自动上料卸料机台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动上料卸料机台，包括电路控制箱、升降平台、升降驱动机构、检测装置和OHT对接控制系统，电路控制箱上方设有框架，框架与电路控制箱通过底板连接，框架顶部设有顶板，顶板开设有窗口，顶板在窗口的四边分别设有相对设置的定位装置和开盒装置，定位装置和开盒装置均与OHT对接控制系统电连接，升降驱动机构安装在框架侧面与升降平台机械连接，升降平台通过窗口上下移动，升降平台上设有检测装置，电路控制箱里面设有OHT对接控制系统，升降驱动机构和检测装置均与OHT对接控制系统电连接；本实用新型专利技术实现了SMIF与OHT天车系统进行对接，进行自动上料卸料，减少了人工搬运，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
自动上料卸料机台


[0001]本技术涉及半导体
，具体涉及一种自动上料卸料机台。

技术介绍

[0002]目前，在半导体制造业，自动上料卸料机台(Standard Merchanical Interface,SMIF)得到了广泛应用。自动上料卸料机台附属于其他设备，主要负责将要加工的半导体晶圆SMIF POD(装晶圆的容器)导入到加工机台中(即上料)或将加工完的晶圆从加工机台导回SMIF POD中(即卸料)。
[0003]而通常SMIF POD上下料需要人工进行装卸料及搬用，无法与OHT天车系统进行对接。

