低，能有效的对热量的传递起到阻隔作用，而且不易变形，稳定性高，使得隔热件200能稳定的工作，提高搬运机构的稳定性。
[0036]为提高隔热件200的灵活性，隔热件200与安装槽120可拆卸，比如隔热件200可以通过螺钉连接，卡接等方式安装于安装槽120，使得隔热件200可拆卸，相比将隔热件200固定安装于安装槽120内，提高了隔热件200的灵活性，在隔热件200使用效果较差或损坏时，可以单独替换，而不需将整个搬运件100丢弃，有利于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运机构，用于镀膜装置，其特征在于，所述搬运机构包括：搬运件，所述搬运件具有隔热面；隔热件，所述隔热件设于所述隔热面；连接件，所述连接件具有第一连接面和第二连接面，所述第一连接面连接所述隔热件，所述第二连接面用于连接待镀膜件。2.根据权利要求1所述的搬运机构，其特征在于，所述隔热面上开设有安装槽，所述隔热件安装于所述安装槽。3.根据权利要求2所述的搬运机构，其特征在于，所述安装槽包括第一槽体和第二槽体，所述第一槽体沿所述隔热面的长度方向延伸，所述第二槽体沿所述隔热面的宽度方形延伸。4.根据权利要求2所述的搬运机构，其特征在于，所述安装槽的宽度自所述安装槽的槽口朝所述安装槽的槽底减缩，所述隔热件的形状与所述安装槽的形状适配。5.根据权利要求2所述的搬运机构，其特征在于，所述隔热件与所述安装槽可拆卸。6.根据权利要求2所述的搬运机构，其特征在于，所述隔热件为陶瓷隔热件。7.根据权利要求1所述的搬运机构，其特征在于，所述隔热面涂覆有隔热涂层，所述隔热涂层形成所述隔热件。8.根据权利要求7所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志伦，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：