技术实现思路

[0004]为此，本技术实施例提供一种自动上料卸料机台，以解决现有技术存在的通常SMIF POD上下料需要人工进行装卸料及搬用，无法与OHT天车系统进行对接的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：
[0006]一种自动上料卸料机台，包括电路控制箱、升降平台、升降驱动机构、检测装置和OHT对接控制系统，所述电路控制箱上方设有框架，所述框架与所述电路控制箱通过底板连接，所述框架顶部设有顶板，所述顶板开设有窗口，所述顶板在所述窗口的四边分别设有相对设置的定位装置和开盒装置，所述定位装置和所述开盒装置均与所述OHT对接控制系统电连接，所述升降驱动机构安装在所述框架侧面与所述升降平台机械连接，所述升降平台通过所述窗口上下移动，所述升降平台上设有所述检测装置，所述电路控制箱里面设有OHT对接控制系统，所述升降驱动机构和所述检测装置均与所述OHT对接控制系统电连接。
[0007]作为优选，所述定位装置包括压盖气缸、转接架、导轨滑块、压片和到位传感器，所述到位传感器包括传感器本体和传感器拨片，所述压盖气缸固定在所述顶板上与所述转接架固定连接，所述转接架与所述压片连接，所述压片与所述转接架连接的一端设有所述导轨滑块，所述转接架上还设有传感器拨片，所述传感器拨片与所述传感器本体连接，所述传感器本体和所述压盖气缸与所述OHT对接控制系统电连接。
[0008]作为优选，所述定位装置还包括定位装置壳体，所述压盖气缸、所述转接架、所述导轨滑块、所述压片和所述到位传感器设置在所述定位装置壳体里面，所述定位装置壳体靠近所述升降平台的侧面设有开口，所述压片通过所述开口伸出所述定位装置壳体。
[0009]作为优选，所述开盒装置包括开盖气缸、滑块、连杆机构和开盖拨杆，所述开盖气缸固定在所述顶板上与所述滑块机械连接，所述滑块与所述连杆机构连接，所述连杆机构上设有所述开盖拨杆，所述开盖气缸与所述OHT对接控制系统电连接。
[0010]作为优选，所述开盒装置还包括开盒装置壳体，所述开盖气缸、所述滑块、所述连杆机构和所述开盖拨杆设置在所述开盒装置壳体里面，所述开盒装置壳体顶部设有通孔，所述开盖拨杆通过所述通孔伸出所述开盒装置壳体。
[0011]作为优选，所述OHT对接控制系统包括控制器、转接头和光传感器，所述控制器安装在所述电路控制箱里面的侧壁上，所述转接头设置所述电路控制箱的底面与所述控制器电连接，所述光传感器通过所述转接头与所述控制器电连接。
[0012]作为优选，所述转接头为DB25转接头。
[0013]作为优选，所述检测装置为RFID读取装置。
[0014]本技术至少具有以下有益效果：本技术提供了一种自动上料卸料机台，包括电路控制箱、升降平台、升降驱动机构、检测装置和OHT对接控制系统，电路控制箱上方设有框架，框架与电路控制箱通过底板连接，框架顶部设有顶板，顶板开设有窗口，顶板在窗口的四边分别设有相对设置的定位装置和开盒装置，定位装置和开盒装置均与OHT对接控制系统电连接，升降驱动机构安装在框架侧面与升降平台机械连接，升降平台通过窗口上下移动，升降平台上设有检测装置，电路控制箱里面设有OHT对接控制系统，升降驱动机构和检测装置均与OHT对接控制系统电连接；本技术实现了SMIF与OHT天车系统进行对接，进行自动上料卸料，减少了人工搬运，提高了生产效率。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明现有技术以及本技术，下面将对现有技术以及本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其它的附图。
[0016]本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0017]图1为本技术实施例提供的自动上料卸料机台整体结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例提供的OHT对接控制系统安装位置结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例提供的自动上料卸料机台俯视图；
[0020]图4为本技术实施例提供的开盒装置结构示意图；
[0021]图5为本技术实施例提供的定位装置结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1‑
电路控制箱；2
‑
框架；3
‑
底板；4
‑
顶板；5
‑
升降平台；6
‑
升降驱动机构；7
‑
开盒装置；71
‑
开盖气缸；72
‑
滑块；73
‑
连杆机构；74
‑
开盖拨杆；75
‑
转轴；8
‑
定位装置；81
‑
压盖气缸；82
‑
转接架；83
‑
压片；84
‑
导轨滑块；85
‑
传感器拨片；86
‑
传感器本体；9
‑
检测装置；10
‑
OHT对接控制系统；101
‑
控制器；102
‑
转接头；103
‑
光传感器；104
‑
线缆。
具体实施方式
[0024]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0025]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。本实用
新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)旨在区别指代的对象。对于具有时序流程的方案，这种术语表述方式不必理解为描述特定的顺序或先后次序，对于装置结构的方案，这种术语表述方式也不存在对重要程度、位置关系的区分等。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动上料卸料机台，其特征在于，包括电路控制箱、升降平台、升降驱动机构、检测装置和OHT对接控制系统，所述电路控制箱上方设有框架，所述框架与所述电路控制箱通过底板连接，所述框架顶部设有顶板，所述顶板开设有窗口，所述顶板在所述窗口的四边分别设有相对设置的定位装置和开盒装置，所述定位装置和所述开盒装置均与所述OHT对接控制系统电连接，所述升降驱动机构安装在所述框架侧面与所述升降平台机械连接，所述升降平台通过所述窗口上下移动，所述升降平台上设有所述检测装置，所述电路控制箱里面设有OHT对接控制系统，所述升降驱动机构和所述检测装置均与所述OHT对接控制系统电连接。2.根据权利要求1所述的自动上料卸料机台，其特征在于，所述定位装置包括压盖气缸、转接架、导轨滑块、压片和到位传感器，所述到位传感器包括传感器本体和传感器拨片，所述压盖气缸固定在所述顶板上与所述转接架固定连接，所述转接架与所述压片连接，所述压片与所述转接架连接的一端设有所述导轨滑块，所述转接架上还设有传感器拨片，所述传感器拨片与所述传感器本体连接，所述传感器本体和所述压盖气缸与所述OHT对接控制系统电连接。3.根据权利要求2所述的自动上料卸料机台，其特征在于，所述定位装置还包括定位装置壳体，所述压盖气缸、所述转接架...

【专利技术属性】
技术研发人员：安国栋，朱海龙，刘冬梅，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：